1.一种干涉测量系统,包括:
源,被配置成生成可变波长的辐射束;
第一分路器,被配置成将可变波长的辐射束拆分成至少第一辐射束和第二辐射束;
第一延迟元件,被配置成将第一辐射束延迟第一时间延迟;
第二延迟元件,被配置成将第二辐射束延迟第二时间延迟,以使得被延迟的第一辐射束与被延迟的第二辐射束相对于彼此不相干;
第一干涉仪,被配置成接收被延迟的第一辐射束作为输入;以及
第二干涉仪,被配置成接收被延迟的第二辐射束作为输入。
2.如权利要求1所述的干涉测量系统,其中,第一时间延迟与第二时间延迟之间的差大到足以虑及由第一辐射束造成的多重散射的非对称特性。
3.如权利要求1所述的干涉测量系统,其中,第一干涉仪包括第二混合分路器,该第二混合分路器被配置成拆分被延迟的第一辐射束以生成第一样本辐射束和第一参考辐射束。
4.如权利要求3所述的干涉测量系统,其中,第一样本辐射束是光学相干断层摄影辐射束。
5.如权利要求3所述的干涉测量系统,其中,第二干涉仪包括第三混合分路器,该第三混合分路器被配置成拆分被延迟的第二辐射束以生成第二样本辐射束和第二参考辐射束。
6.如权利要求5所述的干涉测量系统,其中,第二样本辐射束是光学相干断层摄影辐射束。
7.如权利要求1所述的干涉测量系统,其中,第一分路器还被配置成拆分可变波长辐射束以生成第三辐射束。
8.如权利要求7所述的干涉测量系统,还包括:
第三延迟元件,被配置成将第三辐射束延迟第三时间延迟,以使得被延迟的第三辐射束相对于被延迟的第一辐射束并且相对于被延迟的第二辐射束不相干;以及
第三干涉仪,被配置成接收被延迟的第三辐射束作为输入。
9.如权利要求8所述的干涉测量系统,其中,第三干涉仪包括第三分路器,该第三分路器被配置成将被延迟的第三辐射束拆分成第三样本辐射束和第三参考辐射束。
10.如权利要求8所述的干涉测量系统,其中,第三时间延迟与第一时间延迟之间的差以及第三时间延迟与第二时间延迟之间的差大到足以分别虑及由被延迟的第一辐射束和被延迟的第二辐射束造成的多重散射的非对称特性。
11.如权利要求1所述的干涉测量系统,其中,第一时间延迟是零。
12.一种干涉测量系统,包括:
源,被配置成生成辐射束;
第一分路器,被配置成将辐射束拆分成第一辐射束和第二辐射束;
第二分路器,被配置成将第一辐射束拆分成至少第三辐射束和第四辐射束;
第一延迟元件,被配置成将第三辐射束延迟第一时间延迟;
第二延迟元件,被配置成将第四辐射束延迟第二时间延迟,以使得被延迟的第三辐射束与被延迟的第四辐射束相对于彼此不相干;
第一干涉仪,被配置成接收被延迟的第三辐射束作为输入;以及
第二干涉仪,被配置成接收被延迟的第四辐射束作为输入。
13.如权利要求12所述的干涉测量系统,其中,第一时间延迟与第二时间延迟之间的差大到足以虑及由第三辐射束造成的多重散射的非对称特性。
14.如权利要求13所述的干涉测量系统,其中,第一干涉仪包括混合分路器,该混合分路器被配置成接收被延迟的第三辐射束并且生成第一样本辐射束。
15.如权利要求14所述的干涉测量系统,其中,第一样本辐射束是光学相干断层摄影辐射束。
16.如权利要求12所述的干涉测量系统,其中,第二干涉仪包括混合分路器,该混合分路器被配置成接收被延迟的第四辐射束并且生成第二样本辐射束。
17.如权利要求16所述的干涉测量系统,其中,第二样本辐射束是光学相干断层摄影辐射束。
18.如权利要求16所述的干涉测量系统,还包括:
可变延迟元件,被配置成将第二辐射束延迟可变延迟;
第三分路器,被配置成将被延迟的第二辐射束拆分成至少第五辐射束和第六辐射束;
第三延迟元件,被配置成将第五辐射束延迟所述第一时间延迟;以及
第四延迟元件,被配置成将第六辐射束延迟所述第二时间延迟。
19.如权利要求18所述的干涉测量系统,其中,第一干涉仪还被配置成接收被延迟的第五辐射束作为参考输入。
20.如权利要求18所述的干涉测量系统,其中,第二干涉仪还被配置成接收被延迟的第六辐射束作为参考输入。
21.如权利要求12所述的干涉测量系统,其中,第二分路器还被配置成将第一辐射束拆分成第七辐射束。
22.如权利要求21所述的干涉测量系统,还包括:
第五延迟元件,被配置成将第七辐射束延迟第三时间延迟,以使得被延迟的第七辐射束与被延迟的第三辐射束和被延迟的第四辐射束不相干;以及
第三干涉仪,被配置成接收被延迟的第七辐射束作为输入。
23.如权利要求22所述的干涉测量系统,其中,第三时间延迟与第一时间延迟之间的差以及第三时间延迟与第二时间延迟之间的差大到足以分别虑及由被延迟的第三辐射束和被延迟的第四辐射束造成的多重散射的非对称特性。
24.如权利要求22所述的干涉测量系统,其中,第三干涉仪包括混合分路器,该混合分路器被配置成接收被延迟的第七辐射束并且生成第三样本辐射束。
25.如权利要求24所述的干涉测量系统,其中,第三分路器还被配置成将被延迟的第二辐射束拆分成第八辐射束。
26.如权利要求25所述的干涉测量系统,还包括:
第六延迟元件,被配置成将第八辐射束延迟所述第三时间延迟。
27.如权利要求26所述的干涉测量系统,其中,第三干涉仪还被配置成接收被延迟的第八辐射束作为参考输入。
28.如权利要求12所述的干涉测量系统,其中,第一时间延迟是零。
29.一种方法,包括:
生成具有可变波长的源辐射束;
将源辐射束拆分成至少第一辐射束和第二辐射束;
将第一辐射束延迟第一时间延迟;
将第二辐射束延迟第二时间延迟,以使得被延迟的第一辐射束与被延迟的第二辐射束彼此不相干;
将被延迟的第一辐射束输入到第一干涉仪;以及
将被延迟的第二辐射束输入到第二干涉仪。
30.如权利要求29所述的方法,其中,第一时间延迟与第二时间延迟之间的差大到足以虑及由第一辐射束造成的多重散射的非对称特性。
31.如权利要求29所述的方法,还包括:
由第一干涉仪拆分被延迟的第一辐射束以生成第一样本辐射束和第一参考辐射束;以及
由第二干涉仪拆分被延迟的第二辐射束以生成第二样本辐射束和第二参考辐射束。
32.如权利要求31所述的方法,其中,第一样本辐射束和第二样本辐射束是光学相干断层摄影辐射束。
33.如权利要求31所述的方法,还包括:
将源辐射束进一步拆分成第三辐射束;
将第三辐射束延迟第三时间延迟,以使得被延迟的第三辐射束相对于被延迟的第一辐射束并且相对于被延迟的第二辐射束不相干;
将被延迟的第三辐射束输入到第三干涉仪;以及
由第三干涉仪拆分被延迟的第三辐射束以生成第三样本辐射束和第三参考辐射束。
34.如权利要求33所述的方法,其中,第三时间延迟与第一时间延迟之间的差以及第三时间延迟与第二时间延迟之间的差大到足以分别虑及由被延迟的第一辐射束和被延迟的第二辐射束造成的多重散射的非对称特性。
35.如权利要求29所述的方法,其中,第一时间延迟是零。
36.一种方法,包括:
生成源辐射束;
将源辐射束拆分成第一辐射束和第二辐射束;
将第一辐射束拆分成至少第三辐射束和第四辐射束;
将第三辐射束延迟第一时间延迟;
将第四辐射束延迟第二时间延迟,以使得被延迟的第三辐射束与被延迟的第四辐射束相对于彼此不相干;
将被延迟的第三辐射束输入到第一干涉仪;以及
将被延迟的第四辐射束输入到第二干涉仪。
37.如权利要求36所述的方法,其中,第一时间延迟与第二时间延迟之间的差大到足以虑及由第三辐射束造成的多重散射的非对称特性。
38.如权利要求36所述的方法,还包括:
由第一干涉仪使用被延迟的第三辐射束生成第一样本辐射束;以及
由第二干涉仪使用被延迟的第四辐射束生成第二样本辐射束。
39.如权利要求38所述的方法,其中,第一样本辐射束和第二样本辐射束是光学相干断层摄影辐射束。
40.如权利要求36所述的方法,还包括:
将第二辐射束延迟可变时间延迟;
将被延迟的第二辐射束拆分成至少第五辐射束和第六辐射束;
将第五辐射束延迟所述第一时间延迟;
将被延迟的第五辐射束作为第一参考辐射束输入到第一干涉仪;
将第六辐射束延迟所述第二时间延迟;以及
将被延迟的第六辐射束作为第二参考辐射束输入到第二干涉仪。
41.如权利要求40所述的方法,还包括:
将第一辐射束进一步拆分成第七辐射束;
将第七辐射束延迟第三时间延迟,以使得被延迟的第七辐射束相对于被延迟的第三辐射束并且相对于被延迟的第四辐射束不相干;
将被延迟的第七辐射束输入到第三干涉仪;以及
由第三干涉仪使用被延迟的第七辐射束生成第三样本辐射束。
42.如权利要求41所述的方法,其中,第三时间延迟与第一时间延迟之间的差以及第三时间延迟与第二时间延迟之间的差大到足以分别虑及由第三辐射束和第四束辐射造成的多重散射的非对称特性。
43.如权利要求41所述的方法,还包括:
将被延迟的第二辐射束进一步拆分成第八辐射束;
将第八辐射束延迟所述第三时间延迟,以使得被延迟的第八辐射束相对于被延迟的第五辐射束和被延迟的第六辐射束不相干;以及
将被延迟的第八辐射束作为第三参考辐射束输入到第三干涉仪。