专利名称：薄膜厚度的测量方法和设备的制作方法
技术领域：
本发明一般涉及用于非接触式厚度或纸的厚度(caliper)的测量， 和特别是涉及一种装置，它投射激光产生的多点图案，到沿着垂直间 隔的两个传感器头之间的路径运动的薄膜上表面上。该装置测量薄膜 的倾斜度、在上传感器头和薄膜上表面之间的距离、在下传感器头和 薄膜下表面之间的距离、和两个传感器头之间的距离以便测定移动巻 筒材料的厚度。
背景技术：
现有很多方法来测量运动巻筒材料(web)或薄片，如纸的厚度。 两种最通用的技术包括使用接触的滑道或滑轨直接测量厚度，它们沿 着巻筒材料的两个表面轻轻地滑过，和非接触式的推理方法，应用巻 筒材料的辐射吸收来测定巻筒材料单位面积的重量然后推理出厚度， 只要已知有足够精度的该材料的密度。现有这些方法的许多变型和改 进，但是每种技术有很多潜在的缺点。接触方法有3个基本的问题。第1,要测量材料的强度可能限制该 方法。例如，对薄纸这样易碎的片，接触的轨道有可能在片的表面上 磨出偏差，在片上造成伤痕或最终造成片的撕裂。第2,片本身可能伤 害纸厚度传感器，由于在接触元件上的磨损或者由于在片断裂时引起 的实质损害。对横过该片的纸厚度传感器，当传感器跨过该片的边缘 时也可能造成伤害。第3,由于在接触元件上污染物的累积可能对接触 式传感器造成有害的影响，如对于有涂层的或有填料的片或者包含回 收材料的片都可能发生这种情况。非接触式推理的厚度测量法避免了接触式方法的许多问题，但是 仍有一组新的问题。例如，当已知产品的密度时厚度测量通用的放射 性源，在某些巻筒材料市场上是禁止使用的。还有放射性的测量是推 理式的，这意味着如果不能预测巻筒材料的密度，在计算得出的厚度 值可以有很大的误差。几个专利已经提出使用激光测量运动巻筒材料的厚度与现有的其
他方法比较起来可能是很有前途的选择。 一个这样的系统是Kramer的 美国专利5,210,593号和另一个这样的系统描述在Watson的美国专利 4,276,480中。在两个系统中，激光纸厚度测定仪包括在巻筒材料两侧 的激光源，它们的光对准巻筒材料的表面接着被反射到接受器。然后 利用接受的激光信号的特征来测定每个接受器到巻筒材料表面的距 离。将这些距离加在一起，从两个激光接受器之间已知的距离中减去 和值。所得的值代表巻筒材料的厚度。上述厚度测量的非接触方法有所希望的特性，它们消除了接触式 方法和非接触式推理方法的许多缺点。但是，前面的非接触式技术仍 有很多困难，可能限制它们的应用在相对精度较低的场合。一个问题是巻筒材料不可能总是垂直于入射的光，这是由于巻筒 材料有跳动式间歇地成波浪运动的倾向。如果巻筒材料不是垂直于入 射光和从两个相对光源来的光束不是精确地对准在巻筒材料上的同一 点，那么测量中就可能会产生很大的误差。许多因素都可能造成这种 情况。首先，从第1激光测量点到第2激光测量点的实际巻筒材料厚 度变化可能造成不正确的厚度的测量。其次，如果巻筒材料不垂直于 入射光，那么测量技术将造成厚度值的误差与巻筒材料的角度和在片 的表面上两个测量点的位移成比例。巻筒材料的跳动和振荡都可能进 一步加大这个误差。投射激光到纸或薄膜上的另一个问题是，该表面通常不是完全限 定的以及纸或薄膜是半透明的。使用位置敏感的探测器，如侧面作用 探测器(LEP) 、 4传感器或2传感器的探测器，的目前激光三角网传 感器包含的信息不够求出该表面的"实际"表面位置。部分是由测量仪器实际尺寸的热效应或由装置标定造成的各种系 统几何形状的瞬间变化都可能使测量精度下降。这些效应可能很难通 过测量在仪器中各点的温度和应用合适的校正装置来直接定量表示。 当测量装置的精度水平接近于测量和控制如新闻纸或其他薄的产品所 需的水平时，这些有害的影响实际上变得更加明显。发明内容本发明部分是根据测量薄膜厚度特别是厚度小于1毫米的运动薄 膜的非接触技术开发出来的。本发明采用光学传感器仪表，它有间隔
的两个传感器头来限定定位薄膜的路径。将已知几何形状的图案映射 到薄膜的表面上和用图案识别算法分析该图像以便测定传感器头到薄 膜的距离和薄膜的倾斜度。不象原有的技术，本发明不需要检测光束 最大程度的重叠以便补偿纸的倾斜，这是目前的方法采用在纸片的两 侧有Z距离的单点激光距离测量所要求的。本方法也不需要对所测纸 张两侧上的激光束对准度作出严格的容限要求。形成图像的 一种优选 方法是仅将激光束图案投射在一个表面和在另一表面上使用单点激 光。可供选择的另一种方法是在每个表面上的投射不同的激光束图 案。可以使用本发明所属技术领域的普通技术人员已知的许多代替的 方法来产生和投射激光图案，如线条、点的矩阵或圓形，例如这些包括(a)衍射光学元件(DOE) ， (b)声光束偏导器，(c)电流计 驱动的扫描镜(检流计镜)，和(d)基本的光学元件，如分光器、镜 子、和棱镜。在一个实施例中，本发明目标是用于测量有第1表面和第2表面 的巻筒材料厚度的一种系统，它包括(a) 设置在巻筒材料第l表面附近的第l传感器头，其中第l传 感器头包括(i)产生和投射图像到巻筒材料第l表面上的机构和(ii) 检测该图像和将该图像转换成与电子图像相对应的电信号的机构；(b) 分拆该电子图像以便测定第1传感器头与巻筒材料第1表面 所选位置之间距离的才几构；(c) 设置在巻筒材料第2表面附近的第2传感器头，其中第2传 感器头包括测量从第2传感器头到第2表面上所选位置之间距离的机 构；(d) 测量从第1传感器头到第2传感器头的距离的机构；(e) 计算该巻筒材料厚度的机构。在另一个实施例中，本发明目标是测量有第1和第2表面的巻筒 材料厚度的非接触方法，所述方法包括如下各步骤(a) 将第1传感器头定位在巻筒材料的第l表面附近；(b) 将第2传感器头定位在巻筒材料的第2表面附近；(c) 测量从第1传感器头到第2传感器头的距离；(d) 将有图案的图像投射到巻筒材料的第l表面上；(e) 检测和分析该图像，应用局部光强最大来定义该图像，以便
测定巻筒材料表面相对第l传感器头、第2传感器头、或者两者的取向；(f) 检测和分析该图像，应用局部光强最大来测定巻筒材料表面 和第1传感器头之间的距离；(g) 测量从第2传感器头到巻筒材料第2表面上某位置的距离；(h) 测量垂直于第1 (上)和第2 (下)传感器头连线的方向上 的距离偏差；和(i) 计算该巻筒材料的厚度。
图l和图2是非接触式厚度测定仪；和其修改方案的剖面图； 图3说明被投射到运动纸片上表面上图案的平面图。具体实施方表面24和表面44优选地是互相平行和互相分隔一段 记为Z的距离。式如在图1中所示，本发明非接触式巻筒材料或片的厚度测量装置 包括第1和第2机壳或头10和20,它们是垂直间隔的。该头不必有机 械平的表面。各传感器的平面最好是平行的。每个传感器头包括各种 光学传感器如这里要进一步描述的那样用于测量选定的尺寸。定位在 传感器头之间的巻筒材料18在y轴方向线性运动。由于很难机械地约束运动的巻筒材料，巻筒材料18不是必定沿着 平行于平表面24、 44的直线运动。在这个例子中，巻筒材料18是倾 斜的；将巻筒材料18的上或第1表面24与X轴之间的夹角记为6 。 通常巻筒材料的上和下的平的表面是互相平行的，所以与上表面形成 的夹角6与下表面形成的夹角cl)是相等的。定位在巻筒材料18的第1表面26上面的第1头10包括激光源 12、和生成图案的镜片13,镜片把图像14投射到巻筒材料18的第1 表面26上。图像14可以是任何的图案，例如包括几何图形、线条、 十字、 一组点、和类似的图形。可以使用已知的许多代替的方法在生 成图案的镜片中产生和投射激光图案，如线条、点的矩阵或圓形，这 些方法包括但不局限于(a)衍射的光学元件(DOE)，其中转变激光束到预定角度的衍
射产生图案，如从MEMS Optical公司(Huntsville AL )或Stoker Yale 公司(Salem，NH )可以获得的那些元件。(b) 声光束偏导器，其中由转变激光束衍射产生图案和通过使用 合适的驱动电子设备可以动态调节衍射角，如从Isomet公司(Springfield, VA )可以获得的那些元件。(c) 电流计驱动的扫描镜(检流计镜)，其中通过合适的控制电 子设备驱动的电流计操纵的镜子将激光束反射到预定的角度来产生图 案，如乂人Cambridge Technology 7〉司(Cambridge, MA ),或Nutfield Technology公司(Nutfield， NH )可以获得的那些元件。(d) 基本的光学元件，例如包括光束分光器、镜子、和棱镜。 一般来说，只需测量和分析3个离散的点来测定空间取向和巻筒材料第1表面26相对第1传感器平面24的距离。例如，可以产生和 投射的一个图案是圆形，由投射的光圓锥体与同圓锥轴垂直的表面相 交时产生。该圓的直径正比于光源与该表面之间的距离和当投射到倾 斜的表面上时和当偏离轴线位置观察时它转变成椭圆。椭圓的数学方 程式是简单的和可以用曲线拟合算法相对容易地实现。图像检测器 16,如固态摄像机，检测图像14并将图像转换成与电子图像对应的电 信号。合适的图像检测器是硅电荷耦合器件(CCD)相机或互补型金 属氧化物半导体(CMOS)相机。与检测器16电气连接的计算机系统 (50)包括图像识别软件以便对电子图像进行处理如这里要进 一 步描 述的那样。定位在巻筒材料18的下或第2表面28下的第2头20有激光距离 传感器，它测量从头44到巻筒材料18表面28的距离。投射点(它是 表面26上的"C"点)应在检测器16的视野内，它有要计算的在传感 器平面内上下投射轴线之间的偏差距离(dx)(偏差距离也可看作是上、 下头的不对准造成的)。该偏差距离也被用于如这里所述的巻筒材料厚 度计算中。获得XY头不对准值的另一种方法是使用磁控电阻桥网络 (magnetoresistor bridge network)， 它从Honeywell International公司 (Morristown, NJ)可以购得，型号为Honeywell XY-Sensor部件号 08696700。这种装置特别适合测量厚的或不透明的产品如板或金属。 在图1所示的这个例子中，垂直距离传感器32C测量到巻筒材料18下 表面28上"B"点的垂直距离、垂直距离传感器可以是常规的激光三
角网传感器，例如它有能发射激光束到下表面28上某点的固态激光源和以倾斜角度定位的检测器，检测器在该点显像激光点并测量它的反射角。这样的传感器从日本的Osaka市的Keyence Corporation />司购 得。传感器32A到32N代表可能取代的传感器位置，它们都在检测器 16的视野范围内。在下头20上优选地有单个传感器。为了区别由第l 头10中激光投射的图案和由第2头20中激光的图案，可将图像识别 能力设计到分析软件中。另一种是，可以选择激光操作在两个不同的 波长，或者还有一种是，可以由电子装置或软件交替循环地开和关它 们来控制图像的获取和分析。为了测定随着巻筒材料取向变化的6角，计算机系统50包括图像 识别软件，它连续分析由图像传感器检测到的投射图案14。由于投射 的图案14检测到的图像包括已经穿透到通常半透明的巻筒材料材料中 和接着反向散射和再散射的光直到它在检测器16方向从表面射出，所 以在检测到的图像中任何线或点的尺寸都将比实际投射到巻筒材料18 上表面26上的要大。通过使用数学的曲线拟合算法来限定跨过图案元 件光强分布图的最大光强位置可以减小这种测量误差源，即在垂直于 直线的方向上或跨过点形成的圓盘找到光强分布中的最大值。由于这 些位置代表没有发生多重散射的位置它们构成投射的图案在巻筒材料 18表面26上的轨迹。软件使用数学的曲线拟合算法或者它可以比较图像与存储在数据库中的图案来测定e角。特别是，软件使用相关函数将实际的、获得的图像14与代表图像和它们对应的倾斜角的参考数据 进行比较。可以进行实验来创立数据库、如将激光产生的图案投射到 薄膜上并操纵该薄膜改变它的取向。特别是，操纵薄膜经过很大范围 的倾斜角并检测它们对应的图案。记录下角度和对应的图案两者。另 一种是，可以用数学模型技术产生数据库，如对给定的倾斜角计算出 投射图案，以便产生 一 组图案代表在不同的倾斜角下该图案的几何形 状。从图1中清楚可见，投射到表面26上的图像14的尺寸取决于图 案生成镜片13与巻筒材料18之间的距离。因此，巻筒材料18越靠近 第2传感器头20,那么投射到表面26上的图像14的横截面就越大。 图案识别程序可以读取的数据库也可以包括使特定图案图像与第1传 感器头和巻筒材料18上表面26之间距离如垂直距离d2，相关联的数据，d2是在图案生成镜片13和上表面26之间的距离。这个数据库的 数据可以通过实验收集或者也可由数学模型产生。从图1中清楚可见，给定的第1传感器头表面24和第2传感器头 表面44是平行的，所以可相对任一个表面来测量倾斜角。为了方便， 术语"倾斜角"衡量由巻筒材料表面即在其上面投射图像的表面限定 的平面与由设置在该表面附近的传感器头限定的平面之间的夹角。在图1的厚度测定仪的这种情况下，相对第1传感器头10的表面24和 相对巻筒材料18的上表面26来测量该倾斜角。当第1传感器头的表 面24平行于巻筒材料18的上表面26时该倾斜角为零。图3说明由图1的图案生成镜片13投射到巻筒材料18上表面26 上的圆形图案在巻筒材料上表面26的上的平面图。当6角为零时产生 图案4，即当巻筒材料18的上表面26平行于传感器表面24时。很清 楚，圓形图案是对称的和点"A"对应于几何的圆心。当上表面倾斜时 产生的图案14相对图案4是歪斜的。换句话说，当表面26倾斜时圓 形图案4转换成图案14。从图1清楚可见，投射到上表面26上的图案 14的尺寸也与图案生成镜片13和巻筒材料18上表面上直接在其下面 的A点之间的距离成比例，该距离标记为d2。当d2减小时投射的图案 14的尺寸减小而当d2增加时该尺寸也增加。所以，当计算4几50将才殳 射的图案与它数据库中那些数据比较时，比较将提供角6和d2的值。 很清楚，当观察轴线不是垂直于巻筒材料上表面26时那么图3中的圆 形图案4将变成椭圓和几何中心将是在椭圓长轴和短轴的交叉点。在 根据传感器观察角简单地变换图像数据之后可以进行矩离和取向的分 析，或者另一种是，在数据库中可以包括由非垂直观察角引起的变形 失真。图l说明传感器头IO的图案生成镜片13和传感器头20激光传感 器32C的投射轴线(先通过的路线)不一致的几何表示。它们不一致 的水平距离在图1中记为4。如果巻筒材料光学上是足够的薄，如用 轻薄涂覆(LWC)纸或新闻纸将是这种情况，由头20上激光三角网传 感器32C投射的激光点到巻筒材料18的下表面28上的"B"点，在巻 筒材料18的上表面26上将是可见的。通过定位出传感器32C投射到 上表面26上图像中激光点的光强最大处和计算出在投射的激光点和第 1传感器头10的图案生成镜片13的投射轴线之间的分离距离，然后用
图像传感器测量该距离4。可将图案识别能力设计到分析软件中以便区别由上头10投射的图案还是由下头20投射的图案。另一种是，用颜色敏感的传感器可以选择激光源操作在两个不同的波长上。还有一 种是，由图像获取控制电子设备和软件可以选择地开和关激光源。如上所述由巻筒材料18上表面26中的图像计算得到"A"点表示第l传 感器头10图案生成镜片13投射轴线的位置。另外一种获得上下激光 头XY偏差的方法将是^f吏用磁控电阻传感器(magnetoresitive sensor)、 如Honeywell型号08696700。这种方法不只限于测量光学上薄的材料。 还如图1中所示，在第1传感器头10和第2传感器头20之间的 垂直距离记为Z，在开始操作非接触式厚度测定仪之前可以精确地测定 这个距离。如果在整个操作中Z保持恒定，就不必进行进一步的测量。 但是，两个传感器头之间分离的距离由于热膨胀、振动和其他因素可 以轻微地改变，因此对精密测量来说优选地进行传感器头之间间隔的 动态测量。可以采用各种技术进行动态测量，例如包括RF(射频)源 和才矣受线圈、Hall装置、和i兹控电阻装置(magnetoresistive device)。 Holmgren等人的美国专利4,160,204号中描述了采用电磁感应的一种 传感器，将它插入这里作为参考。另一种优选的Z传感器是在传感器 10上的RF线圏系统，它在相反的传感器头20中感应出涡流电流和测 量系统的阻抗以便获得距离Z的指示。图中表示的动态垂直距离传感 器30装在第2头20中，但是应该理解传感器!30可以设置在其他地方 或者该传感器可以包括设置在两个头10、 20中或其他地方的多个部 件。尽管对本发明的实践应用不是必需的，但在巻筒材料接近片厚度 测定装置之前为了稳定运动的巻筒材料，可在测量装置的上游优选地 采用巻筒材料稳定器。在Moeller等人的美国专利申请2003/0075293 号中描述了合适的非接触式稳定器，它包括用于连续的巻筒材料材料 的空气夹持稳定器，该专利申请未插入此处作为参考。该稳定器防止量i置的任一:传感器头:本发明;降低这些类溫的装置对公差的要求。在操作中，如在图1中所示，当巻筒材料18横向通过传感器头10 和20之间时，将图像14投射到巻筒材料18的上表面26上。然后按
照上述的方法测量Z、d1、d2、 6和dx。巻筒材料18的厚度可以按下 面的方程式计算厚度<formula>formula see original document page 13</formula>。图1还说明测量巻筒材料18厚度的另一个实施例，其中不需要dx 距离而当测量垂直距离是沿着同 一 轴线进行时产生这种情况。例如， 当测量d！和d3时，巻筒材料18的厚度简单地等于<formula>formula see original document page 13</formula>。通过闭环控制图案生成镜片13的投射轴线和从图像检测器来的信息可以做到这一点。通过很容易购买到的光束调整装置如2维的电流 计驱动扫描镜装置和辅助的镜片、2维的声光扫描装置和辅助的镜片，或另一种是，通过简单地实际移动该头，可以完成光束的调整。图2说明巻筒材料18倾斜在另一个方向的情况。如图所示定位在 传感器头10、 20之间的巻筒材料18沿着Y轴的方向运动。巻筒材料 18上表面26和X轴的夹角记为P。与前面一样该装置测量各变量Z、 山、d2、 6和dx,但是在这个实施例中，优选地是采用"G"和"F" 点。特别是，用垂直距离传感器32N测量d!。虽然结合纸片测量已经说明了薄膜厚度测量装置的各个优点，应 该理解该装置可以应用在必须测定运动巻筒材料材料厚度的任何环境 中。例如在制造塑料和织物中可以很容易地使用厚度测量装置。该装 置特别适合测量厚度在10至1000 pm (微米)范围内的薄膜。该薄膜 可在高速下运动通常在约800米/分钟到2100米/分钟的范围内，或更 快。上面已经描述了本发明各个原理、优选的实施例和操作模式。但 是，不应认为本发明仅限于所讨论的特定实施例。因此，应将上述各 实施例看作是说明性的而不是限制，应该理解本发明所属技术领域的面的权利要求;定义的范畴。
权利要求
1.一种系统，用于测量有第1表面(26)和第2表面(28)的卷筒材料厚度，它包括(a)设置在卷筒材料(18)第1表面(26)附近的第1传感器头(10)，其中第1传感器头(10)包括(i)投射图案(13)到卷筒材料(18)第一表面(26)上的机构和(ii)检测所投射图案的图像(14)和将该图像(14)转换成与电子图像(16)相对应的电信号的机构；(b)分析该电子图像(50)以便测定第1传感器头(10)与卷筒材料(18)第1表面(26)上所选位置之间距离的机构；(c)设置在卷筒材料(18)第2表面(28)附近的第2传感器头(20)，其中第2传感器头(20)包括测量从第2传感器头(20)到第2表面(28)上所选位置之间距离(32C)的机构；(d)测量从第1传感器头(10)到第2传感器头(20)的距离(30)的机构；(e)测量卷筒材料(18)倾斜角(50)的机构；(f)测量第1和第2传感器头(10、20)相对不对准度(16、32C)的机构；和(g)计算卷筒材料(18)厚度(50)的机构。
2. 如权利要求1所述的系统，其特征在于用于检测图像(14)和 将图像(14)转换成与电子图像(16)相对应的电信号的机构，包括 布置在第1表面(24)附近的用于接受被投射到巻筒材料(l8)第1 表面(26)上的图像(l4)的检测器(16);和用于分析电子图像(50)的机构包括计算机系统(50),它与检 测器(16)电气连接和包括图案识别程序以便处理电子图像和确定巻 筒材料的取向。
3. 如权利要求1所述的系统，其特征在于投射到巻筒材料(18) 第1表面(26)上的图像(l4)有限定的外形并且第1传感器头(10) 包括(i) 测量从第l传感器头(10)上第l位置到沿第l垂直轴线垂 直定位的巻筒材料(18)第1表面(26)上某位置的垂直距离(l2、 16、 50)的才几构；和(ii) 测量从巻筒材料(l8)第1表面(26)上某参考点到第1垂 直轴线的水平距离(32C、 16)的机构。
4. 如权利要求1所述的系统，其特征在于第1传感器头(10)是 上传感器头和第2传感器头(20)是下传感器头；和其中，测量相对不对准度(16、 32C)的机构用磁控电阻位移传感 器(magnetoresistive displacement sensor)观寸量在上下传感器头(10、 20)的传感器平面中上下投射轴线之间的偏差距离。
5. 如权利要求1所述的系统，其特征在于第1传感器头(10)是 上传感器头和第2传感器头(20)是下传感器头；和其中，测量相对不对准度U6、 32C)的机构通过下激光点穿过片 (18)的发射图像和用图像传感器(16)检测它来测量在上下传感器 头(10、 20)的传感器平面中上下投射轴线之间的偏差距离。
6. 测量有第1表面和第2表面(26、 28 )的巻筒材料(18 )厚度 的一种非接触方法，所述方法包括如下各步骤(a) 将第1传感器头(10)定位在巻筒材料(18)的第l表面(26)附近；(b) 将第2传感器头(20)定位在巻筒材料(l"的第2表面(28)附近；(c) 测量从第1传感器头(10)到第2传感器头(20)的距离；(d) 将包含图案(l4)的图像投射到巻筒材料(18)的第1表面 (26)上；(e) 检测和分析图像(l4)以便测定巻筒材料U8)相对第l传 感器头(10)、第2传感器头(20)、或者两者的取向；(f) 测量从第2传感器头(20)到巻筒材料(l8)第2表面(28) 上某位置的距离；和(g) 计算巻筒材料(18)的厚度。
7. 如权利要求6所述的方法，其特征在于步骤(e)包括将检测 到的图像与参考图像比较以便测定巻筒材料(18)的取向。
8. 如权利要求6所述的方法，其特征在于步骤(e)采用电荷耦 合器件相机或CMOS相机装置(16)来检测图像和将图像(14)转换 成与电子图像对应的电信号。
9. 如权利要求6所述的方法，其特征在于步骤(e)包括采用图 案识别程序来比较检测到的图像和参考图像以便测定巻筒材料(18) 的倾斜角。
10.如权利要求6所述的方法，其特征在于步骤(d)中投射到巻筒材料(18)第1表面(26)上的图像(")有限定的外形和该方法 还包括如下各步(i)测量从第l传感器头(10)上第l位置到沿第 1垂直轴线垂直定位的巻筒材料(18)第1表面(26)上某位置的垂直 距离和(ii)测量从巻筒材料U8)第l表面(26)上某参考点到第1 垂直轴线的水平距离。
全文摘要
运动的卷筒材料或片的非接触式厚度或纸的厚度测量技术采用包括第1传感器头和第2传感器头的传感器装置，两传感器头互相分离以便限定运动的卷筒材料通过的路径。传感器装置将激光产生的多点图案投射到运动卷筒材料的上表面上。图案的图案识别算法分析确定运动卷筒材料的取向、如倾斜度。该装置还测定薄膜的倾斜度、在第1传感器头和第1卷筒材料表面之间的距离、在第2传感器头和第2卷筒材料表面之间的距离和两个传感器头之间的距离以便提供高精度的运动卷筒材料在线厚度测量。
文档编号G01B11/06GK101120230SQ200580048299
公开日2008年2月6日 申请日期2005年12月19日 优先权日2004年12月21日
发明者F·M·哈兰, T·W·贾辛斯基 申请人:霍尼韦尔国际公司