技术总结
本实用新型公开了一种激光剥蚀样品室，包括内腔室、外腔室和送样装置；内腔室具备第一进气口和第一出气口，内腔室上开设有进样口和出样口；送样装置包括通过进样口和出样口可滑动地贯穿内腔室的样品托条，以及与样品托条连接并用于带动样品托条在进样口和出样口所处直线上滑动的驱动装置；内腔室和送样装置均设置在外腔室内，外腔室具备第二进气口和第二出气口。该激光剥蚀样品室，实现了样品的自动更换，无需频繁开启样品室，从而避免了因频繁开启样品室对激光剥蚀进样系统中的气路造成影响。同时，消除了内腔室内外的压力差，避免了由于内腔室内外压力差导致的样品颗粒云泄漏。
技术研发人员：文明;何康昊;宋江锋;姚勇;李佩龙;邓立;杨雷
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院材料研究所
文档号码：201620745236
技术研发日：2016.07.15
技术公布日：2017.01.25