一种SF6气体传感器的制作方法

文档序号:12713372阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供了一种SF6气体传感器,传感器包括直流电源和电极,电极由对应设置的平板电极和硅尖阵列电极组成,其间设有绝缘膜。该气体传感器,采用负电晕放电原理和针-板放电结构,采用硅尖阵列电极替代传统的单放电针电极,降低单个电极的电晕放电电流,增大了放电区域,提高检测的线性范围和灵敏度,减小每个尖端电极的放电电流,延缓电极老化过程,延长传感器寿命。

技术研发人员:李璐;陈硕;高晓光;何秀丽;贾建;单来之;高慧;高运兴
受保护的技术使用者:国网智能电网研究院;国家电网公司;国网山东省电力公司泰安供电公司
文档号码:201510926299
技术研发日:2015.12.14
技术公布日:2017.06.20

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