专利名称：半导体检测设备的进样器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体检测领域的装置，具体地说，涉及半导体检测设备 的进样器。
背景技术：
电感耦合等离子质i普4义(Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry, ICP-MS)是一种被广泛用于半导体领域的铜、铝等等金属的杂质元素分析的检 测设备。ICP-MS质语仪检测的金属样品主要是以溶液的形态进样的，由于金属 都不会是绝对純净的，都会或多或少具有某些杂质，这样在ICP-MS质语仪没有 设置氧化系统的情况下，金属内的某些有机物杂质就会进入ICP-MS质谦仪的等 离子，在电场作用下，容易分解产生有机碎片。这些有机碎片对ICP-MS的测量 系统具有较严重的影响，最终导致ICP-MS质谱仪的检测准确性较差，灵敏度降 低。
图1为现有ICP-MS质傳仪的进样器。该进样器为进样毛细管l'，其下端插 入液体样品2'内，运用虹吸原理将液体样品2'输入ICP-MS质谱^C的其他相关系 统内。所述进样毛细管的管径为0.1毫米左右，液体流量大约为IOO微升每分钟。 这种类型的进样器还存在另一技术问题就是进样毛细管的管径容易被金属的大 分子有机物或高浓度无机物，如硅的絮状物，铝和铁的这螯合物堵塞。如果这 些物质穿过进样器，也很容易使ICP-MS质谱仪的采样推和截取锥出现堵塞现 象，使得ICP-MS质镨仪的使用寿命较低，增加了检测成本。有鉴于此，需要提供一种新的进样器。实用新型内容本实用新型解决的技术问题是提供一种可分离杂质的半导体检测设备的进 样器。 为解决上述技术问题，本实用新型提供新的半导体检测设备的进样器，其 一种半导体检测设备的进样器，其包括进样管，该进样器还包括选择性过滤接头，其套接于进样管的进样口上。进一步地，选择性过滤接头通过设置选择性半透膜使其具有选择性过滤功能。进一步地，选择性过滤接头还包括筒状本体以及安装于筒状本体上部的密 封接头，所述选择性半透膜可拆卸地安装于筒状本体底面。进一步地，所述密封接头包括具有球形底部的密封圏以及套接于密封圈球 形底部的螺母。进一步地，选择性过滤接头还包括固定支架，其安装筒状本体的底部以紧 固所述选择性半透膜。进一步地，所述固定支架具有一对扣持部，以卡扣安装于筒状本体的底部。进一步地，进样管的进样口距离选择性半透膜2毫米。与现有技术相比，本实用新型进样器通过在进样管的进样口处设置具有选 择过滤性功能的选择性过滤接头，将检测样品中不需要检测或者影响检测结果 的杂质从源头上进行阻止，提高了检测设备的灵敏度；选择性过滤接头上的选 择性半透膜亦可以阻隔的大分子有机物或者高浓度无机物，可以避免对进样管 的阻塞，增加了其使用寿命，降低了检测成本；选择性半透膜是可拆卸安装的， 可根据检验样品不同更换不同的选择性半透膜，增加了检测设备对不同浓度范 围的样品的分析;险测能力；密封接头的结构增加了进样管的虹吸能力。附困说明图1为现有进样器的平面示意图。图2为本实用新型进样器的平面示意图。图3为本实用新型进样器的立体示意图。
具体实施方式
通过
以下结合附图对本实用新型一实施例进行描述，可以进一步理解本实 用新型的目的、具体结构特征和优点。
请参阅图2和图3，本实用新型半导体检测设备的进样器10包括细长型的 输送检验样品的进样管如进样毛细管1和套接于进样管的进样口上的选择性过 滤接头7。本实施例的进样管是管径O. l毫米的进样毛细管l,对于本领域的技 术人员，可以根据液体样品2的浓度或其他参数选择其他管径的进样毛细管， 如O. 2毫米、0. 5毫米等等。本实施例的选择性过滤接头7包括聚四氟乙烯材料的筒状本体3、安装于筒 状本体3上部的密封接头4、安装于筒状本体3底面的选择性半透膜5以及固定 支架6。所述密封接头4包括具有球形底部420的密封圈42及螺母41,其中螺 母套接于密封團42的球形底部420，起进一步密封作用。所述固定支架6顶部 具有可扣持安装于本体3底部的扣持部61。组装时，首先将进样毛细管1穿过密封圏42,插入直至进样毛细管1的进 样口 111离待安装选择性半透膜5的位置2毫米左右，然后轻轻将螺母41狞紧 于密封團"的球形底部"0上，增强密封效果。根据待测样品溶液2本身特性 以及检测目的等等，选择适合的选择性半透膜5粘接于筒状本体3底面，然后 将固定支架6通过扣持部61连接于筒状本体3底缘上，进一步将选择性半透膜 5密封固定于筒状本体3上，完成本实用新型进样器10的组装。将选择性过滤 接头7清洗千净，将进样器10部分放入可以放入样品溶液2内，即可进行检测。所迷密封接头4采用螺母41与密封團42的球状底部420配合结构，不仅 增强了密封效果，而且增加了进样毛细管1的虹吸能力，4吏样品2的进样量更 加稳定，雾化率稳定，进而使得检测设备的检测信号变化较小，提高了检测的 准确性。本实用新型的进样器10通过在进样管的进样口设置具有一定透过率的选择 性过滤接头7。选择性过滤接头7上的选择性半透膜5不仅保证了有效地金属元 素通过，而且将样品中不需要检测或者影响检测结果的杂质从源头上进行阻止， 防止了大量杂质如娃元素进行检测i殳备如ICP-MS质镨仪的四级杆系统和棱镜 系统内，提高了检测设备的灵敏度。另外，选择性半透膜5还可以阻隔液体样 品2中的大分子有机物或者高浓度无机物，不仅可以减少对相同核质比的金属 元素的影响，而且可以避免对进样管的阻塞，增加了其使用寿命，降低了检测 成本。该选择性过滤接头7可根据不同样品的要求不同更换不同的选择性半透
膜5，达到有效分离和检测的目的，增加了检测设备对不同浓度范围的样品的分 析检测能力。
权利要求1.一种半导体检测设备的进样器，其包括进样管，其特征在于该进样器还包括选择性过滤接头，其套接于进样管的进样口上。
2. 如权利要求1所述的半导体检测设备的进样器，其特征在于选择性过滤接 头通过设置选择性半透膜使其具有选择性过滤功能。
3. 如权利要求2所述的半导体检测设备的进样器，其特征在于选择性过滤接 头还包括筒状本体以及安装于筒状本体上部的密封接头，所述选择性半透膜可 拆卸地安装于筒状本体底面。
4. 如权利要求3所述的半导体检测设备的进样器，其特征在于所述密封接头 包括具有球形底部的密封圈以及套接于密封圏球形底部的螺母。
5. 如权利要求3所述的半导体检测设备的进样器，其特征在于选择性过滤接 头还包括固定支架，其安装筒状本体的底部以紧固所述选择性半透膜。
6. 如权利要求5所述的半导体检测设备的进样器，其特征在于所述固定支架 具有一对扣持部，以卡扣安装于筒状本体的底部。
7. 如权利要求2或3所述的半导体检测设备的进样器，其特征在于进样管的 进样口距离选择性半透膜2毫米。
8. 如权利要求2所述的半导体检测设备的进样器，其特征在于所述选择性半 透膜是黏接地安装于筒状本体底面的。
专利摘要本实用新型公开了一种半导体检测设备的进样器，涉及半导体检测领域的装置。该进样器包括进样管及套接于进样管的进样口上的选择性过滤接头。进一步地，该选择性过滤接头包括筒状本体、安装于筒状本体上部的密封接头以及可拆卸地安装于筒状本体底面选择性半透膜。与现有技术相比，本实用新型进样器通过在进样管的进样口处设置具有选择过滤性功能的选择性过滤接头，将检测样品中不需要检测或者影响检测结果的杂质从源头上进行阻止，提高了检测设备的灵敏度；对大分子有机物或者高浓度无机物，可以避免对进样管的阻塞，增加了其使用寿命，降低了检测成本。
文档编号G01N27/62GK201051088SQ20072007054
公开日2008年4月23日 申请日期2007年6月1日 优先权日2007年6月1日
发明者吕秋玲, 张士仁, 肖建军 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司