放射线图像检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种将放射线转换为可见光的间接转换方式的放射线图像检测装置。
【背景技术】
[0002]近年来，在医疗领域中为了进行图像诊断，而使用如下的放射线图像检测装置，即，将自放射线源朝向被摄物(患者)的摄影部位放射并透射摄影部位的放射线(例如X射线)转换为电荷，而生成放射线图像。该放射线图像检测装置中，有将放射线直接转换为电荷的直接转换方式，也有将放射线临时转换为可见光并将该可见光转换为电荷的间接转换方式。
[0003]间接转换方式的放射线图像检测装置包括:将放射线转换为可见光的闪烁体(scintillator)(荧光体层)，以及对可见光进行检测并转换为电荷的光电转换面板。闪烁体中使用碘化铯(CsI)或硫氧化钆(GOS)。光电转换面板是在玻璃制的绝缘性基板的表面矩阵状地排列薄膜晶体管及光电二极管而成。
[0004]相比于G0S，CsI制造成本高，但自放射线向可见光的转换效率高。而且，CsI具有柱状结晶构造，利用光导效果而有优异的图像数据的信噪(signal-to-noise，SN)比。因此，CsI尤其被用作面向高端的放射线图像检测装置的闪烁体。
[0005]在将CsI作为闪烁体的放射线图像检测装置中，众所周知有贴附方式与直接蒸镀(vapor deposit1n)方式。贴附方式中，蒸镀有闪烁体的蒸镀基板与光电转换面板以闪烁体与光电转换面板相向的方式经由粘着层而贴附。贴附方式中，因CsI的柱状结晶的前端部接近光电转换面板，自该前端部射出的可见光效率优良地入射至光电转换面板，故获得高分辨率的放射线图像。然而，贴附方式中因使用蒸镀基板，而制造步骤数多，且成本高。
[0006]另一方面，直接蒸镀方式中，闪烁体直接蒸镀于光电转换面板上。该直接蒸镀方式中因不需要蒸镀基板，故制造步骤数少，且成本低。该直接蒸镀方式中，因CsI的柱状结晶的前端部配置于光电转换面板的相反侧，故放射线图像的画质相比于贴附方式的情况而变差，但至少比闪烁体为GOS的情况好。如此，直接蒸镀方式的性能方面与成本方面的平衡性佳。
[0007]在该直接蒸镀方式的放射线图像检测装置中，众所周知有照射侧取样(Irradiat1n Side Sampling, ISS)型，即，将收容于框体内的光电转换面板与闪烁体中的光电转换面板配置于放射线源侧，使自放射线源放射的放射线经由光电转换面板而入射至闪烁体(参照日本专利特开2012-105879号公报)。该ISS型中，闪烁体在光电转换面板侧发光，因而获得画质及亮度优异的放射线图像。而且，ISS型中，为了提高光电转换面板的放射线透射性，而使绝缘性基板的厚度变薄。
【发明内容】
[0008][发明所要解决的问题]
[0009]然而，直接蒸镀方式的ISS型放射线图像检测装置中，存在闪烁体容易自光电转换面板剥落的问题。这被认为是如下的第I原因?第3原因所致。
[0010]第I原因为，光电转换面板与闪烁体(CsI)的热膨胀系数有很大差异(相差I位数左右)。第2原因为，ISS型中，因光电转换面板与框体接近，光电转换面板容易受到来自框体的负载，从而容易挠曲。第3原因为，ISS型中，光电转换面板因薄型化而容易挠曲。光电转换面板的挠曲在端部增大，因而闪烁体的剥落特别容易在端部产生。
[0011]本发明的目的在于提供一种闪烁体不容易自光电转换面板剥落的ISS型的放射线图像检测装置。
[0012][解决问题的技术手段]
[0013]为了解决上述课题，本发明的放射线图像检测装置包括光电转换面板及闪烁体，在摄影时自放射线源入射放射线的一侧，按照光电转换面板、闪烁体的顺序进行配置。光电转换面板包括绝缘性基板、多个开关元件、第I平坦化膜、多个光电二极管、及第2平坦化膜。多个开关元件形成于绝缘性基板上。第I平坦化膜以覆盖多个开关元件的方式形成，且表面被平坦化。多个光电二极管形成于第I平坦化膜上。第2平坦化膜以覆盖多个光电二极管及第I平坦化膜的方式形成，且表面被平坦化。闪烁体具有碘化铯，该碘化铯在第2平坦化膜上蒸镀于比第I平坦化膜的端部及第2平坦化膜的端部更靠内侧处、且蒸镀于覆盖开关元件及光电二极管的形成区域的区域。
[0014]优选为第I平坦化膜的端部位于比第2平坦化膜的端部靠内侧处。
[0015]优选为在绝缘性基板上，矩阵状地排列着多个像素，该像素包含一个开关元件与一个光电二极管。优选为开关元件为逆交错型(inversely staggered)的薄膜晶体管(ThinFilm Transistor，TFT)。
[0016]优选为在开关元件与第I平坦化膜之间具备第I保护膜。优选为在第2平坦化膜与闪烁体之间具备第2保护膜。
[0017]优选为闪烁体具有非柱状结晶层、及形成于该非柱状结晶层上的多个柱状结晶。非柱状结晶层位于比柱状结晶靠光电转换面板侧处。
[0018]优选为第I平坦化膜的端面与第2平坦化膜的端面为锥形形状。
[0019]优选为上述放射线图像检测装置包括覆盖闪烁体的表面及第2平坦化膜的端面的密封膜。优选为在密封膜上具备光反射膜。
[0020]优选为光电转换面板及闪烁体收容于硬壳(monocoque)构造的框体。优选为绝缘性基板为玻璃。
[0021]优选为上述放射线图像检测装置包括用以支承闪烁体的支承基板。该支承基板固着于未配置有光电转换面板的闪烁体的表面。
[0022]优选为光电转换面板具有用以对各光电二极管供给偏压电压的偏压线，偏压线形成于各光电二极管与绝缘性基板之间。
[0023][发明的效果]
[0024]根据本发明的放射线图像检测装置，包括覆盖多个开关元件的第I平坦化膜、及覆盖多个光电二极管及第I平坦化膜的第2平坦化膜，在第2平坦化膜上，在比第I平坦化膜的端部及第2平坦化膜的端部靠内侧处、且覆盖开关元件及光电二极管的形成区域的区域，蒸镀含有碘化铯的闪烁体，因而闪烁体不容易自光电转换面板剥落。
【附图说明】
[0025]图1是X射线图像检测装置的一部分断裂立体图。
[0026]图2是X射线图像检测装置的剖面图。
[0027]图3是FPD的剖面图。
[0028]图4是说明闪烁体的形成区域的说明图。
[0029]图5是表示光电转换面板的构成的电路图。
[0030]图6是说明X射线图像检测装置的使用状态的说明图。
[0031]图7是表示密封膜的变形例的X射线图像检测装置的剖面图。
[0032]图8是表示下层偏压线构造的像素的平面图。
[0033]图9是沿着图8的IX-1X线的剖面图。
[0034]图10是表示X射线图像检测装置的变形例的剖面图。
【具体实施方式】
[0035]图1中，X射线图像检测装置10包含:平板检测器(FPD:Flat PanelDetector) 11，支承基板12，控制单元13，及收容这些构件的框体14。框体14是由X射线XR的透射性高、轻量且耐久性高的碳纤维强化树脂(碳纤维(carbon fiber)) 一体形成的硬壳构造。
[0036]在框体14的一个侧面形成着开口(未图示)，在制造X射线图像检测装置10时，自该开口向框体14内插入FPD 11、电路基板12、控制单元13。以这些构件插入后堵住该开口的方式安装着盖(未图示)。
[0037]该框体14的上表面14a是在摄影时自X射线源70 (参照图6)放射且透射被摄物(患者)71 (参照图6)的X射线XR所照射的照射面。照射面14a上为了对X射线源70或被摄物71进行位置对准而设置着对准标记(未图示)。
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