专利名称：气相沉积腔体的感温装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种感温装置，尤其涉及一种温度感应器与计量显示器相 隔分置于气相沉积腔体内外的感温装置。
背景技术：
感温装置是一套专门用于气相沉积腔体内检测加热器温度的系统。尤其涉
及到ASM厂牌中型号为EAGLE-10的机台上的气相沉积腔体，对于操作人员 准确掌握该气相沉积腔体内的温度环境极为重要。如图1现有技术的感温装置 的结构连接示意图可见，该气相沉积腔体内的感温装置包括温度感应器11、测 温线3、连接器接头4及计量显示器5。其中，温度感应器11埋入铝盘1并放 置于气相沉积腔体2内的加热器上，而通过一根测温线3将温度感应器1与外 界连接器接头4、计量显示器5相连。以此实现操作人员非常方便地从计量显 示器5上准确地获取气相沉积腔体2内的温度环境，及时调整控制参数，保证 该工艺制程的正常、优化运转。
然而，由于对气相沉积腔体的每次测量都需要将盖板关闭，而连接内外的 测温线材质又很硬，所以在反复使用多次后，该测温线将不可避免地被盖板压 断；又由于该测温线与两端相连的温度感应器及连接器接头为一体式设计、生 产，温度感应器深埋于铝盘内部无法拆除，而只能将这一感温装置全部报废， 换之以整套新的感温装置。在高昂的成本消耗下，还造成了很大的资源浪费。
实用新型内容
本实用新型提供一种用于ASM厂牌中型号为EAGLE-10的机台上的气相 沉积腔体的感温装置，其目的旨在解决现有感温装置的测温线在该机台气相沉 积腔体盖板开闭处易被压断且更换不便，整体维护成本昂贵的问题。
本实用新型气相沉积腔体的感温装置，其实现的技术方案是 气相沉积腔体的感温装置，包括有温度感应器、测温线、连接器接头及计 量显示器，其中测温线为双线，测温线的一端与深埋于铝盘内部的温度感应器 相连，另一端则通过连接器接头接至计量显示器，其特征在于在所述的测温 线在易损区段的两端分别装设有2组前压线端子和2组后压线端子，形成一个 带分段式测温线的感温装置。
进一步地，所述的前、后压线端子均是采用与测温线相一致的材质制成。 更进一步地，所述的前压线端子为无护套叶片型公/母压线端子；所述的后 压线端子为有护套叶片型公/母压线端子。
更进一步地，所述的前压线端子组与后压线端子组之间的测温线长度为 8cm 12cm。
再进一步地，所述的前压线端子外围设有一个耐高温绝缘盒。 本实用新型感温装置的技术方案，其有益效果为
采用分段式测温线通过压线端子连接的感温装置，可方便更换易损区段的 测温线，避免报废整个感温装置，既节省机台设备的维修成本，又杜绝了因材 料报废而造成的环境污染。此外，由于严格参照热电偶原理，压线端子采用与 测温线相一致的材质制成，且将前、后两组压线端子之间的测温线控制在一定 的长度范围内，保持了温度测量的准确性，具有较好的实用效益和社会效益。
图l是现有技术的感温装置的结构连接示意图2是本实用新型的感温装置的结构连接示意图。
以上图中各附图标记的含义如下
1铝盘11温度感应器
2气相沉积腔体3观'J温线
4连接器接头计量显示器
612组前压线端子622组后压线端子
63绝缘盒
具体实施方式
以下将结合附图对本实用新型用于ASM厂牌中型号为EAGLE-10的机台 上的气相沉积腔体的感温装置实施例作进一步非限制性描述，以较为直观的方 式加深对本创作实质的理解。
气相沉积腔体的感温装置，包括有温度感应器、测温线、连接器接头及计 量显示器，其中测温线为双线，测温线的一端与深埋于铝盘内部的温度感应器 相连，另一端则通过连接器接头接至计量显示器，其特征在于在所述的测温 线在易损区段的两端分别装设有2组前压线端子和2组后压线端子，形成一个 带分段式测温线的感温装置。
如图2所示，是本实用新型感温装置的结构连接示意图。由图可以清楚地 看出本实用新型的感温装置，主要由温度感应器11、连接器接头4、计量显 示器5及测温线3组成。其中，该温度感应器11埋入铝盘1并于测量时放置 于气相沉积腔体2内的加热器上；
该计量显示器5藉由连接器接头4和测温线3与温度感应器11相耦接；特别地，该测温线3为双线结构，即每条测温线内部均包含有两条相互隔
绝的导热线材，且材质硬度较高。而本实施例中，该测温线3在原来容易被气 相沉积腔体盖板压损的区段测温线的两接线端分别装设有2组前压线端子61 和2组后压线端子62，用以在更换中间压损段时作接续之用。由此，则形成了 一个带有分段式测温线的感温装置。其中，为避免塑料护套在高达400摄氏度 的气相沉积腔体内溶化而污染腔体内部，保持制程工艺的纯净度，该2组前压 线端子61为无护套叶片型公/母压线端子，并将其分别放入一个材质为云母微 晶玻璃陶瓷的有可开启盖子的耐高温绝缘盒63的2条隔离槽内，以防止两个 导热线材发生短路情况。而该2组后压线端子62同样为了阻隔两个导热线材 并便于插接，设计为有护套叶片型公/母压线端子。通过前、后共四组公/母压 线端子，实现了本创作目的分段式测温线设计。
为保持测温的准确性，根据热电偶原理，该2组前压线端子61和2组后 压线端子62采用与常规测温线3相一致的材质，且该2组前压线端子61与2 组后压线端子62之间的测温线的长度不宜过长， 一般取值8cm 12cm即可。
综上所述，本实用新型很好地解决了感温装置的测温线在气相沉积腔体盖 板开闭处易被压断且更换不便的问题，只需将测温线采用分段式设计，对易被 压断的测温线两端以公/母压线端子相接续的方式，即可在完全实现原有感温装 置功能的前提下，缩减高昂的机台设备维修成本，杜绝因材料的报废而造成的 环境污染。具有较好的实用效益和社会效益，其应用前景非常广阔。
权利要求1.气相沉积腔体的感温装置，包括有温度感应器、测温线、连接器接头及计量显示器，其中测温线为双线，测温线的一端与深埋于铝盘内部的温度感应器相连，另一端则通过连接器接头接至计量显示器，其特征在于在所述的测温线在易损区段的两端分别装设有2组前压线端子和2组后压线端子，形成一个带分段式测温线的感温装置。
2. 根据权利要求1所述的气相沉积腔体的感温装置，其特征在于所述 的前压线端子为无护套叶片型公母压线端子。
3. 根据权利要求1所述的气相沉积腔体的感温装置，其特征在于所述 的后压线端子为有护套叶片型公母压线端子。
4. 根据权利要求1所述的气相沉积腔体的感温装置，其特征在于所述 的前、后压线端子均是采用与测温线相-一致的材质制成。
5. 根据权利要求1所述的气相沉积腔体的感温装置，其特征在于所述的前压线端子组与后压线端子组之间的测温线长度为8cm 12cm。
6. 根据权利要求1所述的气相沉积腔体的感温装置，其特征在于所述的前压线端子外围设有一个耐高温绝缘盒。
专利摘要本实用新型公开了一种气相沉积腔体的感温装置，包括有温度感应器、测温线、连接器接头及计量显示器，其中测温线为双线，测温线的一端与深埋于铝盘内部的温度感应器相连，另一端则通过连接器接头接至计量显示器，其特征在于所述的测温线在易损区段的两端分别装设有2组前压线端子和2组后压线端子，形成一个带分段式测温线的感温装置；而且，所述的前、后压线端子均是采用与测温线相一致的材质制成。这种采用分段式测温线通过压线端子连接的感温装置，保持了温度测量的准确性，可方便更换易损区段的测温线，避免报废整个感温装置，既节省了机台设备的维修成本，又杜绝了因材料报废而造成的环境污染。
文档编号G01K7/00GK201145617SQ20072013182
公开日2008年11月5日 申请日期2007年12月21日 优先权日2007年12月21日
发明者储著飞, 刚 刘, 涛 刘, 程光中 申请人:和舰科技(苏州)有限公司