1.一种压力测量装置(1),其具有布置在壳体(3)中的陶瓷压力测量单元(5)和沿轴向方向(A)布置并用于处理的陶瓷处理接口(7),
其特征在于,所述压力测量单元(5)与所述处理接口(7)之间具有以材料结合的方式形成的连接部(6)。
2.根据权利要求1的压力测量装置(1),其特征在于,所述压力测量装置(1)具有支承结构(9),所述支承结构被构造成至少吸收沿所述轴向方向(A)作用在所述压力测量单元(5)与所述处理接口(7)之间的所述连接部(6)上的力。
3.根据权利要求1或2所述的压力测量装置(1),其特征在于,所述连接部(6)由玻璃焊料制成。
4.根据权利要求1或2所述的压力测量装置(1),其特征在于,所述连接部(6)通过玻璃粉制成。
5.根据前述权利要求中任一项所述的压力测量装置(1),其特征在于,所述处理接口(7)布置在所述压力测量单元(5)的测量薄膜的前侧上。
6.根据前述权利要求中任一项所述的压力测量装置(1),其特征在于,所述处理接口(7)在其位于所述压力测量单元一侧的端部上沿径向方向(R)具有环形凸缘(11)。
7.根据前述权利要求中任一项所述的压力测量装置(1),其特征在于,所述支承结构具有固定环(13),所述固定环搭接所述处理接口(7),并与所述壳体(3)刚性连接。
8.根据权利要求7所述的压力测量装置(1),其特征在于,所述固定环(13)被构造成锁紧螺母,所述锁紧螺母与所述壳体(3)螺纹连接。
9.根据权利要求8所述的压力测量装置(1),其特征在于,所述锁紧螺母具有外螺纹(15),所述外螺纹啮合在所述壳体(3)的相应地构造的内螺纹(16)中。
10.根据权利要求7至9中任一项所述的压力测量装置(1),其特征在于,在所述固定环(13)与所述处理接口(7)之间布置有补偿件(18)。
11.根据前述权利要求中任一项所述的压力测量装置(1),其特征在于,所述处理接口(7)被所述壳体(3)撑紧。
12.根据权利要求10所述的压力测量装置(1),其特征在于,所述补偿件(18)在尺寸上被适当地设定,且所述补偿件的热膨胀系数与所述支承结构(9)和/或所述壳体(3)和所述压力测量单元(5)的热膨胀系数匹配,从而至少补偿沿所述轴向方向(A)的不同的热致膨胀。
13.根据前述权利要求中任一项所述的压力测量装置(1),其特征在于,在所述壳体(3)中布置有优选金属的容纳环(20),所述容纳环在后侧方向上支承所述压力测量单元(5)。
14.根据前述权利要求中任一项所述的压力测量装置(1),其特征在于,所述压力测量单元(5)与所述处理单元(7)之间的所述连接部(6)沿径向方向(R)具有第一延展(a1),所述第一延展小于或等于所述压力测量单元(5)的基体与所述测量薄膜之间的第二连接部(6a)的第二延展(a2)。
15.根据前述权利要求中任一项所述的压力测量装置(1),其特征在于,所述处理接口(7)通过陶瓷喷射模塑法制成。
16.一种用于制造根据前述权利要求中任一项所述的压力测量装置(1)的方法,其包括以下步骤:
-提供陶瓷压力测量单元(5),
-提供被构造成管形的陶瓷处理接口(7),
-以材料结合的方式连接所述压力测量单元(5)和所述处理接口(7),
-将所述压力测量单元(5)布置在壳体(3)中。
17.根据权利要求16的方法,其特征在于,安装支承结构(9),使得通过所述支承结构(9)至少吸收在所述压力测量单元(5)与所述处理接口(7)之间沿轴向方向(A)作用的力。