探针位置自动调节装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体检测技术领域，尤其涉及一种探针位置自动调节装置。
【背景技术】
[0002]在显示设备制造行业中，制作显示设备中最重要的就是确定基板是否正常，其中，基板点亮测试是生产显示设备过程中确定基板是否正常的关键工艺，目的在于通过检测装置来确定基板是否能正常亮起。
[0003]基板点亮测试的过程为，使用检测装置中的测试笔或探针等结构与基板上的测试点进行接触，通电后，如果基板可以点亮，则判定基板为正常基板，如果基板不可以点亮，则判定基板为异常基板，需要使用其他方式进行处理。
[0004]发明人在操作过程中发现如下问题，由于放置基板的过程为人工操作，人工操作容易造成基板放置的位置出现偏差或不平整，从而使得检测装置中的探针与基板不平行而无法点亮基板，容易造成误判，良品率较低。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型提供一种探针位置自动调节装置，以克服当基板放置的位置出现偏差或不平整时，使得探针位置自动调节装置中的探针与基板不平行而无法点亮基板，容易造成误判，影响良品率的问题。
[0006]本实用新型提供一种探针位置自动调节装置，包括:板框、基板位移反馈机构以及探针调节机构；
[0007]所述板框包括竖直侧面以及底面，所述底面与所述竖直侧面的底部连接，且所述竖直侧面与所述底面相互垂直，
[0008]所述基板位移机构包括平衡杆、转动杆、滑头以及两组调节组件，所述转动杆与所述平衡杆垂直固定连接，且所述转动杆与所述平衡杆的连接处与所述竖直侧面铰接，所述滑头固定在所述转动杆远离所述平衡杆的一端，两组所述调节组件对称设置在所述转动杆的两侧，所述调节组件包括顶紧件、弹性施力件以及传动件，所述顶紧件位于所述传动件朝向基板的一侧，所述传动件与所述平衡杆固定连接，所述弹性施力件固定在所述竖直侧面上，且与所述传动件相连，并向所述传动件施加朝向基板侧边的作用力，使所述顶紧件能够始终顶紧基板侧边，
[0009]所述探针调节机构包括探针组件以及调节件，所述探针组件与所述调节件固定连接，所述调节件上设置有与所述平衡杆的延伸方向平行的滑槽，所述滑头置于所述滑槽内，且能够沿所述滑槽滑动，所述调节件的底部设有底部弧形面，所述调节件放置在所述底面上，且通过所述底部弧形面与所述底面接触，所述底部弧形面的延伸方向与所述转动杆的转动方向位于相互平行的平面内。
[0010]进一步地，上述探针位置自动调节装置中，所述传动件包括受力连杆以及传动连杆，所述顶紧件设置在所述受力连杆朝向基板侧边的一侧，所述弹性施力件与所述受力连杆背离基板侧边的一侧相连，所述传动连杆分别与所述受力连杆以及所述平衡杆相连。
[0011]进一步地，上述探针位置自动调节装置中，所述传动连杆为两根，两根所述传动连杆对称设置在所述弹性施力件的两侧。
[0012]进一步地，上述探针位置自动调节装置中，两根所述传动连杆与所述平衡杆的连接端之间的间距小于二者与所述受力连杆的连接端之间的间距。
[0013]进一步地，上述探针位置自动调节装置中，所述弹性施力件包括气缸以及弹簧，所述气缸固定设置在所述竖直侧面上，所述弹簧的一端与所述气缸的活塞杆连接，另一端与所述受力连杆相连。
[0014]进一步地，上述探针位置自动调节装置中，所述顶紧件朝向基板侧边的一侧为圆弧面，且所述圆弧面的延伸方向与所述转动杆的转动方向位于相互平行的平面内。
[0015]进一步地，上述探针位置自动调节装置中，所述顶紧件为圆形。
[0016]进一步地，上述探针位置自动调节装置中，所述板框还包括顶面，所述顶面与所述竖直侧面的顶部连接，且与所述底面相对设置，
[0017]所述调节件的顶部设置有顶部弧形面，所述顶面与所述顶部弧形面相接触。
[0018]进一步地，上述探针位置自动调节装置中，所述滑头为培林，所述培林的轴向与所述转动杆的转动轴平行。
[0019]进一步地，上述探针位置自动调节装置中，所述培林与所述转动杆通过螺丝固定。
[0020]本实用新型探针位置自动调节装置，包括板框、基板位移反馈机构以及探针调节机构，其中基板位移机构包括平衡杆、转动杆、滑头以及两组调节组件，探针调节机构包括探针组件以及调节件，调节组件包括顶紧件、弹性施力件以及传动件，通过顶紧件顶紧待点亮的基板，当待点亮的基板位置与标准位置发生偏差，顶紧件可带动平衡杆以及转动杆转动，从而带动调节件转动，使得探针组件可以与基板达到相对平行的状态，解决了人工操作容易造成基板放置的位置出现偏差或不平整，从而使得探针位置自动调节装置中的探针与基板不平行而无法点亮基板，容易造成误判，良品率较低的问题，实现了提高良品率的效果O
【附图说明】
[0021]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本实用新型探针位置自动调节装置实施例的板框与基板位移反馈机构的配合结构示意图；
[0023]图2为本实用新型探针位置自动调节装置实施例的主视结构示意图；
[0024]图3为本实用新型探针位置自动调节装置实施例的侧视结构示意图。
[0025]附图标记:
[0026]11—板框
[0027]111一竖直侧面
[0028]112—底面
[0029]12—基板位移反馈机构
[0030]121—平衡杆
[0031]122—转动杆
[0032]123—滑头
[0033]丨24—调节组件
[0034]1241—顶紧件
[0035]1242—弹性施力件
[0036]1243—传动件
[0037]13一探针调节机构
[0038]131—探针组件
[0039]132—调节件
【具体实施方式】
[0040]为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0041]图1为本实用新型探针位置自动调节装置实施例的板框与基板位移反馈机构的配合结构示意图，图2为本实用新型探针位置自动调节装置实施例的主视结构示意图，图3为本实用新型探针位置自动调节装置实施例的侧视结构示意图，如图1-图3所示，本实施例的探针位置自动调节装置，包括板框11、基板位移反馈机构12以及探针调节机构13。
[0042]其中，板框11包括竖直侧面111以及底面112，且底面112与竖直侧面111的底部连接、竖直侧面111与底面112相互垂直。例如，当需要对制作显示器时使用的基板进行点亮操作，用点亮的结果来判断制作完成的基板是否为合格产品时，板框11用来放置基板，且基板需要与板框11的竖直侧面111保持平行状态。
[0043]基板位移反馈机构12可以包括平衡杆121、转动杆122、滑头123以及两组调节组件124，其中，转动杆122需要与平衡杆121垂直固定连接，以利于转动杆122在转动过程中可以形成一个以平衡杆121为半径的圆弧，从而保证了转动的精准度。转动杆122与平衡杆121的连接处需要与板框11的竖直侧面111铰接，从而保证了转动杆122与平衡杆121不会因转动而发生位移。
[0044]滑头123固定在转动杆122远离平衡杆121的一端，在实际应用过程中，滑头123可以采用培林，且培林的轴向与转动杆122的转动轴平行，培林与转动杆122之间的固定方式可以使用螺丝进行固定。采用培林作为滑头123，可以实现有良好的润滑效果，使用螺丝进行固定，实现了培林与转动杆122不会脱落，且牢固程度更高的效果。
[0045]为了保证平衡杆121的平衡，采用两组调节组件124，且需要对称设置于转动杆122的两侧，从而实现了保持平衡杆121的平衡度的效果。而且调节组件124包括顶紧件1241、弹性施力件1242以及传动件1243，其中，传动件1243与平衡杆121固定连接，顶紧件1241位于传动件1243朝向基板的一侧，使得调节组件124可以保持一个稳定的形状。
[0046]顶紧件1241用于顶住待进行点亮的基板，如果待进行点亮的基板在放置的过程中出现了位移，为了使得顶紧件1241可以顶紧在基板的侧边上，就需要给顶紧件1241提供一个动力，因为基板的位置是不固定的，因此提供动力的装置也是需要具有弹性的，以使得顶紧件1241可以跟随着基板的运动而运动，为了实现此目的，通过使用固定在板框11中的竖直侧面111上的弹性施力件1242来实现，且弹性施力件1242与传动件1243相连，并能够向传动件1243施加朝向基板侧边的作用力，使得顶紧件1241能够始终顶紧基板侧边，实现了通过顶紧件1241来定位与推动基板的效果。
[0047]其中，传动件1243可以采用两部分组成，分别为受力连杆以及传动连杆，传动连杆为两根，且两根传动连杆对称设置在弹性施力件1242的两侧，优选采用两根传动连杆与平衡杆121的连接端的之间的小于二者与受力连杆的连接端之间的间距，使得受力连杆以及传动连杆可以形成类似三角形的形状，以增加稳定性。顶紧件1241设置在受力连杆朝向基板侧边的一侧，弹性施力件1242与受力连杆背离基板侧边的一侧相连，传动连杆分别与受力连杆以及平衡杆121相连，当顶紧件1241发生了位移，其带动受力连杆发生位移，受力连杆带动传动连杆发生位移，从而带动平衡杆121转动一定的角度。实现了将顶紧件1241产生的作用力传递至平衡杆121，从而使得平衡杆121可以发生转动的效果。
[0048]在实际应用过程中，顶紧件1241可以采用聚醚醚酮材料制成圆形或球形，并可以保证顶紧件1241朝向基板侧边的一侧为圆弧面，且圆弧面的延伸方向与转动杆122的转动方向位于相互平行的平面内，制成圆形的的形状，因其与基板接触的圆弧面是圆滑的，有利于保护基板，实现了提高安全性的效果。
[0049]弹性施力件1242包括气缸以及弹簧，其中，气缸固定设置在竖直侧面111上，弹簧的一端与气缸的活塞杆连接，另一端与受力连杆相连。使用弹簧可以实现减缓气缸活塞在伸出气缸的过程中产生的冲力，使得基板不易因为冲力过大而产生损坏的效果。并且，弹簧的形变量还可以反馈基板的垂直度。
[0050]气缸可以采用普通的小型气缸。通过采用气缸作为弹性施力件1242的一部分，不但可以实现保持平衡的效果，还可以实现持续提供动力的效果。
[0051]在点亮操作的过程中，最重要的就是探针调节机构13需要与待点亮的基板位置相对平行，探针调节机构13包括探针组件131以及调节件132，其中，探针组件131与调节件132需要固定连接，可以采用使用黏性材料粘接，也可以使用螺钉螺纹连接，还可以焊接等等，并且调节件132上设置有与平衡杆121的延伸方向平行的滑槽，滑头123置于滑槽内，且能够沿滑槽滑动。当待点亮的基板在放置后与标准位置产生了一定的偏差，顶紧件1241带动传动件1243运动，从而带动平衡杆121转动，平衡杆121在转动过程中带动位于转动杆122—端的滑头123在滑槽内滑动。
[0052]在实际应用中，探针组件131中包括探针，探针的数量需要与待点亮的基板的探针检测点的数量相匹配，例如，待点亮的基板有255个探针检测点，则需要设置255根探针，每根探针的直径为0.8mm，下压行程为0.5mm。
[0053]为了保证探针可以与基板保持一个相对平行的状态，将调节件132的底部设为底部弧形面，且将调节件132放置在板框11的地面上，通过底部弧形面与底面112接触，从而可以产生有摩擦力，并且在摩擦力的作用下调节件132可以发生转动，并且还需要保证底部弧形面的延伸方向与转动杆122的转动方向位于相互平行的平面内。以使得探针调节机构13可以很精准的发生位移，其实现了探针机构可以与基板保持一个相对平行状态的效果。
[0054]为了可以更进一步的保证探针与基板可以保持一个相对平行的状态，将调节件132的顶部也设置有顶部弧形面。单独设置有顶部弧形面还不能够起到相应的作用，因此还可以在上述板框11结构中增加顶面，并且保证顶面与竖直侧面111的顶部连接，与底面112相对设置。因此，顶部弧形面就可以与顶面相接触，产生一个摩擦力，实现了增加调节件132的转动过程中稳定性、不易产生晃动的效果。
[0055]本实施例的探针位置自动调节装置，包括板框11、基板位移反馈机构12以及探针调节机构13，其中基板位移反馈机构12包括平衡杆121、转动杆122、滑头123以及两组调节组件124，探针调节机构13包括探针组件131以及调节件132，调节组件124包括顶紧件1241、弹性施力件1242以及传动件1243，通过顶紧件1241顶紧待点亮的基板，当待点亮的基板位置与标准位置发生偏差，顶紧件1241可带动平衡杆121以及转动杆122转动，从而带动调节件132转动，使得探针组件131可以与基板达到相对平行的状态，解决了人工操作容易造成基板放置的位置出现偏差或不平整，从而使得探针位置自动调节装置中的探针与基板不平行而无法点亮基板，容易造成误判，工作效率低的问题，实现了提高良品率的效果。
[0056]最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
【主权项】
1.一种探针位置自动调节装置，其特征在于，包括:板框、基板位移反馈机构以及探针调节机构； 所述板框包括竖直侧面以及底面，所述底面与所述竖直侧面的底部连接，且所述竖直侧面与所述底面相互垂直， 所述基板位移机构包括平衡杆、转动杆、滑头以及两组调节组件，所述转动杆与所述平衡杆垂直固定连接，且所述转动杆与所述平衡杆的连接处与所述竖直侧面铰接，所述滑头固定在所述转动杆远离所述平衡杆的一端，两组所述调节组件对称设置在所述转动杆的两侧，所述调节组件包括顶紧件、弹性施力件以及传动件，所述顶紧件位于所述传动件朝向基板的一侧，所述传动件与所述平衡杆固定连接，所述弹性施力件固定在所述竖直侧面上，且与所述传动件相连，并向所述传动件施加朝向基板侧边的作用力，使所述顶紧件能够始终顶紧基板侧边， 所述探针调节机构包括探针组件以及调节件，所述探针组件与所述调节件固定连接，所述调节件上设置有与所述平衡杆的延伸方向平行的滑槽，所述滑头置于所述滑槽内，且能够沿所述滑槽滑动，所述调节件的底部设有底部弧形面，所述调节件放置在所述底面上，且通过所述底部弧形面与所述底面接触，所述底部弧形面的延伸方向与所述转动杆的转动方向位于相互平行的平面内。2.根据权利要求1所述的探针位置自动调节装置，其特征在于，所述传动件包括受力连杆以及传动连杆，所述顶紧件设置在所述受力连杆朝向基板侧边的一侧，所述弹性施力件与所述受力连杆背离基板侧边的一侧相连，所述传动连杆分别与所述受力连杆以及所述平衡杆相连。3.根据权利要求2所述的探针位置自动调节装置，其特征在于，所述传动连杆为两根，两根所述传动连杆对称设置在所述弹性施力件的两侧。4.根据权利要求3所述的探针位置自动调节装置，其特征在于，两根所述传动连杆与所述平衡杆的连接端之间的间距小于二者与所述受力连杆的连接端之间的间距。5.根据权利要求2所述的探针位置自动调节装置，其特征在于，所述弹性施力件包括气缸以及弹簧，所述气缸固定设置在所述竖直侧面上，所述弹簧的一端与所述气缸的活塞杆连接，另一端与所述受力连杆相连。6.根据权利要求1所述的探针位置自动调节装置，其特征在于，所述顶紧件朝向基板侧边的一侧为圆弧面，且所述圆弧面的延伸方向与所述转动杆的转动方向位于相互平行的平面内。7.根据权利要求6所述的探针位置自动调节装置，其特征在于，所述顶紧件为圆形。8.根据权利要求1所述的探针位置自动调节装置，其特征在于，所述板框还包括顶面，所述顶面与所述竖直侧面的顶部连接，且与所述底面相对设置， 所述调节件的顶部设置有顶部弧形面，所述顶面与所述顶部弧形面相接触。9.根据权利要求1所述的探针位置自动调节装置，其特征在于，所述滑头为培林，所述培林的轴向与所述转动杆的转动轴平行。10.根据权利要求9所述的探针位置自动调节装置，其特征在于，所述培林与所述转动杆通过螺丝固定。
【专利摘要】本实用新型提供一种探针位置自动调节装置。本实用新型包括：板框、基板位移反馈机构以及探针调节机构；板框包括竖直侧面以及底面，基板位移机构包括平衡杆、转动杆、滑头以及两组调节组件，转动杆与平衡杆垂直固定连接，且转动杆与平衡杆的连接处与竖直侧面铰接，滑头固定在转动杆远离平衡杆的一端，调节组件包括顶紧件、弹性施力件以及传动件，顶紧件位于传动件朝向基板的一侧，传动件与平衡杆固定连接，弹性施力件固定在竖直侧面上，探针调节机构包括探针组件以及调节件，探针组件与调节件固定连接，调节件上设置有与平衡杆的延伸方向平行的滑槽。本实用新型实现了提高良品率的效果。
【IPC分类】G01R31/26
【公开号】CN205384350
【申请号】CN201620065919
【发明人】姜虎, 饶振华
【申请人】昆山国显光电有限公司
【公开日】2016年7月13日
【申请日】2016年1月22日