本发明涉及纳米材料制作领域，特别是一种组合节流阀。
背景技术：
溅射法制作纳米材料的方式有：磁控溅射、偏压溅射及反应溅射等。其中磁控溅射的原理为：电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子沉积在基片上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响，被束缚在靠近靶面的等离子体区域内，该区域内等离子体密度很高，二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动。
在纳米材料的制作过程中，需要供给氩气及散热液等。氩气或散热液在管道中的通断由节流阀控制。现有的节流阀一般采用插板阀，只能在全开和全闭两个状态切换，不能够调节氩气或散热液的流量大小。而不同的工况需要不同流量的氩气或散热液，现有技术中，在不同的工况下需使用不同的纳米材料制作设备，不同的纳米材料制作设备具有不同规格的流体管道及插板阀。
技术实现要素：
有鉴于此，本发明提供了一种可调流量、适应于不同工况的可调流量的组合节流阀，以解决上述问题。
一种组合节流阀，用于调节流体管道内的流体流量，包括插板阀及旋转叶片阀，所述插板阀与旋转叶片阀平行间隔设置且均至少部分地垂直位于流体管道中，所述插板阀具有阀板及用于驱动阀板移动的驱动装置，所述阀板具有完全位于流体管道内的第一状态及完全打开流体管道的第二状态，所述旋转叶片阀包括电机、蜗杆、齿轮环、若干叶片及若干小齿轮，所述齿轮环的外周面上设有涡轮，内周面上设有齿槽，所述蜗杆与电机的输出轴连接，且与齿轮环的涡轮啮合，所述小齿轮转动设置于流体管道上，所述小齿轮与齿轮环的齿槽啮合，所述叶片具有大头端及小头端，小头端与小齿轮连接，大头端为自由端。
进一步地，所述流体管道具有外管及内管，内管中空形成流体通道，所述小齿轮转动设置于流体管道的内管上，所述外管从外侧包覆齿轮环。
进一步地，所述小齿轮通过固定板与流体管道连接，所述小齿轮转动连接于固定板上，所述固定板与流体管道或者流体管道的内管连接。
进一步地，所述齿轮环、小齿轮或叶片中任意一个或多个的最大转动角度为50-70度。
进一步地，所述齿轮环、小齿轮或叶片中任意一个或多个的最大转动角度为62度。
进一步地，所述齿轮环的一个侧面开设有环形的第一凹槽，若干旋转轴承位于该凹槽中，所述齿轮环通过凹槽与旋转轴承转动连接，所述旋转轴承通过固定轴与流体管道连接。
进一步地，所述第一凹槽的底部还开设有与第一凹槽垂直的第二凹槽，第二凹槽的宽度大于第一凹槽的宽度，所述旋转轴承位于第二凹槽中，且旋转轴承的直径大于第一凹槽的宽度。
与现有技术相比，本发明的组合节流阀包括插板阀及旋转叶片阀，所述插板阀具有阀板及用于驱动阀板移动的驱动装置，所述旋转叶片阀包括电机、蜗杆、齿轮环、若干叶片及若干小齿轮，当驱动装置驱动阀板移动至第二状态时，电机驱动蜗杆转动，蜗杆带动齿轮环旋转，从而带动若干小齿轮对应转动，从而使得叶片的大头端远离或靠近流体管道的中心方向移动，如此可以调节流体管道中心的开口大小，从而调节流体管道的流体流量，适应不同工况需要。
附图说明
以下结合附图描述本发明的实施例，其中：
图1为本发明实施例提供的组合节流阀的侧面剖视图。
图2为图1中沿i-i线的剖视图。
图3为图2中的旋转叶片阀的立体示意图。
图4为图2中的旋转叶片阀的另一视角示意图。
图5为图2中的各个叶片处于封闭状态的示意图。
图6为图2中的各个叶片逐渐打开的示意图。
具体实施方式
以下基于附图对本发明的具体实施例进行进一步详细说明。应当理解的是，此处对本发明实施例的说明并不用于限定本发明的保护范围。
请参考图1，其为本发明实施例提供的组合节流阀，用于调节流体管道100内的流体流量，包括插板阀200及旋转叶片阀300。
插板阀200与旋转叶片阀300平行间隔设置且均至少部分地垂直位于流体管道100中。
插板阀200具有驱动装置210及阀板220，阀板220可移动地位于流体管道100中，且与流体管道100垂直设置。驱动装置210可驱动阀板220上下移动，阀板220的移动状态有两个，第一状态是完全位于流体管道100内，将流体管道100完全封闭，第二状态是完全离开流体管道100，流体管道100完全打开。
请参考图2，流体管道100具有外管110及内管120，内管中空形成流体通道130。
请继续参考图3及图4，旋转叶片阀300包括电机310、蜗杆320、齿轮环330、若干叶片340及若干小齿轮350。
齿轮环330的外周面上设有涡轮，内周面上设有齿槽332。
蜗杆320与电机310的输出轴连接，且与齿轮环330的涡轮啮合。
叶片340具有大头端及小头端，小头端与小齿轮350连接，大头端为自由端。小齿轮350转动设置于流体管道100的内管120上，小齿轮350与齿轮环330的齿槽332啮合。旋转叶片阀300的初始状态为封闭状态，即若干叶片340彼此紧贴从而将流体管道100完全封闭。流体管道100的外管110从外侧包覆齿轮环330。
本实施方式中，小齿轮350通过一固定板350与流体管道100的内管120连接，即小齿轮350转动连接于固定板350上，固定板350与流体管道100的内管120连接。
本实施方式中，齿轮环330的一个侧面上开设有环形的第一凹槽332，若干旋转轴承372位于该凹槽332中，齿轮环330通过凹槽332与旋转轴承372转动连接，旋转轴承372通过固定轴370与流体管道100的外管110或内管120固定连接。
进一步地，第一凹槽332的底部还开设有与第一凹槽332垂直的第二凹槽，第二凹槽的宽度大于第一凹槽332的宽度，旋转轴承372位于第二凹槽中。旋转轴承372的直径大于第一凹槽332的宽度。
当驱动装置210驱动阀板220向上移动至第二状态时，电机可驱动蜗杆320转动，蜗杆320带动齿轮环330旋转，如图5及图6的逆时针方向，从而带动若干小齿轮350也对应转动，从而使得叶片340的大头端远离流体管道100的中心方向移动，如此在流体管道100的中心形成逐渐增大的开口400，如图6中的状态a、b、c所示，从而调节流体管道100中的流体流量，适应不同工况需要。开口400最大时，流体管道100处于较大开口状态。
反之，如果要调小流体管道100的流量，电机可驱动蜗杆320转动，蜗杆320带动齿轮环330旋转，如图5及图6的顺时针方向，从而带动若干小齿轮350也对应转动，从而使得叶片340的大头端靠近流体管道100的中心方向移动，如此使得开口400逐渐减小。
进一步地，齿轮环330、小齿轮350或叶片340中任意一个或多个的最大转动角度为50-70度，在此角度范围内，能比较可靠地调节流体管道100的流量，若大于此角度，对流体管道100的流量影响较小；若小于此角度，则流体管道100难以达到较大开口状态，即明显减小了流体管道100的最大可调流量值。本实施方式中叶片340的最大转动角度为62度。
以上仅为本发明的较佳实施例，并不用于局限本发明的保护范围，任何在本发明精神内的修改、等同替换或改进等，都涵盖在本发明的权利要求范围内。