技术总结
悬臂梁耦合在线式微波相位检测器，检测器制备在高阻硅衬底上，由共面波导传输线、两个悬臂梁结构、功合器以及两个直接加热式微波功率传感器所构成。其中共面波导传输线包括共面波导传输线的信号线和地线；悬臂梁结构包括悬臂梁的梁和锚区，悬于信号线上的介质层上方；功合器包括ACPS信号线、地线和隔离电阻和共面波导传输线的信号线；直接加热式微波功率传感器包括终端电阻、半导体热偶臂、直流输出块和隔绝直流电容。本发明检测器结构简单，电路尺寸较小，可实现微波相位的在线式检测。
技术研发人员：廖小平;严德洋
受保护的技术使用者：东南大学
文档号码：201710052691
技术研发日：2017.01.24
技术公布日：2017.06.13