一种单晶硅及多晶硅测试台的制作方法

本实用新型涉及单晶硅设备技术领域，具体为一种单晶硅及多晶硅测试台。

背景技术：

为适应大规模集成电路的迅猛发展，特别是计算机芯片、内存的发展，越来越多的使用到了大直径、高纯度、均匀度更高的单晶硅材料。目前，在美国、德国等先进的工业国家，均采用了二探针法，使用二探针检测仪来测量大直径单晶硅的电阻率分布情况。通过测量单晶硅和多晶硅的电阻率分布情况，可方便硅材料的切割和加工。目前所采用的单晶硅及多晶硅测量仪器其造价昂贵，且测试台空间较小，只能测试较小规格的单晶硅或多晶硅，若需要测量大尺寸的单晶硅或多晶硅，只能更换成本较高的大型设备，给测量工作带来极大的不便，因此市场急需一种新型的单晶硅及多晶硅测试台来帮助人们解决现有的缺陷。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅及多晶硅测试台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅及多晶硅测试台，包括工作台，所述工作台上设置有电气控制箱，且电气控制箱上安装有控制面板，所述控制面板上设置有电源开关、调节旋钮和启动按钮，且电源开关设在调节旋钮和启动按钮的上方，所述电气控制箱内部安装有滑轨，且滑轨上固定有导向槽，所述电气控制箱上方设置有横杆，且电气控制箱左侧安装有基座，所述电气控制箱右侧设置有固定器，且固定器通过连杆与铰接部固定连接，所述铰接部上设置有伸缩杆，且铰接部通过伸缩杆与探头相连接，所述探头上安装有自由转头，且自由转头上设有调节器，所述自由转头上方设置有夹持体，且夹持体上设有环箍。

优选的，所述工作台底部四个拐角处分别安装有支撑柱。

优选的，所述固定器上设置有螺孔，且螺孔内固定旋有螺栓。

优选的，所述伸缩杆可前后自由伸缩，且伸缩杆上设有管壁。

优选的，所述自由转头可360度自由旋转。

优选的，所述调节旋钮与自由转头通过导线相连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过将待测工件放置于工作台板上，利用独立的探头和电气控制箱进行对多晶硅或单晶硅进行测试，由于在结构上设置有伸缩杆和自由转头，探头位置和角度均可随意调节，因此在不增加测试仪规格的情况下，可测量大尺寸的单晶硅或多晶硅，具有结构简单，使用方便的优点；该单晶硅及多晶硅测试台配备有控制面板，在进行测量操作时，只需要操控控制面板上的旋钮和按键即可轻松完成作业，提高了该设备的智能性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的俯视图。

图中：1-横杆；2-导向槽；3-滑轨；4-基座；5-电气控制箱；6-电源开关；7-控制面板；8-调节旋钮；9-启动按钮；10-工作台；11-固定器；12-连杆；13-铰接部；14-伸缩杆；15-环箍；16-夹持体；17-自由转头；18-调节器；19-探头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供的一种实施例：一种单晶硅及多晶硅测试台，包括工作台10，工作台10上设置有电气控制箱5，且电气控制箱5上安装有控制面板7，控制面板7上设置有电源开关6、调节旋钮8和启动按钮9，且电源开关6设在调节旋钮8和启动按钮9的上方，电气控制箱5内部安装有滑轨3，且滑轨3上固定有导向槽2，电气控制箱5上方设置有横杆1，且电气控制箱5左侧安装有基座4，电气控制箱5右侧设置有固定器11，且固定器11通过连杆12与铰接部13固定连接，铰接部13上设置有伸缩杆14，且铰接部13通过伸缩杆14与探头19相连接，探头19上安装有自由转头17，且自由转头17上设有调节器18，自由转头17上方设置有夹持体16，且夹持体16上设有环箍15，工作台10底部四个拐角处分别安装有支撑柱，固定器11上设置有螺孔，且螺孔内固定旋有螺栓，伸缩杆14可前后自由伸缩，且伸缩杆14上设有管壁，自由转头17可360度自由旋转，调节旋钮8与自由转头17通过导线相连接。

本实用新型在使用时，首先将单晶硅或多晶硅放置于工作台10上，然后滑动基座4至待测量位置，并转动夹持体16，待夹持,16位置及角度调整合适后，将探头19套设在环箍15内，拧紧螺母将探头19固定后，按下控制面板7上的电源开关6，即可对工作台10上的单晶硅或多晶硅进行测量。测量过程中，还可调节探头19位置，方便对工件不同位置进行测量，利用独立的探头19和电气控制箱5进行对多晶硅或单晶硅进行测试，由于在结构上设置有伸缩杆14和自由转头17，通过使用控制面板7上的调节旋钮8，调节旋钮8与调节旋钮8之间通过电性连接，探头19位置和角度均可随意调节，因此在不增加测试仪规格的情况下，可测量大尺寸的单晶硅或多晶硅，具有结构简单，使用方便的优点。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。