数据运算方法、数据运算装置及缺陷检查装置的制造方法_4

文档序号:8359715阅读:来源:国知局
描操作是对所述地址空间的第m个地址写入:在完 成所述运行展开步骤的时点分别存储在所述地址空间的第〇个地址至所述第m个地址的值 的总和;及 逻辑运算步骤,基于所述重叠信息,求出所述多个运行数据族群的逻辑积、逻辑和及互 斥或之中的至少一个。
2. 根据权利要求1所述的数据运算方法,其特征在于: 将所述多个运行数据分割成多组,并且将对各组所执行的数据展开操作设为展开线 程; 在排他控制下,一面允许由所述多个展开线程中的一个展开线程进行的所述预设值的 加减运算,并且禁止对于成为所述一个展开线程的加减运算的对象的地址的由其他展开线 程的访问,一面并列地执行所述多个展开线程。
3. 根据权利要求2所述的数据运算方法,其特征在于: 所述展开线程的个数与所述运行数据的个数一致。
4. 根据权利要求2或3所述的数据运算方法,其特征在于: 在所述运行展开步骤中,允许其他展开线程对成为由所述一个展开线程进行的加减运 算的对象的地址以外的地址进行访问。
5. 根据权利要求1所述的数据运算方法,其特征在于: 将如下操作设为判定操作:基于存储在所述地址空间的第m个地址的值与存储在第 (m-1)个地址的值,判定所述第m个地址是否对应于逻辑运算后的运行的始端坐标,基于存 储在第m个地址的值与存储在第(m+1)个地址的值,判定所述第m个地址是否对应于逻辑 运算后的运行的终端坐标,且 所述逻辑运算步骤是对所述地址空间的各地址执行所述判定操作的步骤。
6. 根据权利要求5所述的数据运算方法,其特征在于: 将构成所述地址空间的多个地址分割成多组,并且将对各组的判定操作设为判定线 程,并列地执行所述多个判定线程。
7. 根据权利要求6所述的数据运算方法,其特征在于: 在所述逻辑运算步骤中,所述判定线程的个数与所述地址空间的所述地址的个数为一 致,并对各地址执行所述判定线程。
8. 根据权利要求5所述的数据运算方法,其特征在于: 所述预设值为1。
9. 根据权利要求8所述的数据运算方法,其特征在于: 当将所述运行数据族群的个数设为N时, 在所述逻辑运算步骤中, 将如下操作设为所述判定操作:当存储在所述地址空间的第m个地址的值为N且存储 在第(m-1)个地址的值小于等于(N-1)时,判定为所述第m个地址对应于逻辑运算后的运 行的始端坐标,当存储在所述地址空间的第m个地址的值为N,且存储在第(m+1)个地址的 值小于等于(N-1)时,判定为所述第m个地址对应于逻辑运算后的运行的终端坐标;且 对所述地址空间的各地址执行所述判定操作而求出所述多个运行数据的逻辑积。
10. 根据权利要求8所述的数据运算方法,其特征在于: 在所述逻辑运算步骤中, 将如下操作设为所述判定操作:当存储在所述地址空间的第m个地址的值大于等于1 且存储在第(m-1)个地址的值为0时,判定为所述第m个地址对应于逻辑运算后的运行的 始端坐标,当存储在所述地址空间的第m个地址的值大于等于1且存储在第(m+1)个地址 的值为〇时,判定为所述第m个地址对应于逻辑运算后的运行的终端坐标;且 对所述地址空间的各地址执行所述判定操作而求出所述多个运行数据的逻辑和。
11. 根据权利要求8或9所述的数据运算方法,其特征在于: 在所述逻辑运算步骤中, 将如下操作设为所述判定操作:当存储在所述地址空间的第m个地址的值为奇数且存 储在第(m-1)个地址的值为偶数时,判定为所述第m个地址对应于逻辑运算后的运行的始 端坐标,当存储在所述地址空间的第m个地址的值为奇数且存储在第(m+1)个地址的值为 偶数时,判定为所述第m个地址对应于逻辑运算后的运行的终端坐标;且 对所述地址空间的各地址执行所述判定操作而求出所述多个运行数据的互斥或。
12. -种数据运算装置,将使二值图像数据运行长度化而获得的至少一个以上的运 行数据设为运行数据族群,进行互不相同的多个运行数据族群的逻辑运算,其特征在于包 括: 运行展开存储器,存储与所述运行数据的始端坐标及终端坐标相关的值; 运行展开处理部,对每个所述运行数据执行数据展开操作,而将所述多个运行数据展 开在所述运行展开存储器的地址空间,所述数据展开操作是一方面对存储在与所述运行数 据的始端坐标对应的所述运行展开存储器的地址的值加上预设值,另一方面从存储在与该 运行数据的终端坐标对应的所述运行展开存储器的地址的值减去所述预设值; 重叠信息取得部,对所述地址空间的各地址执行扫描操作而取得表示所述多个运行数 据的重叠状态的重叠信息,所述扫描操作是对展开着所述多个运行数据的所述运行展开存 储器中的所述地址空间的第m个地址写入分别存储在所述地址空间的第0个地址至所述第 m个地址的值的总和;及 逻辑运算部,基于所述重叠信息,求出所述多个运行数据族群的逻辑积、逻辑和及互斥 或之中的至少一个。
13. -种缺陷检查装置,其特征在于,包括: 图像取得部,取得检查对象图像; 图像提取部,对所述检查对象图像进行检查并提取包含缺陷部位的提取图像;及 数据处理部,通过进行提取运行数据族群与遮罩运行数据族群的逻辑运算,利用遮罩 图像对所述提取图像中的所述缺陷部位以外的部位进行遮罩处理而获得缺陷图像数据,所 述提取运行数据族群包含将每行的所述提取图像运行长度化而获得的至少一个以上的运 行数据,所述遮罩运行数据族群包含将每行的所述遮罩图像运行长度化而获得的至少一个 以上的运行数据;且 所述数据处理部包括: 运行展开存储器,存储与所述运行数据的始端坐标及终端坐标相关的值; 运行展开处理部,对每个所述运行数据执行数据展开操作,而将所述多个运行数据展 开在所述运行展开存储器的地址空间,所述数据展开操作是一方面对存储在与所述运行数 据的始端坐标对应的运行展开存储器的地址的值加上预设值,另一方面从存储在与该运行 数据的终端坐标对应的所述运行展开存储器的地址的值减去所述预设值; 重叠信息取得部,对所述地址空间的各地址执行扫描操作而取得表示所述多个运行数 据的重叠状态的重叠信息,所述扫描操作是对展开着所述多个运行数据的所述运行展开存 储器中的所述地址空间的第m个地址写入分别存储在所述地址空间的第0个地址至所述第 m个地址的值的总和;及 逻辑运算处理部,基于所述重叠信息,对所述提取运行数据族群及所述遮罩运行数据 族群的逻辑积进行运算,并去除所述缺陷部位以外的部位。
【专利摘要】本发明提供一种数据运算方法、数据运算装置及缺陷检查装置。数据运算方法包括:运行展开步骤,通过对每个运行数据执行数据展开操作,而使多个运行数据展开并存储在运行展开存储器的地址空间;重叠信息取得步骤,对地址空间的各地址执行扫描操作而取得表示多个运行数据的重叠状态的重叠信息,所述扫描操作是对地址空间的第m个地址写入在完成运行展开步骤的时点分别存储在地址空间的第0个地址至第m个地址的值的总和;及逻辑运算步骤,基于重叠信息,对多个运行数据族群进行逻辑运算。本发明的数据运算方法能用短时间进行多个运行数据族群的逻辑运算。
【IPC分类】G06T7-00, G06F19-00, G01N21-95
【公开号】CN104677919
【申请号】CN201410680275
【发明人】安田拓矢
【申请人】斯克林集团公司
【公开日】2015年6月3日
【申请日】2014年11月24日
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