自动供给式激光显微系统的制作方法

文档序号:16114958发布日期:2018-11-30 20:17阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种自动供给式激光显微系统,其特征在于:包括将待测对象(108)逐一送至待检位的自动供给装置、用于将激光束聚焦于被检对象上的后侧激光聚焦装置(102)和位于后侧激光聚焦装置(102)前方的后续激光处理装置,所述被检对象为位于所述待检位上的待测对象(108);所述待检位为后侧激光聚焦装置(102)的聚焦点;所述待检位位于后侧激光聚焦装置(102)前侧,所述后续激光处理装置位于所述待检位的正前方;所述自动供给装置位于所述待检位的一侧;

所述后续激光处理装置包括对所述激光束聚焦于所述被测对象后产生的外侧光线进行处理的外侧光处理装置(106)、对所述激光束聚焦于所述被测对象后产生的中部光束进行聚焦的前侧激光聚焦装置(114)和经前侧激光聚焦装置(114)聚焦后的光束进行检测的激光探测装置(126),所述外侧光处理装置(106)位于所述被测对象的正前方,所述前侧激光聚焦装置(114)位于外侧光处理装置(106)的正前方或正后方,所述激光探测装置(126)位于前侧激光聚焦装置(114)的正前方;所述外侧光处理装置(106)为衍射装置。

2.按照权利要求1所述的自动供给式激光显微系统,其特征在于:所述外侧光处理装置(106)的后侧面为光接收面,所述光接收面为曲面或呈竖直向布设的平面;

当所述光接收面为曲面时,所述待检位与所述光接收面上各位置处的间距均相同。

3.按照权利要求1或2所述的自动供给式激光显微系统,其特征在于:所述自动供给装置为将置于测试架(110)上的待测对象(108)逐一送至所述待检位的测试架供给装置或将处于悬空状态的待测对象(108)逐一送至所述待检位的对象直接供给装置,所述测试架(110)为供一个所述待测对象(108)布设的支架。

4.按照权利要求3所述的自动供给式激光显微系统,其特征在于:所述测试架供给装置为同步移动式供给装置或架体移动式供给装置;

所述同步移动式供给装置包括能带动多个所述测试架(110)同步移动并将多个所述测试架(110)上的待测对象(108)逐一送至所述待检位的架体位置调节机构,多个所述测试架(110)均固定安装在所述架体位置调节机构上,所述架体位置调节机构位于所述待检位的一侧;

所述架体移动式供给装置包括供多个所述测试架(110)放置的架体放置机构和对所述架体放置机构上的测试架(110)进行逐一移动并将所移动测试架(110)上的待测对象(108)移送至所述待检位的架体移动机构,所述架体移动机构位于所述待检位的一侧,所述架体移动机构位于所述架体放置机构的一侧。

5.按照权利要求3所述的自动供给式激光显微系统,其特征在于:所述对象直接供给装置为喷射供给装置;

所述喷射供给装置为固定式喷射供给装置、平移式喷射供给装置、旋转式喷射供给装置或混合式喷射供给装置;

所述固定式喷射供给装置为单对象喷射供给装置或多对象喷射供给装置;

所述单对象喷射供给装置包括一个将多个所述待测对象(108)逐一喷射至所述待检位的第一喷射机构,所述第一喷射机构位于所述待检位一侧,所述第一喷射机构的喷射口与所述待检位正对;

所述多对象喷射供给装置包括固定环和多个将待测对象(108)逐一由外向内喷射至所述待检位的第二喷射机构,多个所述第二喷射机构沿圆周方向布设在同一竖直面上,多个所述第二喷射机构均安装在所述固定环上,所述固定环呈竖直向布设;每个所述第二喷射机构的喷射口均朝内,每个所述第二喷射机构的喷射口与所述待检位正对;所述待检位位于所述固定环的中心轴线上;

所述平移式喷射供给装置包括平移结构和多个布设于同一直线上且将待测对象(108)逐一喷射至所述待检位的第三喷射机构,多个所述第三喷射机构均呈平行布设且其喷射口均朝向所述待检位,多个所述第三喷射机构均安装在所述平移结构上且其均位于同一平面上;所述平移结构位于所述待检位一侧,所述平移结构为带动多个所述第三喷射机构同步进行直线移动并将一个所述第三喷射机构的喷射口移动至与所述待检位正对的直线移动机构;

所述旋转式喷射供给装置包括多个将待测对象(108)逐一由内向外喷射至所述待检位的第四喷射机构和带动多个所述第四喷射机构同步进行旋转并将一个所述第四喷射机构的喷射口移动至与所述待检位正对的第一旋转机构,多个所述第四喷射机构沿圆周方向布设在所述第一旋转机构的同一横断面上,多个所述第四喷射机构均安装在所述第一旋转机构上,每个所述第四喷射机构的喷射口均朝外,所述第一旋转机构位于所述待检位一侧,多个所述第四喷射机构均与所述待检位布设于同一平面上;

所述混合式喷射供给装置包括多组将待测对象(108)逐一由内向外喷射至所述待检位的第五喷射机构、带动多组所述第五喷射机构同步进行旋转的第二旋转机构和带动所述第二旋转机构沿其旋转轴线进行前后移动的第一前后平移机构,多组所述第五喷射机构均安装在所述第二旋转机构上,多组所述第五喷射机构沿所述第二旋转机构的旋转轴线由前至后布设,每组所述第五喷射机构均包括多个沿圆周方向布设在所述第二旋转机构的同一横断面上的所述第五喷射机构,每个所述第五喷射机构的喷射口均朝外,所述第二旋转机构位于所述待检位一侧;所述第二旋转机构安装在所述第一前后平移机构上且二者组成将一个所述第五喷射机构的喷射口移动至与所述待检位正对的组装式移动机构。

6.按照权利要求3所述的自动供给式激光显微系统,其特征在于:所述对象直接供给装置为将待测对象(108)在重力作用下下落至所述待检位的重力供给装置;

所述重力供给装置为固定式重力供给装置、平移式重力供给装置或旋转式重力供给装置;

所述固定式重力供给装置包括将多个所述待测对象(108)逐一下放并使各待测对象(108)在重力作用下下落至所述待检位的固定式下放机构,所述固定式下放机构位于所述待检位一侧,所述固定式下放机构为L形且其包括第一竖向下放机构和位于所述第一竖向下放机构底部一侧的水平通道,所述水平通道位于所述待检位一侧且二者位于同一平面上,所述水平通道的出口与所述待检位正对;所述第一竖向下放机构内设置有一个或多个呈平行布设的第一竖向下放通道,所述第一竖向下放通道的底部出口均与所述水平通道的进口连通;

所述平移式重力供给装置包括呈水平布设且左右两侧均开口的平移通道、带动所述平移通道沿其中心轴线进行水平直线移动的平移驱动机构和多个均安装在所述平移通道上的第二竖向下放机构,每个所述第二竖向下放机构均为将多个所述待测对象(108)逐一下放并使各待测对象(108)在重力作用下下落至所述待检位的下放机构,每个所述第二竖向下放机构内均开有一个第二竖向下放通道,所述第二竖向下放通道的底部出口与所述平移通道内部相通;多个所述第二竖向下放机构均布设于同一竖直面上且其沿所述平移通道的中心轴线由前至后布设,所述待检位位于所述平移通道的中心轴线上;

所述旋转式重力供给装置为竖向旋转重力供给装置或水平旋转重力供给装置;

所述水平旋转重力供给装置包括一个带有多个竖向下放通道的第一旋转式供给机构和布设于所述第一旋转式供给机构上方且将多个所述待测对象(108)逐一送入一个所述竖向下放通道的第一对象存放机构,所述第一对象存放机构呈竖直向布设;所述第一旋转式供给机构呈水平布设且其位于所述待检位上方,所述第一旋转式供给机构为能绕其中心轴线进行水平旋转并将一个所述竖向下放通道移动至所述待检位正上方的旋转机构,所述第一对象存放机构的底部出口位于所述待检位的正上方;多个所述竖向下放通道沿圆周方向均匀布设且其均布设于同一水平面上,所述竖向下放通道为将供待测对象(108)逐一下放并使各待测对象(108)在重力作用下下落至所述待检位的下放通道;

所述竖向旋转重力供给装置为单对象供给装置或多对象供给装置;

所述单对象供给装置包括一个带有多个直线下放通道的第二旋转式供给机构和布设于所述第二旋转式供给机构上部且将多个所述待测对象(108)逐一送入一个所述直线下放通道的第二对象存放机构,所述第二对象存放机构呈竖直向布设且其位于所述第二旋转式供给机构的正上方;所述第二旋转式供给机构呈竖直向布设,所述第二旋转式供给机构为能绕其中心轴线进行竖向旋转的旋转机构,多个所述直线下放通道沿圆周方向均匀布设且其均布设于同一竖直面上,所述直线下放通道为将供待测对象(108)逐一下放并使各待测对象(108)在重力作用下下落至所述待检位的下放通道;所述第二对象存放机构的底部出口和每个所述直线下放通道的进口均位于所述第二旋转式供给机构的外边缘上;所述待检位位于所述第二旋转式供给机构的中心轴线上,每个所述直线下放通道的出口均与所述待检位正对;

所述多对象供给装置包括多个将待测对象(108)逐一下放并使各待测对象(108)在重力作用下下落至所述待检位的第三对象存放机构和带动多个所述第三对象存放机构同步进行旋转并将一个所述第三对象存放机构的底部出口移动至所述待检位正上方的竖向旋转机构,多个所述第三对象存放机构沿圆周方向布设在所述竖向旋转机构的同一横断面上,多个所述第三对象存放机构均安装在所述竖向旋转机构上,所述竖向旋转机构为布设在所述待检位外侧的空心结构,所述待检位位于所述竖向旋转机构的中心轴线上,多个所述第三对象存放机构均与所述待检位布设于同一平面上。

7.按照权利要求1所述的自动供给式激光显微系统,其特征在于:还包括真空室(400),所述真空室(400)上设置有供所述激光束穿过的激光入射口(402);所述后侧激光聚焦装置(102)、测试架(110)和所述后续激光处理装置均位于真空室(400)内,所述后侧激光聚焦装置(102)位于激光入射口(402)的正前方;

所述自动供给装置位于真空室(400)内或位于真空室(400)外侧;

当自动供给装置位于真空室(400)外侧时,所述真空室(400)上设置有供待测对象(108)输送的输送通道。

8.按照权利要求1或2所述的自动供给式激光显微系统,其特征在于:所述前侧激光聚焦装置(114)为位于外侧光处理装置(106)正后方的后聚焦装置,所述外侧光处理装置(106)的中部开有供所述中部光束通过的第一通孔。

9.按照权利要求8所述的自动供给式激光显微系统,其特征在于:所述前侧激光聚焦装置(114)为位于外侧光处理装置(106)正前方的前聚焦装置,所述激光探测装置(126)为位于外侧光处理装置(106)正后方的第一激光探测装置和安装于外侧光处理装置(106)上的第二激光探测装置;

当激光探测装置(126)为所述第一激光探测装置时,所述外侧光处理装置(106)的中部开有供经前侧激光聚焦装置(114)聚焦后的光束通过的第二通孔;

当激光探测装置(126)为所述第二激光探测装置时,所述外侧光处理装置(106)的中部开有供前侧激光聚焦装置(114)安装的第三通孔。

10.按照权利要求7所述的自动供给式激光显微系统,其特征在于:还包括上位机(15)、对外侧光处理装置(106)处理后的光线进行探测的激光探测设备(17)、与所述激光探测设备(17)连接的衍射测量装置(14)、与激光探测装置(126)连接的成像设备、位于真空室(400)外侧且用于产生所述激光束的激光发生器(411)和与真空室(400)连接的抽真空设备,所述激光探测设备(17)位于外侧光处理装置(106)后侧,所述衍射测量装置(14)和所述成像设备均与上位机(15)连接。

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