用于光学检测镜面基准的装夹板的制作方法
【专利摘要】一种用于光学检测镜面基准的装夹板，包括一圆形本体，在该本体上设有安装槽，供待测零件摆放，在所述的本体中央还设有多个安装孔，该安装孔的位置与大小与三维调整平台台面的安装连接孔的位置与大小相适配。
【专利说明】用于光学检测镜面基准的装夹板
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光学精密器材【技术领域】，具体是一种用于光学检测镜面基准的装夹板。
【背景技术】
[0002]在超精密的抛物面反射镜加工生产中，由于对零件的面形要求很高，往往都要加工到0.5个波长以内。即使是使用最先进的机床也很难一次性完成加工，因此需要根据光学检测结果进行多次的修正加工，才能获得质量合格的光学面。光学检测的数据起到指导的作用，显得尤为重要。
[0003]在对抛物面反射镜进行光学检测时，需使用到干涉仪。并且需要调整抛物面反射镜的空间位置，使抛物面反射镜在加工中的旋转轴平行于干涉仪的光轴，如此才能进行正确的测量。传统的做法是在车削抛物面反射镜的同时在零件光学口径外的非重要的地方上车削出光学基准面，或者是在夹具上做出光学基准面。这两种做法，前一种对零件的外形有特殊要求，通用性不好。而后一种方法，对夹具的设计有一定要求，而且检测时必须连同夹具一起拆下安装在检测平台上，费时费力。然而这一过程需要花去大量的时间。
实用新型内容
[0004]为了克服上述现有技术的不足，本实用新型提供一种用于光学检测镜面基准的装夹板，可以有效的减少检测时间，具有通用性广，适合不同尺寸的抛物面反射镜的特点。
[0005]本实用新型的技术解决方案如下:
[0006]一种用于光学检测镜面基准的装夹板，其特点在于，包括一圆形本体，在该本体上设有安装槽，供待测零件摆放，在所述的本体中央还设有多个安装孔，该安装孔的位置与大小与三维调整平台台面的安装连接孔的位置与大小相适配。
[0007]在所述的本体的周缘均匀设有多个动平衡螺纹孔。
[0008]所述的安装槽由多个同心圆弧和径向辐射形直槽组成。
[0009]所述的本体的上平面和下平面均为光学平面，面型在0.5 μ以内，粗糙度在10纳米以内。
[0010]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是有效减少检测时间，通用性广，适合不同尺寸的抛物面反射镜。
[0011]当在用普通装夹板进行操作时，无法直接将装夹板调整精确到位。安装后只能先粗略的保证不会差太远。然后调整小球位置，当干涉仪上的得到干涉图后，根据条纹特点，操作人员将再次微调装夹板和小球在空间内的互相位置。这一过程要对两个变量操作，且互相有影响，操作时间长，对操作人员的经验要求极高。本实用新型实现装上三维台后直接微调，快速的安装到位，不再调整。当测量抛物面反射镜时，只需要调整小球位置一个变量，即可完成整个测量过程，从而节约大量时间，降低操作人员对主观经验的依赖。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型用于光学检测镜面基准的装夹板的结构示意图。
[0013]图2为图1中A-A剖视图。
[0014]图3为本实用新型的使用状态图。
【具体实施方式】
[0015]下面结合实施例和附图对本实用新型做详细的说明，本实施例在以本实用新型技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。
[0016]请先参阅图1，图1为本实用新型用于光学检测镜面基准的装夹板的结构示意图，如图所示，一种用于光学检测镜面基准的装夹板，包括一圆形本体1，材料为6061-T6铝。在该本体上设有安装槽2，供待测零件摆放，在所述的本体中央还设有多个安装孔3，该安装孔的位置与大小与三维调整平台台面的安装连接孔的位置与大小相适配。安装孔所述的安装槽2由多个同心圆弧和径向辐射形直槽组成。所述的本体I的上平面和下平面均为光学平面，面型在0.5μ以内，粗糙度在10纳米以内。在所述的本体I的周缘均匀设有多个动平衡螺纹孔4，用于车削出更好的光学面。
[0017]图3为本实用新型的使用状态，如图所示，本实用新型的具体操作过程如下:
[0018]将本实用新型通过安装孔3用螺丝固定在三维调整台5上；
[0019]把被测的零件(离轴抛物面镜6)通过安装槽用螺丝固定于本体I。因为检测离轴抛物面镜必须让抛物面镜的中心轴与干涉仪7的光轴平行，可以用干涉仪对准零件的同时，观测本实用新型用于光学检测镜面基准的装夹板所产生的干涉条纹。调节三维台，当干涉仪显示出较粗且明显的干涉条纹时，便能确定本实用新型用于光学检测镜面基准的装夹板垂直于干涉仪光轴，从而也可以确定，被检测的离轴抛物面镜的中心轴也平行于干涉仪光轴。然后不再变动三维台、被测零件和干涉仪的位置，通过调节反射小球的位置来检测离轴抛物面镜。
【权利要求】
1.一种用于光学检测镜面基准的装夹板，其特征在于，包括一圆形本体(I)，在该本体上设有安装槽(2)，供待测零件摆放，在所述的本体中央还设有多个安装孔(3)，该安装孔的位置与大小与三维调整平台台面的安装连接孔的位置与大小相适配。
2.根据权利要求1所述的用于光学检测镜面基准的装夹板，其特征在于，在所述的本体(I)的周缘均匀设有多个动平衡螺纹孔(4)。
3.根据权利要求1或2所述的用于光学检测镜面基准的装夹板，其特征在于，所述的安装槽(2)由多个同心圆弧和径向辐射形直槽组成。
4.根据权利要求1或2所述的用于光学检测镜面基准的装夹板，其特征在于，所述的本体(I)的上平面和下平面均为光学平面，面型在0.5 μ以内，粗糙度在10纳米以内。
【文档编号】G01B11/24GK204177355SQ201420591473
【公开日】2015年2月25日 申请日期:2014年10月14日 优先权日:2014年10月14日
【发明者】赵剑敏, 周豪, 姚庠, 吉玲玲, 施丽敏 申请人:上海现代先进超精密制造中心有限公司