光干涉气体检测装置光路系统的制作方法

文档序号:5983988阅读:222来源:国知局
专利名称:光干涉气体检测装置光路系统的制作方法
技术领域
本实用新型涉及光学技术领域,尤其涉及光干涉气体检测装置光路系统。
背景技术
现有的光干涉气体检测设备都是采用50年代日本理研设计的光路和机械结构,其原理为雅敏干涉。这种结构测量范围宽、有一定测量精度、维护工作量小,但因光学系统的成像光程较长和光学机械组合结构件较多,产品体积较大,而且由于光源没有准直,有杂光,从而容易产生零点漂移和测量误差。

实用新型内容有鉴于此,本实用新型目的在提供一种光干涉气体检测装置光路系统,结构更为简单,可减小产品体积。·本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的光干涉气体检测装置光路系统,包括气室,还包括设置于气室一端外,用于将光源发出的光束分为两路平行光束射入气室的分光模块。进一步,所述气室包括米样气室和参考气室,所述米样气室和参考气室分别与分光模块射出的两路平行光束中的一路相对设置。进一步,所述分光模块为一块分光棱镜。进一步,所述分光棱镜相对于气室倾斜放置,以使所述两路平行光束沿气室的长度方向射入气室。进一步,所述光干涉气体检测装置光路系统还包括一反射模块,所述反射模块设置于气室与分光模块相对的另一端外,用于将分光模块反射经过气室的两路平行光束反射回气室。进一步,所述光干涉气体检测装置光路系统还包括一合光模块,所述合光模块设置于气室与反射模块相对的另一端外,用于将反射模块反射经过气室的两路平行光合为一束光。进一步,所述合光模块与分光模块为一体设置的胶合棱镜。进一步,所述合光模块与分光模块为分光平面镜。进一步,所述光干涉气体检测装置光路系统还包括成像系统,所述成像系统包括感光模块,所述感光模块设置于聚光模块的光线射出方向上。进一步,所述光干涉气体检测装置光路系统还包括光源模块,所述光源模块包括光源和准直光路,所述准直光路设置于光源的发射方向上,所述准直光路沿光线发射方向,依次包括聚光镜、光栏和准直镜,所述光栏设置于聚光镜的焦点内,所述准直镜设置于聚光镜的焦点外。本实用新型的光干涉气体检测装置光路系统结构简单,可减小整机产品的体积,特别是在进一步技术方案中,合光模块与分光模块为胶合棱镜,结构更为紧凑,使仪器便携成为可能。可降低产品的装配要求,提高精度;光源设置两级透镜组成的准直系统,准直效果好,提闻检测精度。本实用新型的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述,并且在某种程度上,基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的,或者可以从本实用新型的实践中得到教导。本实用新型的目标和其他优点可以通过下面的说明书和权利要求书来实现和获得。

图I示出了实施例I的光干涉气体检测装置光路系统的示意图;图2示出了实施例2的光干涉气体检测装置光路系统另一种实施方式的示意图;图3示出了实施例3的光干涉气体检测装置光路系统中光源模块的示意图。
具体实施方式
以下将对本实用新型的优选实施例进行详细的描述。应当理解,优选实施例仅为了说明本实用新型,而不是为了限制本实用新型的保护范围。参见图1、2、3,光干涉气体检测装置光路系统,包括气室6、分光模块、合光模块、反射模块8、成像系统和光源,所述分光模块设置于气室一端外,用于将光源发出的光束分为两路平行光束沿气室6的长度方向射入气室6,两路平行光在气室6内干涉后,可获得两组干涉条纹;所述气室6包括米样气室和参考气室,所述米样气室和参考气室分别与分光模块射出的两路平行光束中的一路相对设置,采样气室和参考气室之间的隔断可在两组干涉条纹间形成隔带;为增加光路在气室内的行程,以减小气室长度,在气室6与分光模块相对的另一端外设置反射模块8,所述反射模块8用于将分光模块反射经过气室的两路平行光束反射回气室;还包括一合光模块,所述合光模块设置于气室与反射模块相对的另一端夕卜,用于将反射模块反射经过气室的两路平行光合为一束光,本实施例中,合光模块与分光模块由分光平面镜5 —并实现。所述成像系统包括投影组件和感光模块13,所述感光模块13设置于合光模块的光线射出方向上,投影组件设置于合光模块与感光模块13之间,所述投影组件由两块凸透镜组成或由一块凸透镜11和一块凹透镜12组成,所述感光模块用于将干涉条纹转换为电信号进行下一步处理。参见图1、3,所述光源模块包括光源I和准直光路,所述准直光路设置于光源I的发射方向上。所述准直光路沿光线发射方向,依次包括聚光镜2、光栏3和准直镜4,所述光栏3设置于聚光镜2的焦点内,所述准直镜4设置于聚光镜2的焦点外。所述聚光镜2优选为凸透镜,所述准直镜4优选为胶合透镜,所述胶合透镜由一面凸透镜和一面弯月透镜组成,准直镜4光心与聚光镜2光心的距离为聚光镜2的焦距I加上胶合透镜的焦距f。所述光源I发射出光线,聚光镜2将光源I发出的光纤会聚后发散,在此过程中,光栏3可将杂光去除,准直镜4则对接收的光线进行准直,试透射出的光线为水平光线。所述光干涉甲烷检测装置的光源模块中的光源I、聚光镜2、光栏3和准直镜4可封装为一体。参见图2,图2中仅画出部分光路的示意图,作为另一种实施方式,合光模块与分光模块各为一块折射棱镜,两块折射棱镜分别实现合光与分光。此外,合光模块与分光模块还可以为设置为一体的胶合棱镜。[0022]最后说明的是,以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制,尽管参 照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本技术方案的宗旨和范围,其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
权利要求1.光干涉气体检测装置光路系统,包括气室,其特征在于还包括设置于气室一端外,用于将光源发出的光束分为两路平行光束射入气室的分光模块。
2.根据权利要求I所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于所述气室包括米样气室和参考气室,所述米样气室和参考气室分别与分光模块射出的两路平行光束中的一路相对设置。
3.根据权利要求2所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于所述分光模块为一块分光棱镜。
4.根据权利要求3所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于所述分光棱镜相对于气室倾斜放置,以使所述两路平行光束沿气室的长度方向射入气室。
5.根据权利要求4所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于所述光干涉气体检测装置光路系统还包括一反射模块,所述反射模块设置于气室与分光模块相对的另一端外,用于将分光模块反射经过气室的两路平行光束反射回气室。
6.根据权利要求5所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于所述光干涉气体检测装置光路系统还包括一合光模块,所述合光模块设置于气室与反射模块相对的另一端外,用于将反射模块反射经过气室的两路平行光合为一束光。
7.根据权利要求6所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于所述合光模块与分光模块为一体设置的胶合棱镜。
8.根据权利要求6所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于所述合光模块与分光模块为分光平面镜。
9.根据权利要求6-8中任一项所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于所述光干涉气体检测装置光路系统还包括成像系统,所述成像系统包括投影组件和感光模块,所述感光模块设置于聚光模块的光线射出方向上,投影组件设置于聚光模块与感光模块之间。
10.根据权利要求1-8中任一项所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于所述光干涉气体检测装置光路系统还包括光源模块,所述光源模块包括光源和准直光路,所述准直光路设置于光源的发射方向上,所述准直光路沿光线发射方向,依次包括聚光镜、光栏和准直镜,所述光栏设置于聚光镜的焦点内,所述准直镜设置于聚光镜的焦点外。
专利摘要本实用新型涉及光学技术领域,提供一种光干涉气体检测装置光路系统,结构更为简单,可减小产品体积,包括气室,还包括设置于气室一端外,用于将光源发出的光束分为两路平行光束射入气室的分光模块,还包括反射模块、合光模块等,在进一步技术方案中,给出多种合光模块与分光模块的组合方式,例如为一体的胶合棱镜,结构更为紧凑,使仪器便携成为可能,可降低产品的装配要求,提高精度;光源设置两级透镜组成的准直系统,准直效果好,提高检测精度。
文档编号G01N21/45GK202720190SQ20122028437
公开日2013年2月6日 申请日期2012年6月15日 优先权日2012年6月15日
发明者张晶, 张小平, 刘佳 申请人:重庆同博测控仪器有限公司
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