技术总结
本发明公开了一种气密检测装置及其伺服控制方法，其中，气密检测装置包括第一气源、第一压力传感器和第一比例伺服阀，第一气源与第一待检测物体的容腔通过第一比例伺服阀相连；第一压力传感器与第一待检测物体的容腔相连，用于检测该第一待检测物体的容腔内的压力从而判断该第一待检测物体的容腔的气密性；第一压力传感器还与第一比例伺服阀相连，用于调整该第一比例伺服阀的状态。本发明通过对控制回路设计、伺服控制过程等进行改进，能够有效解决直接压力测试法准确度低、差压测试法操作不便的问题，并且该装置及对应的伺服控制方法是通过闭环控制系统控制电‑气比例/伺服阀的开度来控制回路中气体的流量，能够对系统的气密性进行有效检测。
技术研发人员：杨钢;杜经民;李宝仁;傅晓云;高隆隆;高磊;陈云;刘柏林
受保护的技术使用者：华中科技大学
文档号码：201610580288
技术研发日：2016.07.22
技术公布日：2016.12.07