数据运算方法、数据运算装置及缺陷检查装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种进行多个运行数据（run data)族群的逻辑运算的数据运算技术 以及应用该数据运算技术的缺陷检查装置。
【背景技术】
[0002] 在半导体基板或印刷基板等的制造技术领域，为了检测产品中所包含的缺陷并对 缺陷进行分析、评价，而利用显微镜等拍摄评价对象物，从所获得的图像中提取包含缺陷部 的图像。然后，对所提取的图像执行利用遮罩图像的遮罩处理（mask processing)，由此准 确地求出缺陷图像。为了进行该遮罩处理，而对所述图像的运行数据执行例如日本专利特 开平7-203178号公报所记载的逻辑运算。
【发明内容】
[0003] [发明欲解决的课题]
[0004] 日本专利特开平7-203178号公报所记载的发明是在不将成为运算处理对象的两 个图像的运行数据族群转换成位图数据（bitmap data)的情况下，求出两个图像的逻辑积、 逻辑和及互斥或。更具体来讲，从一端的运行起依序对成为运算处理对象的两个运行数据 族群进行连接判定，根据重叠的部分进行逻辑积、逻辑和及互斥或的判定。因此，存在如下 问题：随着构成运行数据族群的运行数据的条数变多，连接判定变得复杂，逻辑运算所需的 时间增多。另外，在对3个以上的运行数据族群进行逻辑运算的情况下，连接判定的复杂性 进一步显著上升，逻辑运算所需的时间也显著增多。
[0005] 本发明是鉴于所述课题而完成的，其目的在于：提供一种能用短时间进行多个运 行数据族群的逻辑运算的数据运算技术及使用该数据运算技术有效率地进行缺陷检查的 技术。
[0006] [解决课题的手段]
[0007] 本发明的第一实施方式是一种数据运算方法，将使二值图像数据运行长度 (Run-Length)化而获得的至少一个以上的运行数据设为运行数据族群，进行互不相同的多 个运行数据族群的逻辑运算；且所述数据运算方法的特征在于包括：运行展开步骤，通过 对每个运行数据执行数据展开操作，而使多个运行数据展开并存储在运行展开存储器的地 址空间，所述数据展开操作是一方面对存储在与运行数据的始端坐标对应的运行展开存储 器的地址的值加上预设值（default)，另一方面从存储在与该运行数据的终端坐标对应的 运行展开存储器的地址的值减去预设值；重叠信息取得步骤，对地址空间的各地址执行扫 描操作，而取得表示多个运行数据的重叠状态的重叠信息，所述扫描操作是对地址空间的 第m个地址写入在完成运行展开步骤的时点分别存储在地址空间的第0个地址至第m个地 址的值的总和；及逻辑运算步骤，基于重叠信息，求出多个运行数据族群的逻辑积、逻辑和 及互斥或之中的至少一个。
[0008] 另外，本发明的第二实施方式是一种数据运算装置，将使二值图像数据运行长度 化而获得的至少一个以上的运行数据设为运行数据族群，进行互不相同的多个运行数据族 群的逻辑运算；且所述数据运算装置的特征在于包括：运行展开存储器，存储与运行数据 的始端坐标及终端坐标相关的值；运行展开处理部，对每个运行数据执行数据展开操作，而 将多个运行数据展开在运行展开存储器的地址空间，所述数据展开操作是一方面对存储在 与运行数据的始端坐标对应的运行展开存储器的地址的值加上预设值，另一方面从存储在 与该运行数据的终端坐标对应的运行展开存储器的地址的值减去预设值；重叠信息取得 部，对地址空间的各地址执行扫描操作而取得表示多个运行数据的重叠状态的重叠信息， 所述扫描操作是对展开着多个运行数据的运行展开存储器中的地址空间的第m个地址写 入分别存储在地址空间的第〇个地址至第m个地址的值的总和；及逻辑运算部，基于重叠信 息，求出多个运行数据族群的逻辑积、逻辑和及互斥或之中的至少一个。
[0009] 在以此方式构成的发明（数据运算方法及数据运算装置）中，在不将运行数据族 群转换成位图数据的情况下，执行运行数据族群的逻辑运算。而且，在通过每个运行数据的 数据展开操作及每个地址的扫描操作取得表示多个运行数据的重叠状态的重叠信息之后， 基于该重叠信息求出运行数据族群的逻辑积、逻辑和及互斥或中的至少一个。因此，在运行 数据的个数或运行数据族群的个数少的情况下自是当然，即使它们的个数增多，也能通过 简单的数据处理执行逻辑运算。
[0010] 另外，本发明的第3实施方式是一种缺陷检查装置，其特征在于包括：图像取得 部，取得检查对象图像；图像提取部，对检查对象图像进行检查并提取包含缺陷部位的提取 图像；及数据处理部，通过进行提取运行数据族群与遮罩运行数据（mask run data)族群的 逻辑运算，利用遮罩图像对提取图像中的缺陷部位以外的部位进行遮罩处理而获得缺陷图 像数据，所述提取运行数据族群包含将每行的提取图像运行长度化而获得的至少一个以上 的运行数据，所述遮罩运行数据族群包含将每行的遮罩图像运行长度化而获得的至少一个 以上的运行数据；且数据处理部包括：运行展开存储器，存储与运行数据的始端坐标及终 端坐标相关的值；运行展开处理部，对每个运行数据执行数据展开操作，而将多个运行数据 展开在运行展开存储器的地址空间，所述数据展开操作是一方面对存储在与运行数据的始 端坐标对应的运行展开存储器的地址的值加上预设值，另一方面从存储在与该运行数据的 终端坐标对应的运行展开存储器的地址的值减去预设值；重叠信息取得部，对地址空间的 各地址执行扫描操作而取得表示多个运行数据的重叠状态的重叠信息，所述扫描操作是对 展开着多个运行数据的运行展开存储器中的地址空间的第m个地址写入分别存储在地址 空间的第〇个地址至第m个地址的值的总和；及逻辑运算处理部，基于重叠信息，对提取运 行数据族群及遮罩运行数据族群的逻辑积进行运算，并去除缺陷部位以外的部位。
[0011] 在以此方式构成的发明（缺陷检查装置）中，利用所述数据运算技术对提取运行 数据族群与遮罩运行数据族群的逻辑积进行运算，从提取图像中去除缺陷部位以外的部 位，从而能够获得良好的缺陷图像数据。
[0012] [发明的效果]
[0013] 根据本发明，不论运行数据的个数或运行数据族群的个数多少，均可通过执行运 行展开处理与重叠信息取得处理，而获得表示所有运行数据的重叠状态的重叠信息，并基 于该重叠信息，求出所有运行数据族群的逻辑积、逻辑和及互斥或中的至少一个。因此，能 用短时间进行运行数据族群的逻辑运算。
[0014] 另外，通过使用所述数据运算技术而从提取图像中去除缺陷部位以外的部位，从 而能用短时间获得良好的缺陷图像数据。因此，能够缩短缺陷检查所需的时间。
【附图说明】
[0015] 图1是表示安装本发明的数据运算装置的一实施方式的缺陷检查装置的概略构 成的图。
[0016] 图2是表示图像处理部的概略构成的框图。
[0017] 图3是表示相当于本发明的数据运算装置的一实施方式的数据处理部的概略构 成的框图。
[0018] 图4是以示意的方式表示由数据处理部进行的数据运算动作的一例的说明图。
[0019] 图5是表示前缀扫描的动作概要的图。
[0020] 图6是以示意的方式表示由数据处理部进行的数据运算动作的另一例的说明图。
[0021] 图7是以示意的方式表示由数据处理部进行的数据运算动作的另一例的说明图