一种新型真空用湿气充入装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型涉及一种真空设备应用，特别是涉及一种新型真空用湿气充入装置。
【背景技术】
[0002]化学气相沉积(Chemical vapor deposit1n，简称CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，进而制得固体材料的工艺技术。它本质上属于原子范畴的气态传质过程。与之相对的是物理气相沉积(PVD)。现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料，这些功能材料必须是高纯的，或者是在高纯材料中有意地掺入某种杂质形成的掺杂材料。但是，我们过去所熟悉的许多制备方法如高温熔炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要求，也难以保证得到高纯度的产品。因此，无机新材料的合成就成为现代材料科学中的主要课题。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是II1-V、I1-1V、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。
[0003]磁控溅射通常将欲沉积的材料制成板材一一靶，固定在阴极上。基片置于正对靶面的阳极上，距靶几厘米。系统抽至高真空后充入10?1帕的气体(通常为氩气)，在阴极和阳极间加几千伏电压，两极间即产生辉光放电。放电产生的正离子在电场作用下飞向阴极，与靶表面原子碰撞，受碰撞从靶面逸出的靶原子称为溅射原子，其能量在1至几十电子伏范围。溅射原子在基片表面沉积成膜。与蒸发镀膜不同，溅射镀膜不受膜材熔点的限制，可溅射W、Ta、C、Mo、WC、T i C等难熔物质。溅射化合物膜可用反应溅射法，即将反应气体(0、N、HS、CH等)加入Ar气中，反应气体及其离子与靶原子或溅射原子发生反应生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉积在基片上。
[0004]上述两种设备都需要充入微量气体，有的特殊工艺需要微量精确充入湿气。
[0005]目前采用的湿气充入装置主要由调节阀控制，由人感觉，不能定量，重复性差，所镀的真空薄膜不理想。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种新型真空用湿气充入装置。
[0007]本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:
[0008]—种新型真空用湿气充入装置，包括真空罐体，所述真空罐体的进气口和抽气口分别设置有湿气发生器和抽气机，所述湿气发生器与所述进气口之间的管路设置有充气调节阀，所述充气调节阀连接有调节阀控制器，所述真空罐体还安装有湿度计和观察窗，所述观察窗位于所述真空罐体的顶部，所述湿度计安装在所述真空罐体的内部，所述湿度计的上端部设置有湿度计显示器和湿度计开关按钮，所述湿度计的下端部设置有湿度计测量口，所述湿度计显示器位于所述观察窗的正下方，所述湿度计测量口靠近所述进气口，所述真空罐体的顶部设置有可以按下的开关按钮真空密封轴，所述开关按钮真空密封轴位于所述湿度计开关按钮的正上方。
[0009]进一步地，所述湿度计位于所述湿气发生器和所述抽气机之间。
[0010]进一步地，所述湿度计通过湿度计支架固定安装在所述真空罐体的内部。
[0011]进一步地，所述观察窗为固定卡装在所述真空罐体顶部的透明玻璃材质。
[0012]进一步地，所述开关按钮真空密封轴为L型结构，所述开关按钮真空密封轴的横杆部位于所述湿度计开关按钮的正上方。
[0013]本实用新型的有益效果在于:
[0014]本实用新型可通过湿度计测量出湿气的流量和湿度，通过观察窗可观测到湿度计显示器上的数据，通过调节阀控制器及调节阀可控制湿气流量，从而可精确定量的充入镀膜用反应湿气，重复性好，所镀的真空薄膜比较理想。
【附图说明】
[0015]图1是本实用新型所述新型真空用湿气充入装置的结构示意图；
[0016]图中:1_真空罐体，2-湿度计，3-湿气发生器，4-抽气机，5-充气调节阀，101-观察窗，102-开关按钮真空密封轴，103-湿度计支架，201-湿度计开关按钮，202-湿度计显示器，203-湿度计测量口，301_进气口，401-抽气口，501-调节阀控制器。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0018]如图1所示，本实用新型包括真空罐体1，真空罐体1的进气口301和抽气口401分别设置有湿气发生器3和抽气机4，湿气发生器3与进气口 301之间的管路设置有充气调节阀5，充气调节阀5连接有调节阀控制器501，真空罐体1还安装有湿度计2和观察窗101，观察窗101位于真空罐体1的顶部，湿度计2安装在真空罐体1的内部，湿度计2的上端部设置有湿度计显示器202和湿度计开关按钮201，湿度计2的下端部设置有湿度计测量口 203，湿度计显示器202位于观察窗101的正下方，湿度计测量口 203靠近进气口 301，真空罐体1的顶部设置有可以按下的开关按钮真空密封轴102，开关按钮真空密封轴102位于湿度计开关按钮201的正上方。
[0019]在本实施例中，湿度计2位于湿气发生器3和抽气机4之间。湿度计2通过湿度计支架103固定安装在真空罐体1的内部，根据实际情况的需要，也可将湿度计支架103设计为位置可上下调节的结构，从而能够调节湿度计2的位置。观察窗101为固定卡装在真空罐体1顶部的透明玻璃材质，这样不用打开观察窗101也可观察到湿度计显示器202。开关按钮真空密封轴102为L型结构，开关按钮真空密封轴102的横杆部位于湿度计开关按钮201的正上方。
[0020]本实用新型所述新型真空用湿气充入装置，在工作时，湿气发生器3产生湿气通过充气调节阀5从进气口 301进入真空罐体1内部，再通过抽气口401的抽气机4抽入应用设备(未在图中标注)，在通气的过程中可通过调节阀控制器501控制进气流量，当湿气通过湿度计测量口 203时，通过观察窗101可观察湿度显示器202上所显示的湿度数据，即知道湿气的流量和湿度。在本实施例中，湿度计2可通过电池供电，当一段时间不操作时，湿度计2自动处于待机状态，当需要观察湿度时，通过开关按钮真空密封轴102按动湿度计开关按钮201，湿度计2即处于可观察状态，这样湿度计2可长时间工作。
[0021]以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种新型真空用湿气充入装置，包括真空罐体，所述真空罐体的进气口和抽气口分别设置有湿气发生器和抽气机，所述湿气发生器与所述进气口之间的管路设置有充气调节阀，其特征在于:所述充气调节阀连接有调节阀控制器，所述真空罐体还安装有湿度计和观察窗，所述观察窗位于所述真空罐体的顶部，所述湿度计安装在所述真空罐体的内部，所述湿度计的上端部设置有湿度计显示器和湿度计开关按钮，所述湿度计的下端部设置有湿度计测量口，所述湿度计显示器位于所述观察窗的正下方，所述湿度计测量口靠近所述进气口，所述真空罐体的顶部设置有可以按下的开关按钮真空密封轴，所述开关按钮真空密封轴位于所述湿度计开关按钮的正上方。2.根据权利要求1所述的新型真空用湿气充入装置，其特征在于:所述湿度计位于所述湿气发生器和所述抽气机之间。3.根据权利要求1所述的新型真空用湿气充入装置，其特征在于:所述湿度计通过湿度计支架固定安装在所述真空罐体的内部。4.根据权利要求1所述的新型真空用湿气充入装置，其特征在于:所述观察窗为固定卡装在所述真空罐体顶部的透明玻璃材质。5.根据权利要求1所述的新型真空用湿气充入装置，其特征在于:所述开关按钮真空密封轴为L型结构，所述开关按钮真空密封轴的横杆部位于所述湿度计开关按钮的正上方。
【专利摘要】本实用新型公开了一种新型真空用湿气充入装置，包括真空罐体，真空罐体的进气口和抽气口分别设置有湿气发生器和抽气机，湿气发生器与进气口之间的管路设置有充气调节阀，充气调节阀连接有调节阀控制器，真空罐体还安装有湿度计和观察窗，湿度计的上端部设置有湿度计显示器和湿度计开关按钮，湿度计的下端部设置有湿度计测量口，湿度计显示器位于观察窗的正下方，湿度计测量口靠近进气口，真空罐体的顶部设置有可以按下的开关按钮真空密封轴，开关按钮真空密封轴位于湿度计开关按钮的正上方。本实用新型可精确定量的充入镀膜用反应湿气，重复性好，所镀的真空薄膜比较理想。
【IPC分类】C23C16/455
【公开号】CN205088302
【申请号】CN201520908702
【发明人】何吉刚, 马宁, 蒋冰霜, 魏琼林, 蒙志林, 雷梁, 冉从军
【申请人】成都中科唯实仪器有限责任公司
【公开日】2016年3月16日
【申请日】2015年11月13日