技术特征：
技术总结
本发明提供了一种CF基板微观检查机，所述检查机包括AOI自动光学检测仪、CF基板微观复核装置，所述CF基板微观复核装置包括摄像组件支架、至少四组摄像组件，每组摄像组件包括图像获取装置以及驱动图像获取装置水平移动的驱动机构，所述驱动机构固定在摄像组件支架上，每组摄像组件形成一个摄像区域；所述摄像组件支架固定在机架上，每个摄像区域分别对应CF基板上的至少一个基板单元，所述图像获取装置的镜头朝下，所述图像获取装置以及驱动机构与图像处理装置连接。与现有技术相比，实现每组摄像组件负责该区域内的缺陷拍照，缩短了每组摄像组件的行程，而且每组摄像组件之间互不干涉，提高了工作效率。
技术研发人员：夏郭伟
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
技术研发日：2017.04.12
技术公布日：2017.08.04