用于光学检测装置的装夹板及其光学检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光学检测仪器，具体涉及加工超精密反射镜面时，对面型和焦点进行检测的装置。
【背景技术】
[0002]在加工超精密的反射镜面时(以离轴抛物面为例)，需要对面型和焦点进行检测。要检测光学面反射焦点的相对与零件的位置时，需要先在干涉仪上找到焦点，然后固定住反射小球与零件的位置，再整体转移到三坐标测量仪上检测位置尺寸。现在通常是制作专用夹具或者修改加工用的夹具，夹具的需要切出光学基准面，用以调整和干涉仪间的光轴角度，以满足测量要求。这两种方法存在一定的缺点。每次对应不同的零件制作专用的带光学面的检测夹具的会提高生产成本和检测周期。修改加工夹具或者其他夹具，会影夹具本身的结构，且不是所有原有的夹具都适合改造。对于夹具进行光学面的加工会因为光学面积越大而成本越贵，因此需要有一种简单且通用性广的结构来确保检测。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种能够适用不同被测零件，减少测量成本周期的装夹装置和测试装置。
[0004]为达到上述目的，提供一种用于光学检测装置的装夹板，装夹板上具有三维调整台连接孔和反射小球连接孔，所述的装夹板包括底板和光轴校准连接板；所述光轴校准连接板的正面为光学平面，光轴校准连接板的底面与底板连接；所述的三维调整台连接孔和反射小球连接孔设置在所述的底板上；所述的光轴校准连接板上有被测零件连接孔。
[0005]优选的，所述的光轴校准连接板和底板上有位置相对应的销孔和位置相对应的螺纹孔。
[0006]优选的，所述底板上有连接板固定区域用于固定光轴校准连接板，所述的螺纹孔位于连接板固定区域的四角，所述的销孔位于相邻螺纹孔的中点位置；所述的光轴校准连接板上有四个螺纹孔，间距与底板上螺纹孔间距相同，销孔位于相邻螺纹孔的中点位置。
[0007]优选的，所述的光轴校准连接板上的被测零件连接孔分为被测零件连接螺纹孔和被测零件定位销孔，所述被测零件定位销孔位于中心位置，所述被测零件定位销孔两侧分布被测零件连接螺纹孔。
[0008]一种光学检测装置，包括三维调整台、反射小球和干涉仪，还包括上述任一的装夹板，所述的三维调整台和底板一面连接，底板另一面安装反射小球；所述的光轴校准连接板的光学平面对准干涉仪。
[0009]本实用新型的装夹板改变原来夹具的一体化设计，通过底板和光轴校准连接板两块板的结合共同组成装夹装置，底板用于固定三维调整台和反射小球，而光轴校准连接板用于固定被测零件，通过加工光轴校准连接板的光学平面达到测试的要求，因此对于不同的背侧零件，仅需要加工光轴校准连接板即可，不需要加工整个装夹装置，减少了工艺，同时也降低成本。
[0010]本实用新型的有益效果是以比较低的制造成本和制造周期来制造出检测光学面的装夹板，来对有焦点的光学面进行焦点位置和面型的测量。每次加工用于光学校准的面的面积大大小于以往，因此节约了时间和成本。且通用性广，调整的范围大。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型光学检测装置的俯视图；
[0012]图2为本实用新型光学检测装置的主视图；
[0013]图3为本实用新型中底板的示意图；
[0014]图4为本实用新型中光轴校准连接板的示意图；
[0015]其中:
[0016]1-三维调整台2-底板21-三维调整台连接孔
[0017]22-反射小球连接孔 23-底板螺纹孔24-底板销孔
[0018]3-光轴校准连接板 31-连接板销孔32-连接板螺纹孔
[0019]33-被测零件销孔34-被测零件螺纹孔 4-被测零件
[0020]5-反射小球6-干涉仪
【具体实施方式】
[0021]以下结合附图和具体实施例，对本实用新型做进一步说明。
[0022]根据图1至图4所示的一种光学检测装置，包括三维调整台1、反射小球5、干涉仪6和装夹板，其中三维调整台1和反射小球5是标准件。装夹板包括底板2和光轴连接板3，均为6061铝制，底板2上有正方形的连接板固定区域，与之相对的另一区域主要用于和三维调整台1和反射小球5连接，底板2上有两行三维调整台连接孔21用于将底板2连接在三维调整台1上，在调整台连接孔21的中部有反射小球连接孔22，用于固定连接反射小球5，底板上有连接板固定区域用于固定光轴校准连接板，所述的底板螺纹孔23位于连接板固定区域的四角，所述的底板销孔24位于相邻底板螺纹孔23的中点位置；所述的光轴校准连接板3上有四个连接板螺纹孔32，间距与底板螺纹孔23间距相同，连接板销孔24位于相邻连接板螺纹孔23的中点位置。所述的光轴校准连接板3上的被测零件连接孔分为被测零件螺纹孔34和被测零件销孔33，所述被测零件销孔33位于中心位置，所述被测零件销孔33两侧分布被测零件螺纹孔34。所述螺纹孔用于固定连接，销孔用于定位。在安装时，将光轴校准连接板3通过销孔定位后通过螺纹孔连接在底板2上，光轴校准连接板3的光学平面朝外安装。底板2的背面安装在三维调整台1上，正面安装反射小球5。光轴校准连接板3上连接被测零件4，所述的干涉仪6对准光轴校准连接板3。
[0023]以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述的实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型创造精神的前提下还可以作出种种的等同的变型或替换，这些等同变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
【主权项】
1.一种用于光学检测装置的装夹板，其特征在于，装夹板上具有三维调整台连接孔和反射小球连接孔，所述的装夹板包括底板和光轴校准连接板；所述光轴校准连接板的正面为光学平面，光轴校准连接板的底面与底板连接；所述的三维调整台连接孔和反射小球连接孔设置在所述的底板上；所述的光轴校准连接板上有被测零件连接孔。2.根据权利要求1所述的用于光学检测装置的装夹板，其特征在于，所述的光轴校准连接板和底板上有位置相对应的销孔和位置相对应的螺纹孔。3.根据权利要求2所述的用于光学检测装置的装夹板，其特征在于，所述底板上有连接板固定区域用于固定光轴校准连接板，所述的螺纹孔位于连接板固定区域的四角，所述的销孔位于相邻螺纹孔的中点位置；所述的光轴校准连接板上有四个螺纹孔，间距与底板上螺纹孔间距相同，销孔位于相邻螺纹孔的中点位置。4.根据权利要求1至3任一所述的用于光学检测装置的装夹板，其特征在于，所述的光轴校准连接板上的被测零件连接孔分为被测零件连接螺纹孔和被测零件定位销孔，所述被测零件定位销孔位于中心位置，所述被测零件定位销孔两侧分布被测零件连接螺纹孔。5.一种光学检测装置，包括三维调整台、反射小球和干涉仪，其特征在于，还包括如权利要求1至4任一所述的装夹板，所述的三维调整台和底板一面连接，底板另一面安装反射小球；所述的光轴校准连接板的光学平面对准干涉仪。
【专利摘要】本实用新型涉及用于光学检测装置的装夹板及其光学检测装置，装夹板上具有三维调整台连接孔和反射小球连接孔，其特征在于，所述的装夹板包括底板和光轴校准连接板；所述光轴校准连接板的正面为光学平面，光轴校准连接板的底面与底板连接；所述的三维调整台连接孔和反射小球连接孔设置在所述的底板上；所述的光轴校准连接板上有被测零件连接孔。本实用新型的有益效果是以比较低的制造成本和制造周期来制造出检测光学面的装夹板，来对有焦点的光学面进行焦点位置和面型的测量。每次加工用于光学校准的面的面积大大小于以往，因此节约了时间和成本。且通用性广，调整的范围大。
【IPC分类】G01B11/24, G01B11/00
【公开号】CN205079745
【申请号】CN201520727033
【发明人】赵剑敏
【申请人】上海现代先进超精密制造中心有限公司
【公开日】2016年3月9日
【申请日】2015年9月18日