1.一种固支梁耦合在线式微波相位检测器，其特征是在高阻硅衬底(1)上制作SiO2层(22)，在SiO2层(22)上设有共面波导传输线、固支梁结构、功合器以及直接加热式微波功率传感器1和直接加热式微波功率传感器2，所述的共面波导传输线由共面波导传输线的信号线(2)和地线(3)构成，所述的固支梁结构由固支梁(4)、第一锚区(5)和第二锚区(6)构成；固支梁结构悬于共面波导传输线的信号线(2)的介质层(7)上方，固支梁结构的第一锚区(5)通过直接加热式微波功率传感器1的共面波导传输线的信号线(17)连接直接加热式微波功率传感器1，固支梁结构的第二锚区(6)通过功合器的第一共面波导传输线的信号线(10)连接功合器的输入端，功合器的另一个输入端通过功合器的第二共面波导传输线的信号线(11)连接到参考信号输入端口，功合器的输出端通过功合器的第三共面波导传输线的信号线(12)连接直接加热式微波功率传感器2。
2.根据权利要求1所述的固支梁耦合在线式微波相位检测器，其特征是采用直接加热式微波功率传感器检查微波功率，所述的直接加热式微波功率传感器1包括终端电阻(13)、半导体热电偶臂(14)、直流输出块(15)、隔绝直流电容(16)和共面波导传输线的信号线(17)；直接加热式微波功率传感器2包括终端电阻(18)、半导体热电偶臂(19)、直流输出块(20)和隔绝直流电容(21)。
3.根据权利要求1所述的固支梁耦合在线式微波相位检测器，其特征是采用功合器进行功率合成，所述的功合器包括隔离电阻(8)、ACPS信号线(9)、第一共面波导传输线的信号线(10)、第二共面波导传输线的信号线(11)和第三共面波导传输线的信号线(12)组成。