技术总结
本发明公开了一种单列双排式时栅直线位移传感器，包括定尺和动尺，定尺包括定尺基体和激励线圈，激励线圈沿测量方向呈矩形波绕制，动尺包括动尺基体和第一、第二感应线圈，第一、第二感应线圈采用半正弦绕线方式绕制，第一、第二感应线圈与激励线圈正对平行；激励线圈中通入正弦激励电流，动尺相对定尺运动，第二感应线圈输出的感应信号移相90°后与第一感应线圈输出的感应信号叠加形成行波信号，再与同频率参考信号进行比相，相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示，经换算后得到直线位移。该传感器结构简单，能实现高分辨力的直线位移测量，易批量制造。
技术研发人员：杨继森;张天恒;李明;高义;李路健;邵争光
受保护的技术使用者：重庆理工大学
文档号码：201610815628
技术研发日：2016.09.09
技术公布日：2017.02.22