技术总结
本实用新型公开了一种晶片质量检测装置，包括机架、上位机、相机、机器人、移动光源、真空吸头、真空源、用于承载晶片矩阵的工作台和控制电路；工作台和机器人安装在机架的下部，机器人位于工作台的一侧；相机安装在机架的上部，朝向工作台；移动光源安装在机架的中部，位于工作台的上方；真空吸头固定在机器人的机械手上，朝向工作台；控制电路包括控制器，控制器的输入端接上位机的输出端，移动光源的控制端接控制器的控制信号输出端；机器人分别与上位机及控制器通信连接，相机与上位机通信连接。本实用新型的晶片质量检测装置结构简单，操作步骤少，做到一次对大量晶片的准确识别剔取，生产效率高。
技术研发人员：高书征;林森;陆再旺
受保护的技术使用者：深圳旭升智能装备有限公司
文档号码：201621196465
技术研发日：2016.10.28
技术公布日：2017.05.10