一种MFC和PCB的连接结构的制作方法

本发明涉及集成电路技术领域，特别涉及一种MFC和PCB的连接结构。

背景技术：

目前，作为日常MFC(mass flow controller)维护必要的一环，需要定期实施零点漂移监控，即需要定时量测MFC的电压。设备正常工作时，MFC的信号线直接与PCB(printed circuit board)连接。需要量测MFC电压时，需外接一根有一个输入端及两个输出端的bypass信号线。使用螺丝刀把MFC 信号线从MFC的接头拧下后连接到该信号线的输入端，并将该bypass线替代 MFC信号线，将一个输出端与PCB相连，然后将另一个输入端串连到万用表上。这样就能测量并在万用表上显示当前这颗MFC的实际电压。然后将bypass信号线与MFC和PCB的连接拆开，重新将MFC信号线的接头再次安装PCB上原来的位置，随后分别将连接用螺丝刀拧紧。这一连串的动作只完成一个MFC 的电压量测,其中需要对MFC接头和PCB上对应的接口各进行2次带电的热插拔,这会缩短MFC及PCB的使用寿命。而且每个机台有均有多个MFC(因机台而异),以13个MFC为例，完成MFC电压监控需要热插拔MFC和PCB共26次,只要其中出现一点问题，就会对MFC和PCB造成损伤，影响设备正常生产。

因此，需要通过重新设计MFC与PCB的连接结构，较少量测MFC电压过程中，因拆装信号线对MFC和PCB接口进行热插拔，节省花费在量测MFC电压上的时间，最终实现保护MFC和PCB，延长其使用寿命的最终目的。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题是通过重新设计MFC与PCB的连接结构，较少量测MFC电压过程中因拆装信号线对MFC和PCB接口进行热插拔，节省花费在量测MFC电压上的时间，最终实现保护MFC和PCB板，延长其使用寿命的最终目的。

为解决上述技术问题，本发明提出了一种MFC和PCB的连接结构，MFC通过信号线实现将其信号传送至PCB，所述信号线的输入端连接MFC，其特征在于，所述信号线有两个并联的输出端，一个输出端连接PCB上所述MFC的对应接口，另一个输出端当设备处于非维护阶段时空置，处于维护阶段时外接监控设备；

可选的，所述两个输出端通过电线焊接方式实现并联；

可选的，在PCB对应接口上安装扩展接口制备并联的两个输出端实现并联；

可选的，所述输出端外接的监控设备万用表。

设备正常工作时，MFC的信号线直接与PCB连接，将MFC信号传送到PCB 上对应MFC的接口。当进行日常MFC维护的零点漂移监控时，因为需要量测 MFC的电压，因此现有技术采用的方法为外接一根有一个输入端及两个输出端的bypass信号线，实物连接图如图1-3所示：图1，手动地，使用螺丝刀把 MFC信号线A从MFC上拧下；图2，替代MFC信号线的bypass信号线有输入端B1和输出端B2/B3构成；图3，将B1连接到MFC，将B2与PCB相连，再将B3串连到万用表上。这样就能测量并在万用表上显示当前这颗MFC的实际电压。然后将bypass信号线与MFC和PCB的连接拆开，重新将MFC信号线的接头再次安装PCB上原来的位置，随后分别将连接用螺丝刀拧紧。这一连串的动作完成了一个MFC的电压量测,需要对MFC接头和PCB接口各进行2次带电的热插拔,这会缩短MFC及PCB的使用寿命。而且每个机台有均有多个 MFC(因机台而异),以13个MFC为例，完成MFC电压监控需要热插拔MFC和PCB 共26次,只要其中出现一点问题，就会对MFC和PCB造成损伤，影响设备正常生产。

由此，本实用新型提出一种新的MFC和PCB的连接结构，使用一根有两个并联的输出端的bypass信号线，输入端连接MFC接口，一个输出端连接PCB 上所述MFC的对应接口，另一个输出端当设备处于非维护阶段时空置，处于维护阶段时外接监控设备。设备正常工作时，通过该bypass信号线的输入端和与PCB连接的一个输出端传送MFC信号至PCB。设备需要实施零点漂移监控测量电压是，无需对上述连接进行改动，只需将外接监控设备与剩余的空置输出端相连就可以进行MFC电压测量，所述监控设备中较为常用的是万用表。

显而易见，本实用新型除了在最初建立信号线与MFC和PCB连接时需要进行一次热插拔以外，以后的日常维护中不再需要进行MFC和PCB接口的热插拔。不仅大大减少了由于多次、经常性带电的热插拔操作对MFC和PCB的损伤，而且降低了可能由此引发的影响设备正常生产的风险。

一方面，为了提高新连接设计中使用的信号线的稳定性，另一方面，为提高测量的MFC电压值的准确性，作为优化方案，本实用新型采用电线焊接或直接在PCB对应接口上安装扩展接口的方法制备并联的两个输出端，以建立满足日常维护需要牢固的，低功耗的测量装置。

由上述描述可知，采用本实用新型的连接结构，在满足不影响设备正常生产的前提下，可以极大程度的减少了为进行日常维护对MFC和PCB接口的热插拔次数。同时，对于多MFC机台,本实用新型将现有技术中对每个MFC和PCB 进行热插拔拆装的测量方式改变成：只要将每个原本空置的输出端与外接监控设备连接即完成测量的简单方式，从而实现保护MFC和PCB板同时，大大节省了花费在量测电压上的时间，提高日常维护的工作效率。

附图说明

图1-3是现有技术MFC电压测量的连接示意图。

图4是本实用新型MFC测量的连接示意图。

具体实施方式

为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容作进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。

其次，本发明利用示意图进行详细的表述，在详述本发明实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本发明的限定。

下面结合说明书附图对本实用新型所述的连接结构进行描述。

本实施例以测量一个MFC电压为例。

目前，对MFC零点进行漂移监控测量MFC电压时，需要用螺丝刀把MFC 和PCB上的接头给拧下来后连接到1根bypass信号线在串连到万用表上，这样万用表上就能显示出这颗MFC的实际电压，然后再把bypass信号线从PCB 的接头给拔下来，将MFC原来的接头安装回去，再把螺丝拧紧。这样的一连串的动作完成了一个MFC的电压测量。

本实施例的连接方式的示意图如图4所示：首先，拆除目前设备上连接MFC 和PCB的MFC信号线，以一根有两个并联的输出端的bypass信号线作为替代重新连接；将bypass信号线的输入端IN连接MFC接口，将一个输出端Out1 连接PCB上所述MFC的对应接口，空置另一个输出端Out2。这样，当设备处于非维护阶段时，MFC信号可以由bypass信号线传送至PCB，空置的一端输出端Out2对正常生产没有影响；当设备处于维护阶段时，该空置的输出端可以直接连接测量所需的监控设备-万用表Meter，进行日常监控。当监控完成后，只需将该输出端连接恢复空置，而其他连接保持不变，设备就可以恢复到正常生产状态。

本实施例中，为了提高连接中使用的信号线的稳定性，另一方面，为提高测量的MFC电压值的准确性，bypass信号线输出端是通过将两根独立的电线进行焊接制备完成的。

由上述可知，本实用新型除了在最初建立信号线与MFC和PCB连接是需要进行一次热插拔以外，以后的日常维护中不再需要进行MFC和PCB接口的热插拔。在满足不影响设备正常生产的前提下，可以极大程度的减少了为进行日常维护对MFC和PCB接口的热插拔次数，降低了可能由此引发的影响设备正常生产的风险。同时本实用新型将日常的MFC电压测量简化为：只要将原本空置的输出端与外接监控设备连接即完成，对于多MFC的设备，大大节省了花费在量测电压上的时间，提高日常维护的工作效率。

上述描述仅是对本发明实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。