。
[0022] [符号的说明]
[0023] 1 :检查系统
[0024] 2 :摄像装置
[0025] 3 :控制装置
[0026] 4 :装置控制部
[0027] 5:图像取得部
[0028] 6:图像处理部
[0029] 7 :存储部
[0030] 8 :输入受理部
[0031] 9:显示部
[0032] 21 :摄像部
[0033] 22 :平台
[0034] 23 :平台驱动部
[0035] 61 :过滤部
[0036] 62 :差分提取部（图像提取部）
[0037] 63 :二值化处理部
[0038] 64 :数据处理部（数据运算装置）
[0039] 211 :照明部
[0040] 212 :光学系统
[0041] 213:摄像元件
[0042] 641 :处理器内核
[0043] 642 :运行展开处理部
[0044] 643 :重叠信息取得处理部
[0045] 644 :逻辑判定处理部
[0046] 645 :存储部
[0047] 647 :运行生成部
[0048] 648 :并列处理控制部
[0049] 649 :数据初始设定部
[0050] Dl :第一图像数据
[0051] D2:第二图像数据
[0052] De :提取图像数据
[0053] Dm :遮罩图像数据
[0054] M :基板检测装置
[0055] S :基板
[0056] si :运行展开存储器
[0057] se :终端位置存储器
[0058] SS :始端位置存储器
[0059] XO :始端坐标
[0060] Xl :终端坐标
[0061] Y:行索引
【具体实施方式】
[0062] 图1是表示安装本发明的数据运算装置的一实施方式的缺陷检查装置的概略构 成的图。该缺陷检查装置1进行在作为检查对象的半导体基板（以下称为"基板"）s的外 观上出现的针孔（pinhole)或异物等的缺陷检查。缺陷检查装置1包括：摄像装置2,拍摄 基板S上的检查对象区域；及控制装置3,基于来自摄像装置2的图像数据进行缺陷检查。
[0063] 在安装所述缺陷检查装置1的检查系统中，如果在与缺陷检查装置1分开设置在 基板S的生产线（manufacturing line)上的基板检测装置M中，在基板S上发现缺陷，那 么该缺陷的位置坐标便被提供给该缺陷检查装置1。组装在生产线上的基板检测装置M利 用预先规定的处理演算法（processing algorithm)检查基板S整体，如果在基板表面存在 满足作为缺陷的必要条件的区域，那么取得并输出该区域的位置坐标。因此，该基板检测装 置M所包括的摄像部的分辨率相对较低，处理演算法也较固定。
[0064] 另一方面，该缺陷检查装置1经由未图示的接口（interface)与基板检测装置M 连接，通过具有更高分辨率的摄像装置2拍摄作为缺陷而由基板检测装置M报告位置坐标 的区域，并且控制装置3精密检查该图像，而更加详细地判定缺陷的有无或缺陷的种类等， 并且将缺陷部位的图像显示在显示部。
[0065] 摄像装置2包括：摄像部21，通过拍摄基板S上的检查对象区域而取得图像数据； 平台（stage) 22,保持基板S ;及平台驱动部23,使平台22相对于摄像部21相对地移动。另 外，摄像部21包括：照明部211，出射照明光；光学系统212,将照明光引导到基板S并且供 来自基板S的光入射；及摄像元件213,将通过光学系统212而成像的基板S的影像转换成 电信号（electrical signal)。平台驱动部23包括滚珠螺杆（ball screw)、导轨（guide rail)及电动机（motor)，设置在控制装置3的装置控制部4控制平台驱动部23及摄像部 21，由此拍摄基板S上的检查对象区域。
[0066] 控制装置3包括装置控制部4,该装置控制部4执行预先读入的控制程序（control program)，由此使图1所示的控制装置各部按照以下方式进行动作。控制装置3除了包括 所述装置控制部4以外，还包括图像取得部5及图像处理部6。图像取得部5将从摄像部 21输出的电信号数据化，而取得对应于拍摄图像的图像数据。图像处理部6对图像取得部 5所取得的图像数据实施适当的图像处理，制作图像中所包含的缺陷的检测或缺陷部位的 图像（以下称为"缺陷图像"）。此外，该图像处理部6包含作为本发明的数据运算装置的 一实施方式的数据处理部，能够对从由摄像装置2拍摄到的图像（检查对象图像）中提取 的图像实施遮罩处理，而导出缺陷部位的信息。关于图像处理部6,尤其是数据处理部的构 成及动作将在下文中详细叙述。
[0067] 进而，控制装置3包括：存储部7,用来存储各种数据；键盘（key board)及鼠标 (mouse)等输入受理部8,受理来自用户的操作输入；以及显示部9,显示操作顺序或处理结 果等面向用户的视觉信息；等。另外，虽省略了图示，但控制装置3包括从光盘、磁盘、磁光 盘等电脑可读取的记录媒体进行信息读取的读取装置，且适当地经由接口（I/F)等连接与 缺陷检查装置1的其他构成之间收发信号的通信部。
[0068] 图2是表示图像处理部的概略构成的框图。图像处理部6包括过滤（filtering) 部61、差分提取部62、二值化（binarization)处理部63及数据处理部64。过滤部61中， 从图像取得部5发送来拍摄图像，并且从存储部7发送来参考图像。在这两图像之中，拍摄 图像是由摄像装置2拍摄到的基板S的图像，相当于成为缺陷检测检查的对象的检查对象 图像。另外，参考图像是对应于没有缺陷的理想基板的图像，在该实施方式中，如下面所说 明那样，通过比较检查对象图像与参考图像而从检查对象图像进行缺陷检测。这些缺陷图 像及参考图像存储在存储部7中，视需要而被参考，但也可以是视需要读入存储在外部的 存储媒体中的图像数据的形态。
[0069] 过滤部61对各个检查对象图像及参考图像进行用来去除与图像噪音及缺陷无关 的轻微的图像差异的过滤处理，并将各图像发送到差分提取部62。该差分提取部62通过求 出过滤处理后的检查对象图像及参考图像的差分而提取图像内容互不相同的区域，并将该 差分图像发送到二值化处理部63。然后，二值化处理部63利用适当的阈值将差分图像二值 化而生成提取图像数据，并将其发送到数据处理部64。该数据处理部64将提取图像数据运 行长度化而生成包含多个运行数据的运行数据族群，并且将从存储部7赋予的遮罩图像数 据运行长度化而生成包含多个运行数据的运行数据族群。此外，在本说明书中，将使提取图 像数据运行长度化而生成的运行数据称为"提取运行数据"，将使遮罩图像数据运行长度化 而生成的运行数据称为"遮罩运行数据"，进而将如下所述般利用提取运行数据族群与遮罩 运行数据族群的逻辑积而获得的运行数据称为"缺陷运行数据"。
[0070] 图3是表示相当于本发明的数据运算装置的一实施方式的数据处理部的概略构 成的框图。该数据处理部