专利名称：一种避免在压力表中产生沉积物的冷却装置及机台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及芯片制造领域，特别是涉及一种避免在压力表中产生沉积物的冷 却装置及使用该冷却装置的化学气相沉积机台。
背景技术：
目前，在芯片制程中，进行化学气相沉积时经常会发生压力表堵塞，从 而导致机台发出警报的情况，这是由于，在进行气相沉积时发生化学反应，如 3SiH2CI2+4NH3 — Si3N4+6HCI+6H2 ；HCI+NH3 — NH4Cl。而排出气体时，未反应的尾气若遇冷会 形成沉积薄膜附着在管壁和压力表中，导致压力表中的传感器失灵，从而使压力表失效，机 台发出警报。现有机台的示意图如图1所示。现有技术中，是采用加热管壁和压力表的方 式来降低沉积薄膜的形成。但压力表无法完全加热，因此，长时间后压力表的内部还是会被 沉积薄膜所覆盖和堵塞，这就影响了压力表传感器的性能精确度，导致在制造过程中测量 压力出现异常，机台发出警报。所以需要经常清理或更换压力表。因此，需要一种装置能避免在压力表中产生沉积物，从而能延长压力表的使用寿 命。
实用新型内容针对现有技术中存在的缺陷和不足，本实用新型的目的是提出一种冷却装置及使 用该冷却装置的化学气相沉积机台，能避免在压力表中产生沉积物。为了达到上述目的，本实用新型提出了一种避免在压力表中产生沉积物的冷却 装置，包括位于化学气相沉积机台的排气管和压力表之间的连接管中的冷却水管，以及与 所述冷却水管连接的进水管和出水管。作为上述技术方案的优选，所述冷却水管的形状为螺旋形，以得到最大表面积。作为上述技术方案的优选，所述冷却水管所在的所述连接管处的形状与所述冷却 水管的形状相对应。作为上述技术方案的优选，所述冷却水管所在的所述连接管处的形状为球形。作为上述技术方案的优选，所述进水管和所述出水管穿过所述连接管与所述冷却 水管连接。本实用新型还提出一种化学气相沉积机台，所述化学气相沉积机台中包括冷却装 置，所述冷却装置包括位于化学气相沉积机台的排气管和压力表之间的连接管中的冷却 水管，以及与所述冷却水管连接的进水管和出水管。作为上述技术方案的优选，所述冷却水管的形状为螺旋形，以得到最大表面积。作为上述技术方案的优选，所述冷却水管所在的所述连接管处的形状与所述冷却 水管的形状相对应。作为上述技术方案的优选，所述冷却水管所在的所述连接管处的形状为球形。作为上述技术方案的优选，所述进水管和所述出水管穿过所述连接管与所述冷却水管连接。本实用新型提出的冷却装置及使用该冷却装置的化学气相沉积机台，在气体到达 压力表之前使用了冷却水管对排放气体中的尾气进行冷却过滤，因此，避免了在压力表内 产生沉积薄膜，而不同于现有技术把解决该问题的方法的重点放在如何去除已形成在压力 表内的沉积物方面。因而从根本上解决了现有技术中出现的压力表堵塞的问题，从而提高 了压力表的使用效率，延长了压力表的寿命。
以下结合附图，对本实用新型的具体实施方式
作进一步的详细说明。对于所属技 术领域的技术人员而言，从对本实用新型的详细说明中，本实用新型的上述和其他目的、特 征和优点将显而易见。
图1为现有技术中化学气相沉积后排气管与压力表的连接示意图；图2为本实用新型提出的安装在机台中的冷却装置示意图；图3为本实用新型提出的冷却装置的优选实施例的透视图。
具体实施方式
本实用新型提出的的冷却装置的优选实施例如图2所示，该冷却装置4包括位于 化学气相沉积机台1的排气管2和压力表3之间的连接管中的冷却水管5，以及与所述冷却 水管5连接的进水管6和出水管7。所述进水管6和出水管7用于为冷却水管提供使用的 水。在压力表3前的管路中增加冷却水管，排气管中排放的尾气经过该冷却装置时， 就会遇冷易而凝结成杂质，并吸附于冷却水管上。这样，就不会再有尾气遇冷形成沉积薄膜 在压力表3内了。其中，上述冷却水管5的形状可以为螺旋形，如图3所示。当然，冷却水管5可以 为任意形状，只要可以得到最大的与气体接触的表面积即可，这样就能最大限度地接触并 冷却过滤尾气。由于冷却水管5的形状可以采用多种形状，因此，所述冷却水管5所在的所述连接 管处的形状就应该与冷却水管5的形状相对。例如，如图3所示，所述冷却水管5所在的所述连接管处的形状可以为球形。在上述实施例中，进水管6和出水管7穿过连接管与冷却水管5连接。本实用新型还提出一种安装了冷却装置4的化学气相沉积机台1，所述冷却装置 4包括位于化学气相沉积机台1的排气管2和压力表3之间的连接管中的冷却水管4，以 及与所述冷却水管4连接的进水管6和出水管7。其中，所述冷却水管的形状为螺旋形，以得到最大表面积。所述冷却水管所在的所述连接管处的形状与所述冷却水管的形状相对应。所述冷却水管所在的所述连接管处的形状为球形。所述进水管和所述出水管穿过所述连接管与所述冷却水管连接。本实用新型提出的冷却装置及使用该冷却装置的化学气相沉积机台，在气体到达 压力表之前使用了冷却水管对排放的气体进行冷却过滤，因此，避免了在压力表内产生沉积薄膜，提高了压力表的使用效率，延长了压力表的寿命。 虽然，本实用新型已通过以上实施例及其附图而清楚说明，然而在不背离本实用 新型精神及其实质的情况下，所属技术领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应 的变化和修正，但这些相应的变化和修正都应属于本实用新型的权利要求的保护范围。
权利要求1.一种避免在压力表中产生沉积物的冷却装置，其特征在于，包括位于化学气相沉 积机台的排气管和压力表之间的连接管中的冷却水管，以及与所述冷却水管连接的进水管 和出水管。
2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却水管的形状为螺旋形。
3.根据权利要求1或2所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却水管所在的所述连接管 处的形状与所述冷却水管的形状相对应。
4.根据权利要求3所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却水管所在的所述连接管处 的形状为球形。
5.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述进水管和所述出水管穿过所述 连接管与所述冷却水管连接。
6 一种化学气相沉积机台，其特征在于，所述化学气相沉积机台中包括冷却装置，所述 冷却装置包括位于化学气相沉积机台的排气管和压力表之间的连接管中的冷却水管，以 及与所述冷却水管连接的进水管和出水管。
7.根据权利要求6所述的化学气相沉积机台，其特征在于，所述冷却水管的形状为螺 旋形。
8.根据权利要求6或7所述的化学气相沉积机台，其特征在于，所述冷却水管所在的所 述连接管处的形状与所述冷却水管的形状相对应。
9.根据权利要求8所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却水管所在的所述连接管处 的形状为球形。
10.根据权利要求6所述的冷却装置，其特征在于，所述进水管和所述出水管穿过所述 连接管与所述冷却水管连接。
专利摘要本实用新型涉及一种避免在压力表中产生沉积物的冷却装置及机台，该冷却装置包括位于化学气相沉积机台的排气管和压力表之间的连接管中的冷却水管，以及与所述冷却水管连接的进水管和出水管。该机台中包括该冷却装置。本实用新型提出的冷却装置及使用该冷却装置的机台，在气体到达压力表之前使用了冷却水管对排放尾气中的尾气进行冷却过滤，因此，避免了在压力表内产生沉积薄膜，提高了压力表的使用效率，延长了压力表的寿命。
文档编号G01L23/28GK201852673SQ201020540488
公开日2011年6月1日 申请日期2010年9月25日 优先权日2010年9月25日
发明者胡生强 申请人:和舰科技(苏州)有限公司