一种封闭式多点激光剥蚀样品台的制作方法

文档序号:11486071阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种封闭式多点激光剥蚀样品台,包括底座、套筒、顶板和转动盘,底座的上部外圈表面密封固定安装在套筒的下部内腔中,套筒的顶部通过焊接方式密封固定设置有顶板,顶板的表面均布加工有镂空,镂空的上部固定安装有盖体,底座的顶板上通过轴承转动设置有转动杆,转动盘的中部下表面与转动杆的顶端固定连接,底座的顶板上表面通过焊接方式固定安装有基座,基座上加工有环形油封腔,转动盘的外圈下表面固定安装有与环形油封腔相互滑动配合的环形滑块,转动盘的上表面还固定设置有样品放置台。本实用新型结构简单,设计合理,操作简单,使用灵活,分析实验效果好、效率高,实用性强。

技术研发人员:李玲;唐洪明;王茜;冯伟
受保护的技术使用者:西南石油大学
文档号码:201720125273
技术研发日:2017.02.09
技术公布日:2017.08.18

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