电机轴向缓冲性能的检测装置的制作方法

本实用新型属于电机检测设备领域，具体涉及一种电机轴向缓冲性能的检测装置。

背景技术：

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率大、极限压力低的真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

半导体制造领域的晶圆制造设备附属有与之匹配的低温泵，图1所示为这种低温泵同步的电机1，电机1内部结构如图2所示，包括转子11和定子12，转子11穿设在定子12中，定子12两端由前端盖13和后端盖14盖住，前端盖13和后端盖14内侧的中间位置设有凹槽并分别放置有转子前轴承15和转子后轴承16，转子11具有中心转轴，中心转轴前端由转子前轴承15支撑并穿过前端盖13，转子11的中心转轴后端由转子后轴承16支撑。转子前轴承15与前端盖13以及转子后轴承16与后端盖14小间隙配合，而且转子后轴承16的后端与后端盖14之间放置有波形弹垫17。转子11与定子12之间存在轴向推力时转子11相对于定子12在轴向具有适当的位移量，提供轴向的缓冲作用，避免工作时电机震动。合格的产品具有一定轴向缓冲性能，通常要求转子11相对于定子12在轴向有1～2mm的位移量，为使电机运转平稳，波形弹垫17应提供与位移量对应的适当的轴向弹力(即轴向推力)，避免转子前轴承15与前端盖13之间出现轴向间隙，从而避免转子前轴承15与前端盖13摩擦损耗，保证电机的寿命。因此，在电机的生产或组装时，需要检测转子11与定子12轴向推力及位移量对应值的检测装置。但是现有技术没有针对低温泵同步电机的检测装置，因此需要设计制作出制造成本低、操作简单方便、计量准确的检测装置来检测低温泵同步电机的轴向缓冲性能，以适用于低温泵同步电机批量化生产和装配。

技术实现要素：

因此，本实用新型针对现有技术中未有用于检测低温泵电机轴向缓冲性能的检测装置的技术问题，目的在于提供一种结构简单、使用方便且计量准确的电机轴向缓冲性能的检测装置，该检测装置可用于检测低温泵电机的轴向缓冲性能。

本实用新型的电机轴向缓冲性能的检测装置包括：

一底座；

一用于放置待检测电机的可升降的升降台，所述升降台安装在所述底座上；

一用于测量所述升降台竖直方向的位移量的位移测量机构，所述位移测量机构安装于所述底座上；

一用于测量所述待检测电机的转子与定子之间的轴向推力的推力测量机构，所述推力测量机构包括一供感应推力的压头，所述压头竖直向下且位于所述待检测电机放置位置中心的正上方。

本实用新型的一较佳实施例中，所述升降台底部由至少一升降杆支撑，所述底座一侧设有一与所述升降杆匹对连接的升降手柄。

本实用新型的一较佳实施例中，所述位移测量机构为一电子尺，所述电子尺包括一竖直的电子尺主体和一感应滑块，所述电子尺主体底端固定于所述底座一侧，所述感应滑块固定于所述升降台一角且与所述电子尺主体滑动连接。

本实用新型的一些较佳实施例中，所述推力测量机构包括一推拉力计和一支撑杆，所述支撑杆底部固定在所述底座上，所述支撑杆上部竖直穿过所述升降台，所述推拉力计通过一可调整高度的固定夹固定在所述支撑杆上，所述压头位于所述推拉力计底部。

本实用新型的积极进步效果在于：通过所述位移检测机构和所述推力检测机构相互结合检测出电机转子与定子之间的轴向推力以及相对位移量的对应值，所述电机轴向缓冲性能的检测装置可以用于低温泵电机的轴向缓冲性能的检测；而且制造成本低，操作简单方便，计量准确，可有效提高生产效率，降低生产成本。该检测装置不仅适合于低温泵的电机批量生产中检测使用，也可以用于其它结构类似的电机的轴向缓冲性能的检测。

附图说明

图1为低温泵同步电机的立体示意图。

图2为低温泵同步电机的剖视图。

图3为本实用新型的电机轴向缓冲性能的检测装置的立体示意图。

具体实施方式

以下将结合具体实施例和附图对本实用新型作进一步说明。

图3所示为本实用新型的一较佳实施例的电机轴向缓冲性能的检测装置，其中底座2起到支撑固定的作用；底座2中间设有升降杆3，升降杆顶部固定支撑有升降台4、升降杆3底端设于底座2内，底座2一侧设有与升降杆3底端匹对连接的升降手柄5，底座2上还设有竖直的支撑杆6，支撑杆6底部固定在底座2上，上部穿过升降台4且通过可调整高低的固定夹7固定有推拉力计8，推拉力计8的压头竖直向下且位于升降台4中心正上方。底座2一侧设有电子尺，电子尺包括竖直的电子尺主体9和感应滑块10，电子尺主体9底端固定于底座2一侧，感应滑块10固定于升降台4一角且与电子尺主体9滑动连接。

工作原理：

如图3所示，将待检测电机1放于升降台4中间位置，使转子11的中心转轴前端朝上并与推拉力计8的压头上下对应，通过固定夹7调节推拉力计8高度，使推拉力计8的压头接触到转子11中心转轴前端，然后分别将推拉力计8和电子尺归零。通过升降手柄5慢慢向上调节升降台4，观察推拉力计8和电子尺分别显示的弹力值和位移值，并记录，其中推拉力计8显示的弹力值即为转子11和定子12之间的轴向推力，电子尺显示的位移值即为转子11相对定子12的轴向位移量。将记录结果与标准要求进行对比，对产品的轴向缓冲性能做出判断。

本实施例的电机轴向缓冲性能的检测装置结构简单制造成本低，检测电机1的轴向缓冲性能时操作简单方便，计量准确，可有效提高生产效率，降低生产成本，适合低温泵电机批量化生产装配使用。