一种基于一维纳米材料传感器的制备方法与流程

文档序号:16145496发布日期:2018-12-05 16:14阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种基于一维纳米材料传感器的制备方法,该方法将一维纳米材料的悬浊液滴基底上,使用工具刷匀速梳理后静置,烘干后一维纳米材料通过范德华力与基底接合更紧密;去胶后待基底表面溶液挥发,一维纳米材料在基底上形成大面积均匀排列;利用光刻工艺得到叉指电极图形;在基底表面镀金后剥离得到一维纳米材料传感器,该传感器具有电学性能优良,灵敏度高的特点。本发明方法适用于氧化锌,硅等多种一维纳米材料,并且适用于不同基底如二氧化硅,玻璃等。一维纳米材料的分布密度和排列的整齐度可以通过改变组装工具的尺寸来实现,若使用大尺度精细机械化组装工具有望实现大面积的生产。该方法在纳米器件制造集成领域有广泛应用前景。

技术研发人员:杨树明;程碧瑶;王一鸣;杨晓凯;王飞
受保护的技术使用者:西安交通大学
技术研发日:2018.05.23
技术公布日:2018.12.04
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