减速器装配方法、及中心调整装置与流程

本申请涉及真空磁控溅射镀膜设备的制造装配领域，尤其涉及一种真空磁控溅射镀膜设备的减速器装配方法、及中心调整装置。

背景技术：

在真空磁控溅射镀膜设备中，最重要的部件是阴极溅射靶系统，它是溅射镀膜设备的心脏。阴极靶在工作过程中的稳定性直接与溅射工艺的稳定性和膜层的特性相关。

而阴极靶系统中传动减速装置的稳定性则关系着阴极靶系统的稳定性，作为精密传动机构，零件之间公差配合对整机性能影响明显，装配工艺直接影响减速器的整机性能。现有的减速器装配工艺的安装精度较低，无法保证设备运行的稳定性，导致膜层质量不高。

技术实现要素：

鉴于现有技术的不足，本申请的目的是提供一种减速器装配方法、及中心调整装置，以能够提升减速器装配的安装精度，提高设备运行过程中的稳定性。

本申请采用如下技术方案：

一种真空磁控溅射镀膜设备的减速器装配方法，所述减速器包括：主体、支撑组件、主动齿轮组件、定位中心轴、从动齿轮组件、法兰组件；所述减速器装配方法包括：

将所述支撑组件、所述主动齿轮组件通过松连接装配至所述主体；

将所述定位中心轴安装至所述主体，调整所述定位中心轴与所述主体的轴承安装部的同心度；

将所述支撑组件、所述主动齿轮组件和所述主体紧连接；

将所述定位中心轴从所述主体卸下；

将所述从动齿轮组件装配固定至所述主体；

将所述定位中心轴装配固定至所述主体；

将所述法兰组件装配至所述主体。

作为一种优选的实施方式，所述主体设有安装所述从动齿轮组件的安装孔；所述安装孔具有容置所述从动齿轮组件的轴承的轴承安装部；

相应的，在所述减速器装配方法中，利用中心调整装置调整定位中心轴与主体的轴承安装部的同心度；其中，所述中心调整装置包括：壳体；

所述壳体具有将其贯通的贯通孔；所述壳体通过所述贯通孔套设于所述定位中心轴外；所述壳体具有用于容置于所述轴承安装部中的第一定位部；其中，第一定位部的外径和所述轴承安装部的内径相等，配合公差小于0.02mm；所述贯通孔的内壁具有与所述定位中心轴的外壁相匹配的第二定位部，所述第二定位部的内径与所述定位中心轴的外径相等，配合公差小于0.02mm。

作为一种优选的实施方式，所述第一定位部的圆度公差小于0.02mm；所述第二定位部的圆度公差小于0.02mm；所述第一定位部的外径和所述第二定位部的内径同轴度公差小于0.02mm。

作为一种优选的实施方式，所述轴承安装部具有第二安装台阶；

相应的，在所述减速器装配方法中，先将所述定位中心轴安装于所述支撑组件上，再将所述中心定位装置套设于所述定位中心轴外并被所述第二安装台阶承载，使所述第一定位部位于所述轴承安装部中。

作为一种优选的实施方式，所述壳体具有上端和下端；所述第二定位部靠近所述上端设置，所述壳体的下端设有沿径向凸出的圆台；所述圆台的侧边形成所述第一定位部；所述圆台上设有预留孔；所述预留孔用于旋紧连接所述支撑组件与所述主体的螺钉；

相应的，在所述减速器装配方法中，通过所述预留孔旋紧连接所述支撑组件与所述主体的螺钉。

作为一种优选的实施方式，所述主体的一端设有插入口，所述安装孔的底部设有第一安装台阶；所述第一安装台阶设有多个第一螺钉孔；多个所述预留孔与多个所述第一螺钉孔一一对应；相应的，在所述减速器装配方法中，

将所述支撑组件从所述插入口插入所述主体，通过多个所述第一螺钉孔装入螺钉进行松连接，在通过所述中心调整装置进行同心度调整后，将扳手穿过所述预留孔旋紧装入所述第一螺钉孔的螺钉。

作为一种优选的实施方式，所述主体设有所述插入口的一端设有多个第二螺钉孔；相应的，在所述减速器装配方法中，

将所述主动齿轮组件在所述支撑组件上方通过所述插入口插入所述主体，通过多个所述第二螺钉孔装入螺钉进行松连接。

作为一种优选的实施方式，所述装配方法还包括：将所述支撑组件和所述主动齿轮组件通过连接块进行松连接；

相应的，在调整所述定位中心轴的同心度后，将所述支撑组件、所述主动齿轮组件、所述连接块进行紧连接。

作为一种优选的实施方式，依次锁紧支撑组件与主体的螺钉、主动齿轮组件与主体的螺钉、支撑组件与连接块的螺钉、主动齿轮组件与连接块的螺钉。

一种减速器装配用中心调整装置，所述减速器包括：主体、支撑组件、主动齿轮组件、定位中心轴、从动齿轮组件、法兰组件；所述主体设有安装所述从动齿轮组件的安装孔；所述安装孔具有容置所述从动齿轮组件的轴承的轴承安装部；其中，

所述中心调整装置包括：壳体；

所述壳体具有将其贯通的贯通孔；所述壳体能通过所述贯通孔套设于所述定位中心轴外；所述壳体具有用于容置于所述轴承安装部中的第一定位部；其中，第一定位部的外径和所述轴承安装部的内径相等，配合公差小于0.02mm；所述贯通孔的内壁具有与所述定位中心轴的外壁相匹配的第二定位部，所述第二定位部的内径与所述定位中心轴的外径相等，配合公差小于0.02mm。

作为一种优选的实施方式，所述第一定位部的圆度公差小于0.02mm；所述第二定位部的圆度公差小于0.02mm；所述第一定位部的外径和所述第二定位部的内径同轴度公差小于0.02mm。

作为一种优选的实施方式，所述壳体具有上端和下端；所述第二定位部靠近所述上端设置，所述壳体的下端设有沿径向凸出的圆台；所述圆台的侧边形成所述第一定位部。

作为一种优选的实施方式，所述圆台上设有预留孔；所述预留孔用于旋紧连接所述支撑组件与所述主体的螺钉。

有益效果：

本申请实施方式所提供的减速器装配方法通过模块化组装，将组件拆分成各子组件单独装配，降低了装配难度并提高了公差配合精度。

另外，本申请实施方式所提供的减速器装配方法利用中心调整装置，保证了各旋转部件中心部位的一致性，保证了安装精度，提高了设备运行过程中的稳定性。

参照后文的说明和附图，详细公开了本发明的特定实施方式，指明了本发明的原理可以被采用的方式。应该理解，本发明的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本发明的实施方式包括许多改变、修改和等同。

针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。

应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请一种实施例中的减速器结构示意图；

图2是图1的立体图；

图3是图1的主体示意图；

图4是图3的另一示意图；

图5、图6是装配支撑组件步骤示意图；

图7、图8是装配主动齿轮组件步骤示意图；

图9、图10是装配连接块步骤示意图；

图11是调整定位中心轴同心度步骤示意图；

图12、图13是装配碳刷组件步骤示意图；

图14是图1的从动齿轮组件结构示意图；

图15是图14的爆炸图；

图16、图17是装配从动齿轮组件步骤示意图；

图18、图19是装配油封组件步骤示意图；

图20、图21是装配定位中心轴步骤示意图；

图22是装配法兰组件步骤示意图；

图23是图11的中心调整装置结构示意图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明中的技术方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。

需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的另一个元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中另一个元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参考图1至图23。本申请实施方式中提供一种真空磁控溅射镀膜设备的减速器。其中，如图1、图2所示，所述减速器包括：主体1、支撑组件100、主动齿轮组件200、定位中心轴400、从动齿轮组件600、法兰组件800。

支撑组件100在主体1中将主动齿轮组件200、定位中心轴400、从动齿轮组件600、法兰组件800支撑。主动齿轮组件200还可以设有电机201。电机201通过主动齿轮组件200带动从动齿轮组件600。法兰组件800安装于从动齿轮组件600上。真空溅射所用的靶材通过该法兰组件800与该减速器连接，实现镀膜过程中的旋转运动。从动齿轮组件600和法兰组件800均套设于定位中心轴400外，可围绕定位中心轴400转动。定位中心轴400通过螺钉固定安装于支撑组件100上。

如图3、图4所示。所述主体1的一端设有插入口11。所述安装孔2的底部设有第一安装台阶3。所述第一安装台阶3设有多个第一螺钉孔4。支撑组件100可以通过插入口11插入主体1中，支撑组件100的一端支撑于第一安装台阶3上。支撑组件100上同样设有与第一螺钉孔4相匹配的螺钉孔102(同样可以称为螺钉孔)。通过内六角扳手可以将支撑组件100和第一安装台阶3利用螺钉17固定连接。

支撑组件100和主动齿轮组件200可以通过连接块300相连接固定，保证二者位置的装配精度，保证设备运行的稳定性。其中，支撑组件100上设有两个螺钉孔101，通过两个螺钉将支撑组件100和连接块300相固定连接。主动齿轮组件200上设有两个螺钉孔202，通过两个螺钉将主动齿轮组件200和连接块300相固定连接。

所述主体1设有安装所述从动齿轮组件600的安装孔2。所述安装孔2具有容置所述从动齿轮组件600的轴承602的轴承安装部5。所述轴承安装部5具有第二安装台阶6。安装孔2沿轴向分为不同的直径段，不同直径段沿着从外至内(在图1中为从上至下)的方向时内径依次减小，相应的形成用于承载从动齿轮组件600的第二安装台阶6和第三安装台阶8。

其中，第二安装台阶6用于承载从动齿轮组件600的轴承，第三安装台阶8用于承载从动齿轮组件600的法兰圈组件601。第二安装台阶6和第三安装台阶8之间形成从动齿轮组件600的轴承602的容纳空间。轴承安装部5的内壁和从动齿轮组件600的轴承外径相一致，保证从动齿轮组件600的装配精度，保证设备运转的稳定。

如图14、图15所示。从动齿轮组件600包括法兰圈组件601、轴承602和从动齿轮603。其中，法兰圈组件上的卡爪604可以卡住轴承602的外圈，法兰圈组件601与主体1相固定，在从动齿轮603运动时，轴承602外圈与主体1固定不同，轴承602内圈与从动齿轮603一起运动。从动齿轮603可以与主动齿轮组件200的主动齿轮(未标示)相啮合，被主动齿轮带动转动。

其中，卡爪604可以放入定位槽7上，实现法兰圈组件601与主体1的固定。第三安装台阶8上设有多个螺钉孔9，法兰圈组件601上设有相对应的螺钉孔，通过螺钉21穿过法兰圈组件601将其固定于主体1的安装孔2中。

在本实施例中，安装孔2中设有碳刷组件500。碳刷组件500固定于支撑组件100上。碳刷组件500位于从动齿轮组件600的下方，也即，碳刷组件500位于从动齿轮组件600和支撑组件100之间。。固定于支撑组件100上的碳刷组件500套设于定位中心轴400外。

在本实施例中，安装孔2中设有油封组件700。油封组件700位于从动齿轮组件600的上方。油封组件700和主体1之间设有密封圈701进行密封。其中，密封圈701可以采用o型密封圈。

在本实施例中，法兰组件800的中心孔穿过定位中心轴400，套设于定位中心轴400外，并与从动齿轮组件600进行装配。法兰组件800可以通过螺钉与从动齿轮组件600的从动齿轮603相固定连接，从而在从动齿轮603转动时被从动齿轮带动转动。

本实施例中将整个减速器拆分成主体1、支撑组件100、碳刷组件500、从动齿轮组件600、油封组件700、法兰组件800、电机201及主动齿轮组件200、连接块300、定位中心轴400几个部分，各部分组件在相应组装完成以后经检测合格以后再进行总装。

如图23所示。为降低减速装配时产生的公差，提升装配精度，本实施例还提供一种减速器装配用中心调整装置50。其中，所述中心调整装置50包括：壳体。壳体可以为圆柱形结构，也可以为图23中的倒“t”形结构，本申请并不作唯一的限定。

其中，所述壳体具有将其贯通的贯通孔55。所述壳体能通过所述贯通孔55套设于所述定位中心轴400外。所述壳体具有用于容置于所述轴承安装部5中的第一定位部53。

在本实施例中，第一定位部53的外径和所述轴承安装部5的内径相等，配合公差小于0.02mm。具体的，该配合公差可以为0-0.02mm。所述贯通孔55的内壁具有与所述定位中心轴400的外壁相匹配的第二定位部54，所述第二定位部54的内径与所述定位中心轴400的外径相等，配合公差小于0.02mm。具体的，该配合公差可以为0-0.02mm。

进一步地，为提升装配精度，所述第一定位部53的圆度公差小于0.02mm；所述第二定位部54的圆度公差小于0.02mm；所述第一定位部53的外径和所述第二定位部54的内径同轴度公差小于0.02mm。

如图23所示，所述壳体具有上端和下端。所述第二定位部54靠近所述上端设置，所述壳体的下端设有沿径向凸出的圆台52；所述圆台52的侧边形成所述第一定位部53。所述预留孔51设置于所述圆台52上。圆台52的厚度可以与第二安装台阶6与第三安装台阶8之间的距离相同，当然也可以大于该距离或小于该距离，本申请并不做唯一的限定。

考虑到中心调整装置50调整定位中心轴400时，将其下方遮挡，为方便将支撑组件100固定，所述圆台52上设有预留孔51。所述预留孔51用于旋紧连接所述支撑组件100与所述主体1的螺钉。其中，该预留孔51的数量为多个，多个预留孔51与支撑组件100上的螺钉孔、第一安装台阶3上第一螺钉孔4一一对应。具体的，多个所述预留孔51与多个所述第一螺钉孔4一一对应。第一螺钉孔4的数量可以为3个，预留孔51的数量可以为3个。

在将定位中心轴400固定于支撑组件100上时，通过将该中心调整装置50套设于定位中心轴400外，并使得第一定位部53容置于轴承安装部5中，实现定位中心轴400的同心度调整。由于定位中心轴400和支撑组件100固定连接，定位中心轴400可以调整支撑组件100和主动齿轮组件200的位置处于准确的装配位置，此时可以将支撑组件100和主动齿轮组件200与主体1紧连接，固定二者位置。

在支撑组件100和主动齿轮组件200的位置固定在正确的装配位置时，将定位中心轴400卸下，依次安装后续组件即可，在支撑组件100和主动齿轮组件200精确安装的基础上，可以保证其他组件的安装精度，从而提升整个减速器的装配精度。

请继续参阅图1至图23。在本申请的一个实施例中提供一种减速器装配方法，该减速器装配方法适用于上述减速器的装配。具体的，在该减速器方法中可以将整个减速器分为主体1、支撑组件100、从动齿轮组件600、法兰组件800、电机201及主动齿轮组件200、定位中心轴400等几个模块部分，从而将减速器整体拆分成各个子组件(模块)单独装配，降低了装配难度并提高了公差配合精度。进一步地，该减速器中还可以具有碳刷组件500、油封组件700、连接块300等模块部分。

在该实施例中，所述减速器装配方法包括以下步骤：

s100、将所述支撑组件100、所述主动齿轮组件200通过松连接装配至所述主体1；

如图5、图6所示。在该步骤s100中，可以先将支撑组件100装配在主体1上。具体的，可以将所述支撑组件100从主体1的插入口11插入所述主体1。将支撑组件100位于插入端的螺钉孔102与第一螺钉孔4相对齐。通过多个所述第一螺钉孔4装入螺钉17进行松连接。例如，可以将螺钉17各拧两圈，不要拧紧，保持支撑组件100和主体1的相对位置可适当调整。

如图7、图8所示。再将主动齿轮组件200装配至主体1上。将所述主动齿轮组件200在所述支撑组件100上方通过所述插入口11插入所述主体1，通过多个所述第二螺钉孔14、16装入螺钉18、19进行松连接。

具体的，可以将主动齿轮组件200从主体1的插入孔插入主体1中。主体1具有插入口11的一端设有多个第二螺钉孔14、16。主体1的该端部具有定位台阶13，两个第二螺钉孔14位于定位台阶上，两个第二螺钉孔16位于主体1的端面12上。为便于主动齿轮组件200的定位装配，定位台阶13上设有两个销孔15，该两个销孔15与两个螺钉孔14相对称地分布于定位台阶13上。

在装配主动齿轮组件200时，将主动齿轮组件200上定位销插入主体1上的销孔15，并对其第二螺钉孔14、16。对应于定位台阶13上的第二螺钉孔14，采用长螺钉18连接主动齿轮组件200和主体1；对应于端面12上的第二螺钉孔16，采用短螺钉19连接主动齿轮组件200和主体1。

该步骤s100中，将主动齿轮组件200和主体1进行松连接，例如，可以将长螺钉18和短螺钉19各拧两圈，不要拧紧，保持主动齿轮组件200和主体1的相对位置可适当调整。

进一步地，如图9、图10所示，该减速器装配方法还可以包括步骤：s150、将所述支撑组件100和所述主动齿轮组件200通过连接块300进行松连接。

连接块300为一矩形块体，其可以实现主动齿轮组件200和支撑组件100相对位置的固定，实现二者相对位置的准确，保证减速器的稳定运行。在主动齿轮组件200上设有螺钉孔202，支撑组件100上设有螺钉孔101，连接块300的上端和下端分别设有相对应的螺钉孔。具体的，在主动齿轮组件200上设有两个螺钉孔202，支撑组件100上设有两个螺钉孔101，连接块300的上端和下端分别设有两个螺钉孔。将连接块300嵌入主动齿轮组件200和支撑组件100之间，在螺钉孔装入螺钉20、21，各拧两圈，不要拧紧，实现连接块300和主动齿轮组件200、支撑组件100的松连接，保证连接块300、主动齿轮组件200、支撑组件100的相对位置可适当调整，确保后续定位调整的顺利进行。

s200、将所述定位中心轴400安装至所述主体1，调整所述定位中心轴400与所述主体1的轴承安装部5的同心度；

如图11所示，在该步骤s200中，可以利用中心调整装置50调整定位中心轴400与主体1的轴承安装部5的同心度。具体的，先将所述定位中心轴400安装于所述支撑组件100上，再将所述中心调整装置50套设于所述定位中心轴400外并被所述第二安装台阶6承载，使所述第一定位部53位于所述轴承安装部5中。

在该步骤s200中，定位中心轴400通过螺钉22固定于支撑组件100上(可以参考图20、图21所示的安装方式)，该螺钉22可以拧紧，实现定位中心轴400与支撑组件100位置的相对固定，从而在中心调整装置50调整定位中心轴400时，与定位中心轴400相连的支撑组件100的位置可以适当调整至准确位置，并且，其他组件(主动齿轮组件200、连接块300)的位置也可以调整至准确位置。

然后，将中心调整装置50套设于定位中心轴400外并将圆台52置于安装孔2中的轴承安装部5中。由于中心调整装置50具有第一定位部53和第二定位部54，二者的加工公差在0.02mm以下，同时与轴承安装部5的内壁、定位中心轴400的配合公差在0.02mm以下，可以使得定位中心轴400与轴承安装部5(或安装孔2)的圆心较为准确地对齐，实现定位中心轴400的准确定位。

在本步骤s200中，转动中心调整装置50符合转动要求时，确定定位中心轴400同心度符合目标要求。具体的，当定位中心轴400的外径与主体1的轴承安装部5的圆心(或中心)一致时，中心调整装置50可以顺畅无涩感的转动，否则，则不能顺畅的转动，此时，可以调整支撑组件100、主动齿轮组件200的位置，直至中心调整装置50的转动符合转动要求，确定定位中心轴400定位准确。如中心调整装置50无法转动顺畅，则认为定位中心轴400、支撑组件100、或主动齿轮组件200的组装或制造不符合制造精度，可更换新的组件并重复该步骤s200。

s300、将所述支撑组件100、所述主动齿轮组件200和所述主体1紧连接；

在将定位中心轴400和轴承安装部5的圆心相对齐的情况下，定位中心轴400位于所定位的准确位置，此时，支撑组件100、主动齿轮组件200同样位于准确位置。在该步骤s300中，将松连接通过旋紧螺钉，转变为紧连接，将支撑组件100、主动齿轮组件200与主体1的相对位置固定。

在该步骤s300中，通过所述预留孔51旋紧连接所述支撑组件100与所述主体1的螺钉17。具体的，在通过所述中心调整装置50进行同心度调整后，将扳手穿过所述预留孔51旋紧装入所述第一螺钉孔4的螺钉17。其他销钉(例如：连接主动齿轮组件200与主体1的销钉18、19)并未被中心调整装置50遮挡，直接可以进行旋紧固定，进而将其他组件和主体1的相对位置固定，各自保持在相对精确的位置。

在将支撑组件100和主动齿轮组件200通过连接块300进行松连接的实施例中，在调整所述定位中心轴400的同心度后，将所述支撑组件100、所述主动齿轮组件200、所述连接块300进行紧连接。为具有较佳的装配精度，依次锁紧支撑组件100与主体1的螺钉17、主动齿轮组件200与主体1的螺钉(18、19)、支撑组件100与连接块300的螺钉21、主动齿轮组件200与连接块300的螺钉20。

s400、将所述定位中心轴400从所述主体1卸下；

在该步骤s400中，将支撑组件100、主动齿轮组件200和主体1的相对位置固定后，将连接定位中心轴400和支撑组件100的螺钉卸下，再将定位中心轴400从主体1取出。其中，由于定位中心轴400处于较为准确的定位同轴位置，基于定位中心轴400所定位的位置，支撑组件100和主动齿轮组件200被固定锁紧在正确位置，提供准确的安装框架，进而为其他组件的安装提供正确的安装位置。

如图12、图13所示。在该步骤s400之后还可以具有：步骤s450、将碳刷组件500装配至所述主体1。其中，可以将碳刷组件500从安装孔2中安装到支撑组件100的对应位置。

s500、将所述从动齿轮组件600装配固定至所述主体1；

如图14至图17所示。将从动齿轮组件600的卡圈604卡入卡槽7中，并将法兰圈组件601上的螺钉孔与第三安装台阶8上的螺钉孔9相对齐，通过8个螺钉21将从动齿轮组件600固定于主体1上。从动齿轮组件600固定于碳刷组件500的上方，从动齿轮组件600的轴承602装入轴承安装部5中被第二安装台阶6所承载。

在该步骤中，法兰圈组件601与主体1固定，由于法兰圈组件601通过卡爪604将轴承602的外圈卡住，从而将轴承602的外圈固定，如此，在从动齿轮603运动时，轴承602的外圈与主体1固定不动，轴承602的内圈与从动齿轮603一起转动。

如图18、图19所示，在该步骤s500之后还可以具有：步骤s550、将油封组件700安装到主体1上。具体的，油封组件700外套设有o型密封圈701，从而更好地将主体1和油封之间密封。将油封组件700在安装孔2中安装于从动齿轮组件600的上方。

s600、将所述定位中心轴400装配固定至所述主体1；

如图20、图21所示，将定位中心轴400依次穿过油封组件700、从动齿轮组件600、碳刷组件500固定于支撑组件100上。定位中心轴400为中空结构，底部设有螺钉孔，以通过螺钉22固定于支撑组件100上。由于在上述步骤上将支撑组件100定位在准确位置，此时安装定位中心轴400可以处于较佳的同心位置，具有较佳的同心度，确保较佳的装配精度。

s700、将所述法兰组件800装配至所述主体1。

如图22所示。将所述法兰组件800套设于定位中心轴400外，并部分卡入安装孔2的油封组件700中。将法兰组件800上的螺钉孔与从动齿轮上的螺钉孔相对齐，实现法兰组件800的位置对正，然后用6个螺钉23将法兰组件800固定在从动齿轮组件600上，并能被从动齿轮所带动。

组装完成后的成品如图2所示，真空溅射用的靶材通过该法兰组件800与该减速器相连接，实现镀膜过程中的旋转运动。

本申请实施例所提供的减速器装配方法通过模块化组装，将组件拆分成各子组件单独装配，降低了装配难度并提高了公差配合精度。

另外，本申请实施例所提供的减速器装配方法利用中心调整装置50，保证了各旋转部件中心部位的一致性，保证了安装精度，提高了设备运行过程中的稳定性。

本文引用的任何数字值都包括从下限值到上限值之间以一个单位递增的下值和上值的所有值，在任何下值和任何更高值之间存在至少两个单位的间隔即可。举例来说，如果阐述了一个部件的数量或过程变量(例如温度、压力、时间等)的值是从1到90，优选从20到80，更优选从30到70，则目的是为了说明该说明书中也明确地列举了诸如15到85、22到68、43到51、30到32等值。对于小于1的值，适当地认为一个单位是0.0001、0.001、0.01、0.1。这些仅仅是想要明确表达的示例，可以认为在最低值和最高值之间列举的数值的所有可能组合都是以类似方式在该说明书明确地阐述了的。

除非另有说明，所有范围都包括端点以及端点之间的所有数字。与范围一起使用的“大约”或“近似”适合于该范围的两个端点。因而，“大约20到30”旨在覆盖“大约20到大约30”，至少包括指明的端点。

披露的所有文章和参考资料，包括专利申请和出版物，出于各种目的通过援引结合于此。描述组合的术语“基本由…构成”应该包括所确定的元件、成分、部件或步骤以及实质上没有影响该组合的基本新颖特征的其他元件、成分、部件或步骤。使用术语“包含”或“包括”来描述这里的元件、成分、部件或步骤的组合也想到了基本由这些元件、成分、部件或步骤构成的实施方式。这里通过使用术语“可以”，旨在说明“可以”包括的所描述的任何属性都是可选的。

多个元件、成分、部件或步骤能够由单个集成元件、成分、部件或步骤来提供。另选地，单个集成元件、成分、部件或步骤可以被分成分离的多个元件、成分、部件或步骤。用来描述元件、成分、部件或步骤的公开“一”或“一个”并不说为了排除其他的元件、成分、部件或步骤。

应该理解，以上描述是为了进行图示说明而不是为了进行限制。通过阅读上述描述，在所提供的示例之外的许多实施方式和许多应用对本领域技术人员来说都将是显而易见的。因此，本教导的范围不应该参照上述描述来确定，而是应该参照所附权利要求以及这些权利要求所拥有的等价物的全部范围来确定。出于全面之目的，所有文章和参考包括专利申请和公告的公开都通过参考结合在本文中。在前述权利要求中省略这里公开的主题的任何方面并不是为了放弃该壳体内容，也不应该认为发明人没有将该主题考虑为所公开的发明主题的一部分。