技术总结
本实用新型提出一种湿法硅片再生机台静电容传感器保护装置，包括：封闭式固定块，其内部中空设置；静电容传感器，设置于所述封闭式固定块内部。本实用新型提出的湿法硅片再生机台静电容传感器保护装置，将靠螺丝连接的半开放式固定块做成全封闭式固定块，同时增加氮气吹扫管路，确保固定块内形成正压防止酸气进入，减少酸气的干扰和腐蚀。这样减少设备异常宕机，提升产量，并且延长传感器使用寿命，降低维修费用。
技术研发人员：汤永桃;吴智翔;刘鹏
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
文档号码：201621223232
技术研发日：2016.11.09
技术公布日：2017.05.03