激光剥蚀样品室的制作方法

文档序号:12767601阅读:来源:国知局

技术特征:

1.激光剥蚀样品室,其特征在于:

所述激光剥蚀样品室包括内腔室、外腔室和送样装置;

所述内腔室具备第一进气口和第一出气口,所述内腔室上开设有进样口和出样口;所述送样装置包括通过所述进样口和所述出样口可滑动地贯穿所述内腔室的样品托条,以及与所述样品托条连接并用于带动所述样品托条在所述进样口和所述出样口所处直线上滑动的驱动装置;

所述内腔室和所述送样装置均设置在所述外腔室内,所述外腔室具备第二进气口和第二出气口。

2.根据权利要求1所述的激光剥蚀样品室,其特征在于:

所述内腔室的壁包括圆筒形的中间段,从所述中间段的一端延伸出的具有抛物线轮廓的圆弧形的第一过渡段,从所述中间段的另一端延伸出的具有抛物线轮廓的圆弧形的第二过渡段;所述中间段、第一过渡段和第二过渡段同轴;

所述第一进气口开设于所述第一过渡段,所述第一出气口开设于所述第二过渡段;

所述中间段、所述第一过渡段、所述第二过渡段、所述第一出气口和所述第一进气口同轴。

3.根据权利要求2所述的激光剥蚀样品室,其特征在于:

所述进样口和所述出样口开设于所述第二过渡段;所述进样口和所述出样口相对于所述第二过渡段的中轴线所在的一个平面对称。

4.根据权利要求2所述的激光剥蚀样品室,其特征在于:

所述第一过渡段和所述第二过渡段形状相同。

5.根据权利要求1所述的激光剥蚀样品室,其特征在于:

所述内腔室上开设有正对所述样品托条的第一激光窗,所述第一激光窗被第一玻璃密封。

6.根据权利要求5所述的激光剥蚀样品室,其特征在于:

所述外腔室上开设有正对所述第一激光窗的第二激光窗,所述第二激光窗被第二玻璃密封。

7.根据权利要求1~6中任意一项所述的激光剥蚀样品室,其特征在于:

所述样品托条上开设有多个样品承接孔。

8.根据权利要求7所述的激光剥蚀样品室,其特征在于:

所述样品承接孔在所述样品托条的滑动方向上间隔布置。

9.根据权利要求1~6中任意一项所述的激光剥蚀样品室,其特征在于:

所述激光剥蚀样品室还包括设置在所述进样口和所述出样口内 壁的密封环。

10.根据权利要求1~6中任意一项所述的激光剥蚀样品室,其特征在于:

所述驱动装置包括滑轨、动力输出部以及与所述样品托条滑动方向上的两端连接的滑动块;

所述滑轨上开设有槽,所述滑动块与所述槽滑动配合;所述动力输出部与所述滑动块传动连接。

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