与低熔点玻璃粉末50质量份混合来制作出间隔壁用丝网印刷浆。通过将含有10质量％的乙基纤维素的萜品醇溶液涂敷到玻璃基板并进行干燥而得到的有机涂膜的折射率(ng)为1.49。
[0100](光检测器)
在500mmX500mmX厚度0.5mm的玻璃基板(日本电气硝子公司制“0A-10”)的表面上矩阵状地形成有多个由折射率3.5的非晶硅构成的PIN型光电二极管以及由TFT构成的像素尺寸125 μmX 125 μπι的光检测像素。接着，用铝形成对PIN型光电二极管施加偏压的偏压布线、对TFT施加驱动信号的驱动布线、输出通过TFT转送的信号电荷的信号布线等布线部来制作出光检测器。
[0101](实施例1)
在500mmX500mm的玻璃基板(日本电气硝子公司制“0A-10”)上，通过模涂以成为干燥厚度500 μπι的方式涂敷并干燥间隔壁用感光性浆，形成间隔壁用感光性浆涂敷膜。接着，经由形成有与期望的间隔壁图案对应的开口部的光掩模(具有间距125μπκ线宽10 μπι的格子状开口部的铬掩模)，使用超高压汞灯以700mJ/cm2的曝光量对间隔壁用感光性浆涂敷膜进行曝光。在0.5质量％的乙醇胺水溶液中对曝光后的间隔壁用感光性浆涂敷膜进行显影，除去未曝光部分，形成格子状的感光性浆涂敷膜图案。进而，在585°C下在空气中对感光性浆涂敷膜图案进行15分钟烧结，制作出在其表面形成有间隔壁的间隔L2为125 μ m、顶部宽度L4为10 μπι、底部宽度L3为20 μπι、间隔壁的高度LI为340 μπι且480mmX480mm大小的格子状间隔壁的基板。
[0102]接着，在将粒径5 μ m、折射率2.2的硫氧化钆粉末Gd2O2S (Gd2O2S:Tb)作为荧光体与乙基纤维素混合之后，填充到由间隔壁划分出的空间内，制作出在单元内的荧光体的体积分数90%的闪烁体面板。
[0103]接着，在闪烁体面板之上通过模涂形成由丙烯酸类UV固化型粘接剂(协立化学产业制“WORLD ROCK HRJ")构成的厚度20 μ m的粘接剂涂敷膜之后，一边使闪烁体面板不弯曲，一边将光检测器重叠到粘接剂涂敷膜之上。此时，设置在闪烁体面板上的间隔壁与设置在光检测器上的光检测像素相向，间隔壁位于相邻的光检测像素之间。像这样，在经由粘接剂涂敷膜将闪烁体面板与光检测器重叠的状态下，在通过120°C的真空压制装置进行加热真空抽出而除去粘接剂涂敷膜内的气泡之后，冷却至室温。之后，通过UV照射使上述粘接剂涂敷膜固化而做成粘接层，由此，制作出放射线检测装置。所形成的粘接层的平均折射率为 1.6o
[0104]利用所形成的粘接层使闪烁体面板与光检测器紧贴，在之后的处理中，不会发生位置偏离、基板裂开等问题。
[0105]接着，从放射线检测装置的光检测器侧照射电压SOkVp的X射线，用光检测像素对从闪烁体层放射的光的发光量进行检测和测定，将其测定值设为亮度。此时，在X射线源与放射线检测装置之间设置有软X射线除去用的厚度20mm的铝过滤器。将铅制的矩形MTF(Modulat1n Transfer Funct1n:调制传递函数)图设置在光检测器的背侧(未形成光检测像素的面)，同样地通过铝过滤器来照射电压SOkVp的X射线，用计算机解析由光检测像素检测得到的X射线图像数据，由此，计算出清晰度。这些值由将没有间隔壁的荧光体全部膜(相当于在比较例3中制作的闪烁体面板)设为100时的相对值来表示。其结果是，亮度为102，清晰度为158，均为良好的值。
[0106](实施例2)
通过与实施例1相同的方法来制作出形成有格子状间隔壁的基板。之后，通过间歇式溅射装置(ULVAC公司制“SV-9045”)在间隔壁表面和未形成间隔壁处的基板表面形成铝膜即反射膜。所形成的铝膜的在间隔壁顶部的厚度为300nm，间隔壁侧面的铝膜的厚度为100nm，基板上的铝膜的厚度为10nm0
[0107]接着，在将粒径5 μm、折射率2.2的硫氧化钆粉末作为荧光体与折射率1.5的乙基纤维素混合之后，填充到由间隔壁划分出的空间内，制作出在单元内的荧光体的体积分数90%的闪烁体面板。使用所制作的闪烁体面板，通过与实施例1相同的方法，制作放射线检测装置并进行评价。其结果是，亮度为120，清晰度为210，均为良好的值。
[0108](实施例3)
除了将实施例1的玻璃基板变更为300X300mm的钨基板(Applied Materials制)以夕卜，通过与实施例1相同的方法制作放射线检测装置并进行了评价。其结果是，透射放射线检测装置的X射线被钨基板吸收，因此，噪声降低，亮度为110，清晰度为165，均为良好的值。
[0109](比较例I)
制作出通过与实施例1相同的方法填充有荧光体的闪烁体面板。之后，除了代替形成粘接层而在基板的外周部通过分配器涂敷规定的量的以丙烯酸树脂为主体的光固化性密封树脂以外，与实施例1同样地重叠光检测器，之后，使树脂固化而制作出放射线检测装置。此时，由于基板的弯曲，在中央部中在闪烁体面板与光检测器之间部分地产生缝隙。通过与实施例1相同的方法对该放射线检测装置进行了评价。其结果是，亮度为30，清晰度为129以及亮度大幅下降。
[0110](比较例2) 在500mmX500mm的玻璃基板(日本电气硝子公司制“0A-10”)上，在纵向和横向的间距125μπκ壁宽35ym上使用与规定的像素数量相当大小的图案，通过丝网印刷重复进行12层的上述间隔壁用丝网印刷浆的膜厚40 μπι下的涂敷和干燥。之后，在550°C的空气中进行烧结，制作出形成有间隔壁的间隔L2为125 μ m、顶部宽度L4为52 μ m、底部宽度L3为45 μ m、间隔壁的高度LI为350 μ m且作为与规定的像素数量相当大小为480mmX 480mm大小的格子状间隔壁的基板。在观察所形成的间隔壁时，在面内多处产生部分的断线。之后，除了未形成粘接层以外，还在与实施例1同样地重叠光检测器之后用夹子(clip)夹入基板周边部来固定基板与光检测器。以后，通过与实施例1相同的方法，制作放射线检测装置并进行了评价。其结果是，亮度为65，清晰度为98，亮度的降低明显。
[0111](比较例3)
除了不在闪烁体面板形成间隔壁而形成荧光体全部膜以外，通过与实施例1相同的方法制作出放射线检测装置。通过与实施例1相同的方法对亮度和清晰度进行了测定。
[0112]由上述评价结果可知，本发明的放射线检测装置的发光亮度高且能够实现高清晰的图像。
[0113]附图标记的说明
1:放射线检测装置
2:闪烁体面板
3:光检测器
4:基板
5:放射线屏蔽层
6:间隔壁
7:荧光体(闪烁体层)
8:反射膜、遮光膜
9:光检测像素
10:光检测器侧基板
11:粘接层。
[0114]产业上的可利用性
本发明能够作为用于医疗诊断装置、非破坏检查设备等的放射线检测装置来有用地利用。
【主权项】
1.一种放射线检测装置，在表面形成有间隔壁的基板与光检测器相对向地设置，其中， 在所述基板与所述光检测器之间的空间内形成有由所述间隔壁划分出的单元， 在所述单元中填充有荧光体， 在不接触所述间隔壁的所述光检测器的表面设置有光检测像素， 在所述间隔壁和所述荧光体与所述光检测器之间形成有粘接层。
2.根据权利要求1所述的放射线检测装置，其中，所述粘接层由从包括丙烯酸树脂、环氧树脂、聚酯树脂、丁缩醛树脂、聚酰胺树脂、硅树脂以及乙基纤维素树脂的组中选择的树脂形成。
3.根据权利要求1或2所述的放射线检测装置，其中，所述间隔壁的高度LI比相邻的间隔壁的间隔L2大并且所述间隔壁和所述基板接触的界面的宽度L3比所述间隔壁的顶部的宽度L4大。
4.根据权利要求1~3的任一项所述的放射线检测装置，其中，在将所述荧光体、所述光检测像素和所述粘接层的平均折射率分别设为λ?、λ2和λ3的情况下，满足入2多入1多入3的关系。
5.根据权利要求1~4的任一项所述的放射线检测装置，其中，放射线从所述光检测器侧入射。
6.根据权利要求5所述的放射线检测装置，其中，所述基板在表面具有放射线屏蔽层。
7.根据权利要求5或6所述的放射线检测装置，其中，所述基板由放射线屏蔽材料构成。
8.根据权利要求1~7的任一项所述的放射线检测装置，其中，所述间隔壁由将含有2-20质量％的碱金属氧化物的低熔点玻璃作为主要成分的材料构成。
9.根据权利要求1~8的任一项所述的放射线检测装置，其中，在所述间隔壁的表面和所述基板上的未形成间隔壁的面形成有反射膜。
10.一种根据权利要求1~9的任一项所述的放射线检测装置的制造方法，其中，具备: 在基板上涂敷含有低熔点玻璃和感光性有机成分的感光性浆来形成感光性浆涂敷膜的工序； 对得到的感光性浆涂敷膜进行曝光的曝光工序； 溶解除去曝光后的感光性浆涂敷膜的可溶于显影液的部分的显影工序； 将显影后的感光性浆涂敷膜图案加热到500°C ~700°C的烧结温度来除去有机成分并且使低熔点玻璃软化和烧结而形成间隔壁的烧结工序； 在由所述间隔壁划分出的单兀内填充焚光体的工序； 在所述荧光体和所述间隔壁上形成粘接剂涂敷膜的工序；以及在所述粘接剂涂敷膜之上以设置在闪烁体面板上的间隔壁与设置在光检测器上的光检测像素相向并且间隔壁位于相邻的光检测像素之间的方式重叠光检测器之后使所述粘接剂涂敷膜固化而做成粘接层的工序。
【专利摘要】本发明提供一种大面积地高精度地形成窄宽度的间隔壁且发光效率高并实现清晰的画质的放射线检测装置。本发明提供一种放射线检测装置，表面形成有间隔壁的基板与光检测器相对向地设置，其中，在所述基板与光检测器之间的空间内形成有由所述间隔壁划分出的单元，在所述单元中填充有荧光体，在不接触所述间隔壁的所述光检测器的表面设置有光检测像素，在所述间隔壁和所述荧光体与所述光检测器之间形成有粘接层。
【IPC分类】G01T1-20
【公开号】CN104781691
【申请号】CN201380057056
【发明人】冈村昌纪, 井口雄一朗, 村井尚宏
【申请人】东丽株式会社
【公开日】2015年7月15日
【申请日】2013年10月22日
【公告号】EP2916145A1, WO2014069284A1