关键尺寸测量方法和系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种关键尺寸测量方法和系统。
【背景技术】
[0002]在TFT-LCD(Thin Film Transistor，薄膜晶体管；Liquid Crystal Display，液晶显示器)制造领域，关键尺寸(Critical Dimens1n，一般是指10um以下的图形线宽或间隔，为表示图形位置之尺寸值)的监控测量十分重要，其尺寸大小的控制将直接影响整个显示装置的性能。现有技术中，关键尺寸的监控测量主要通过将实际拍摄照片与预存的特征图片进行匹配来实现。然而在现有的监控测量设备中，对于每一块待测基板的传送定位、照片拍摄、匹配特征图片、关键尺寸测量都需要按照次序一一执行，一旦发生不能正常匹配特征图片而无法进行测量的情况，设备就只能等待操作人员手动测量并进行确认后才能继续下一块待测基板的测量，严重影响了设备的稼动率。
【发明内容】
[0003]针对现有技术中的缺陷，本发明提供一种关键尺寸测量方法和系统，可以解决现有技术中不能正常匹配特征图片时设备暂停运行会导致设备稼动率严重下降的问题。
[0004]第一方面，本发明提供了一种关键尺寸测量系统，包括第一设备和第二设备，
[0005]所述第一设备用于依次对每一块待测基板进行拍摄，并将包括拍摄结果与基板标识的数据包发送至所述第二设备；
[0006]所述第二设备用于接收并存储来自所述第一设备的数据包，并根据数据包中的拍摄结果进行与数据包中的基板标识对应的待测基板的关键尺寸的测量。
[0007]可选地，所述第一设备包括:
[0008]定位单元，用于将待测基板移动至预设拍摄位置；
[0009]拍摄单元，用于对处于所述预设拍摄位置的待测基板进行拍摄；
[0010]生成单元，用于根据所述拍摄单元得到的拍摄结果生成包括该摄结果以及与该拍摄结果对应的基板标识的数据包；
[0011]发送单元，用于将所述生成单元得到的数据包发送至所述第二设备。
[0012]可选地，所述定位单元进一步用于在所述拍摄单元完成对一块待测基板的拍摄后立刻将下一块待测基板移动至所述预设拍摄位置。
[0013]可选地，所述第二设备包括:
[0014]接收单元，用于接收来自所述第一设备的数据包；
[0015]存储单元，用于将所述接收单元得到的数据包中的所述拍摄结果及所述基板标识对应地进行存储；
[0016]测量单元，用于根据来自所述存储单元的所述拍摄结果进行关键尺寸的测量；
[0017]所述存储单元还用于将所述测量单元得到的测量结果对应于所述基板标识进行存储。
[0018]可选地，所述第二设备还包括:
[0019]生成单元，用于在所述测量单元不能正常进行关键尺寸的测量时根据对应的拍摄结果及基板标识生成故障报告，并控制所述测量单元继续进行下一个待测基板的关键尺寸的测量。
[0020]第二方面，本发明还提供了一种关键尺寸测量方法，包括:
[0021]第一设备依次对每一块待测基板进行拍摄，并将包括拍摄结果与基板标识的数据包发送至第二设备；
[0022]第二设备接收并存储所述数据包，并根据数据包中的拍摄结果进行与数据包中的基板标识对应的待测基板的关键尺寸的测量。
[0023]可选地，所述第一设备依次对每一块待测基板进行拍摄，并将包括拍摄结果与基板标识的数据包发送至第二设备，包括:
[0024]第一设备将待测基板移动至预设拍摄位置；
[0025]第一设备对处于所述预设拍摄位置的待测基板进行拍摄；
[0026]第一设备根据拍摄结果生成包括该摄结果以及与该拍摄结果对应的基板标识的数据包；
[0027]第一设备将所述数据包发送至所述第二设备。
[0028]可选地，第一设备在完成对一块待测基板的拍摄后，立刻将下一块待测基板移动至所述预设拍摄位置。
[0029]可选地，所述第二设备接收并存储所述数据包，并根据数据包中的拍摄结果进行与数据包中的基板标识对应的待测基板的关键尺寸的测量，包括:
[0030]第二设备接收来自所述第一设备的数据包；
[0031]第二设备将所述数据包中的所述拍摄结果及所述基板标识对应地进行存储；
[0032]第二设备根据存储的所述拍摄结果进行关键尺寸的测量；
[0033]第二设备测量结果对应于所述基板标识进行存储。
[0034]可选地，所述第二设备根据存储的所述拍摄结果进行关键尺寸的测量，包括:
[0035]在不能正常进行关键尺寸的测量时，根据对应的拍摄结果及基板标识生成故障报生
[0036]继续进行下一个待测基板的关键尺寸的测量。
[0037]由上述技术方案可知，本发明中的第一设备主要进行图片拍摄，并将拍摄结果发送给第二设备，第二设备则主要根据拍摄结果进行关键尺寸的测量。从而在第二设备不能正常匹配特征图片时并不会影响第一设备的正常工作，因而可以解决现有技术中不能正常匹配特征图片时设备暂停运行会导致设备稼动率严重下降的问题。与不能正常匹配特征图片时设备暂停运行的现有技术相比，本发明可以提高关键尺寸测量的设备运行效率，提升设备稼动率。
【附图说明】
[0038]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0039]图1是本发明一个实施例中一种关键尺寸测量系统的结构框图；
[0040]图2是本发明一个实施例中一种第一设备的结构框图；
[0041]图3是本发明一个实施例中一种第二设备的结构框图；
[0042]图4是本发明一个实施例中一种关键尺寸测量方法的步骤流程示意图；
[0043]图5是本发明一个实施例中一种第一设备的工作步骤流程示意图；
[0044]图6是本发明一个实施例中一种第二设备的工作步骤流程示意图。
【具体实施方式】
[0045]为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0046]图1是本发明一个实施例中一种关键尺寸测量系统的结构框图。参见图1，该系统包括第一设备11和第二设备12，其中:
[0047]上述第一设备11用于依次对每一块待测基板进行拍摄，并将包括拍摄结果与基板标识的数据包发送至上述第二设备12 ;
[0048]上述第二设备12用于接收并存储来自上述第一设备11的数据包，并根据数据包中的拍摄结果进行与数据包中的基板标识对应的待测基板的关键尺寸的测量。
[0049]应理解的是，上述第一设备11与上述第二设备12之间存在必要的通信手段，以使第一设备11可以将数据包发送给第二设备12，并使得第二设备12可以接收来自第一设备11的数据包，具体的通信手段可以是总线通信、串口通信、以太网通信等等，本发明对此不做限制。
[0050]还应理解的是，上述待测基板指的是需要进行关键尺寸测量的基板，其中的关键尺寸主要指的是基板上10um以下的图形线宽或间隔，具体为表示图形形状和位置的尺寸值。本发明实施例主要采用图像测量的方式，在本发明的一个实施例中，关键尺寸的测量主要通过下述流程进行:第一设备11进行特定设置下的图像采集(拍摄)；第二设备12以对应的标尺在图像上进行测量。
[0051]还应理解的是，本发明实施例中，第一设备11可以不间断