专利名称：一种太阳能电池扩散用源瓶液位测量装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能电池扩散用源瓶液位测量装置。
背景技术：
扩散工序是在硅片表面制作PN结，是实现光伏发电的关键步骤，目前行业内普遍 采用的是气体携带液态磷源扩散的方法。即将气体通入装有液体的石英源瓶，湿润后携带 磷源蒸气通入扩散炉中。磷源在常温和常压下就有很高的蒸气压，必须在恒温槽中保温，以 保证其蒸气压和工艺浓度的稳定性。恒温槽内介质一般为纯水，而三氯氧磷一旦与水接触， 将发生剧烈反应，生成有毒气体，具有严重的危害性。在生产过程中，操作者需要定期的去 检查源瓶内磷源的量是否充足，以保证其蒸气压和工艺的稳定性。每次检查源量时，都需 要人为手工从恒温槽内提起源瓶观察剩余源量，而进气口与源瓶连接处容易聚集较大的应 力，用力不当或操作不小心往往造成此处断裂而发生磷源泄漏，对操作者有严重的潜在危 害。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种源瓶液位测量装置。为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是提供了一种太阳能电池扩散用源瓶 液位测量装置，其特征在于包括位于源瓶侧边的液位显示管，液位显示管与源瓶相通，在 液位显示管底部设有液位感应器，液位感应器连接外置的报警电路。本实用新型的优点是实现扩散源低液位自动报警，无需人工频繁对源瓶直接操 作，防止安全事故的发生。
图1为本实用新型提供的一种太阳能电池扩散用源瓶液位测量装置应用示意图。
具体实施方式
实施例如图1所示，为本实用新型提供的一种太阳能电池扩散用源瓶液位测量装置，包 括位于源瓶3侧边的液位显示管6，液位显示管6与源瓶3相通，在液位显示管6底部设有 液位感应器7，液位感应器7连接外置的报警电路。工作时，恒温槽1充满纯水，不锈钢衬套2内放置源瓶3，源瓶3中装有三氯氧磷 液体。氮气经进气管4进入源瓶3，被湿润后由出气管5进入扩散炉。液位显示管6内的 液位与源瓶3中的液位保持一致，液位感应器7安装于液位显示器6的底部，稍高于进气管 4的末端，当瓶内剩余源量不足，液面低于液位感应器7时，外部电路将报警提示，从而实现 自动监控，防止安全事故的发生。
权利要求1. 一种太阳能电池扩散用源瓶液位测量装置，其特征在于包括位于源瓶(3)侧边的 液位显示管(6)，液位显示管(6)与源瓶(3)相通，在液位显示管(6)底部设有液位感应器 (7),液位感应器(7)连接外置的报警电路。
专利摘要本实用新型提供了一种太阳能电池扩散用源瓶液位测量装置，其特征在于包括位于源瓶侧边的液位显示管，液位显示管与源瓶相通，在液位显示管底部设有液位感应器，液位感应器连接外置的报警电路。本实用新型的优点是实现扩散源低液位自动报警，无需人工频繁对源瓶直接操作，防止安全事故的发生。
文档编号G01F23/00GK201787995SQ20102052351
公开日2011年4月6日 申请日期2010年9月9日 优先权日2010年9月9日
发明者王锋萍 申请人:浙江百力达太阳能有限公司