图像生成装置、缺陷检查装置以及缺陷检查方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及生成用于检查薄片状成形体的缺陷的图像数据的图像生成装置、具备该图像生成装置的缺陷检查装置以及缺陷检查方法。
【背景技术】
[0002]在现有技术中，作为用于检查偏振薄膜、相位差薄膜等薄片状成形体的缺陷的方法，公知有利用了照相机的检查。例如，JP特开2007-333563号公报(专利文献I)中，通过光源向薄片状成形体照射光，通过线传感器照相机(line sensor camera)拍摄透过以及折射了该薄片状成形体的透射光像，从而检查该薄片状成形体的缺陷。此外，在现有技术中，还公知有拍摄反射光像来代替拍摄透射光像，由此检查薄片状成形体的缺陷的方法。
【发明内容】
[0003]利用图10，说明通过线传感器照相机检查有无在薄片状成形体中产生的点状凹部缺陷的方法的一例。假设图10所示的薄片状成形体L在其宽度方向X中央产生了点状凹部缺陷U。薄片状成形体L被传输到其长边方向Y的一方，其结果，如图10(a)?图10(c)所不，凹部缺陷L1沿着长边方向Y的一方而依次移动。
[0004]如图10(a)?图10(c)所示，通过在宽度方向X上延伸的未图示的光源，在薄片状成形体L中产生了明部L2和暗部L 3。光源的位置被固定，通过传输薄片状成形体L，从而明部匕的位置在薄片状成形体L上沿着长边方向Y的另一方而依次移动。将未图示的线传感器照相机设置成该明部L2与暗部L 3的边界线附近成为摄像范围B。线传感器照相机的位置相对于光源是固定的，稳定地传输薄片状成形体L，且只要凹部缺陷L1F存在于摄像区域附近，就如图10(a)以及图10(c)所示，明部L2与暗部L3的边界线附近的像就相同，通过线传感器照相机取得的图像匕、63也相同。但是，如图10(b)所示，在凹部缺陷L ^立于摄像区域附近的情况下，明部L2与暗部L 3的边界线附近的像就会因该凹部缺陷L i而发生变化，其结果，通过线传感器照相机取得的图像62中，与图像G 1、G/变得不同，暗部L 3被拍摄得较大。因此，如图10(d)所示，依次合成通过线传感器照相机取得的图像，从而能够合成通过暗部表示了凹部缺陷L1的位置的检查用图像G 4。
[0005]如上所述，利用图10说明的缺陷检查的方法以稳定地传输薄片状成形体L作为前提。但是，薄片状成形体L有时会在传输中不稳定，不可能做到完全稳定的传输。如果薄片状成形体L在传输中有变化，则该薄片状成形体L与线传感器照相机以及光源之间的位置关系发生变化，因此有时无法通过上述缺陷检查的方法很好地发现缺陷。
[0006]另外，在本发明中，薄片状成形体有变化的状态是指，例如在水平方向上传输薄片状成形体的情况下，指薄片状成形体的一部分或全部在上下被激烈地晃动的状态，例如在垂直方向上传输薄片状成形体的情况下，指薄片状成形体的一部分或全部在左右被激烈地晃动的状态。
[0007]利用图11来说明薄片状成形体L有变化的情况。在图11(a)以及图11(b)中，未产生变化，与图10(a)以及图10(b)的状态相同，在图11(c)中，产生了变化。如图11(c)所示，如果薄片状成形体L有变化，则即便凹部缺陷L1不在摄像区域附近，明部L 2与暗部L3的边界线附近的像也会因薄片状成形体L的变化而发生改变，其结果，在通过线传感器照相机取得的图像65中，与图像61、62不同，有时暗部1^会被拍得较大。此时，在应该通过暗部显示凹部缺陷L1的位置的检查用图像G6中如图11(d)所示那样会产生与凹部缺陷L 1无关的暗部，有可能会错误地判断为在与凹部缺陷L1无关的位置上也存在缺陷。此外，在不同于图11的变化的状态下，当凹部缺陷L1位于摄像区域附近时，有时通过线传感器照相机取得的图像会拍到暗部L3，有可能会错误地判断为薄片状成形体L中没有缺陷。
[0008]本发明为了解决上述问题而完成，其目的在于，提供一种图像生成装置、具备该图像生成装置的缺陷检查装置以及缺陷检查方法，在生成用于检查薄片状成形体的缺陷的图像数据的图像生成装置中，能够防止因薄片状成形体的变化等而导致错误地判断缺陷的有无的状况。
[0009]本发明是一种生成用于检查薄片状成形体的缺陷的图像数据的图像生成装置，其具备:传输部，在薄片状成形体的长边方向上传输该薄片状成形体；光照射部，具备在薄片状成形体的宽度方向上直线状延伸的光源，通过该光源向薄片状成形体照射光；摄像部，对传输中的所述薄片状成形体进行摄像动作来生成表示二维图像的二维图像数据，该摄像部在该二维图像内包括与所述光源对应的明部和亮度比该明部低的暗部的位置处对薄片状成形体进行多次摄像动作；和检查用图像数据生成部，根据由所述摄像部生成的多个二维图像数据，生成检查用图像数据，所述检查用图像数据生成部包括:边界提取部，提取由各二维图像数据所表示的各二维图像内的所述明部与所述暗部的边界线部；重新提取部，连接所述边界线部后看作表观边界线，对该表观边界线进行平滑化，以使去除出现在该表观边界线中的尖锐的峰，从二维图像数据中提取平滑化之后得到的构成原来的边界线的像素；和合成部，生成由所述重新提取部所提取的像素构成的一维图像数据，同样地合成根据多个二维图像数据得到的多个一维图像数据来生成检查用图像数据。
[0010]此外，本发明提供一种缺陷检查装置，其具备:所述图像生成装置；和显示部，显示由通过所述图像生成装置的检查用图像数据生成部生成的检查用图像数据所表示的图像。
[0011]另外，本发明提供一种用于检查薄片状成形体的缺陷的缺陷检查方法，包括:摄像步骤，在通过在薄片状成形体的宽度方向上直线状延伸的光源向该薄片状成形体照射光的同时在该薄片状成形体的长边方向上传输该薄片状成形体的状态下，对该薄片状成形体进行摄像动作来生成表示二维图像的二维图像数据，在该摄像步骤中，对薄片状成形体进行多次摄像动作，以使在该二维图像内包括与所述光源对应的明部和亮度比该明部低的暗部；边界提取步骤，提取在所述摄像步骤中生成的各二维图像数据所表示的各二维图像内的所述明部与所述暗部的边界线部；重新提取步骤，连接所述边界线部后看作表观边界线，对该表观边界线进行平滑化，以使去除出现在该表观边界线中的尖锐的峰，从二维图像数据中提取平滑化之后得到的构成原来的边界线的像素；合成步骤，生成由在所述重新提取步骤中提取出的像素构成的一维图像数据，同样地合成根据多个二维图像数据得到的多个一维图像数据来生成检查用图像数据；和显示步骤，显示由在所述合成步骤中生成的检查用图像数据所表示的图像。
[0012]根据本发明，在图像生成装置中，在向传输中的薄片状成形体照射光的状态下，对该薄片状成形体进行多次摄像动作来生成多个二维图像数据。并且，提取由各二维图像数据所表示的各二维图像内的明部与暗部的边界线部。接着，连接该边界线部之后看作表观边界线，对该表观边界线进行平滑化，以使去除出现在该表观边界线中的尖锐的峰。然后，从二维图像数据中重新提取平滑化之后得到的构成原来的边界线的像素，生成由构成原来的边界线的像素形成的一维图像数据。同样地合成根据多个二维图像数据得到的多个一维图像数据来生成检查用图像数据。
[0013]在薄片状成形体中产生了缺陷的情况下，当正在稳定地传输该薄片状成形体且缺陷位于边界线部附近时，由于该缺陷，表观边界线会变成出现了尖锐的峰的翘曲的曲线。因此，平滑化该表观边界线后得到的原来的边界线不同于表观边界线。此外，在薄片状成形体重产生了缺陷的情况下，当该薄片状成形体在传输中有变化且缺陷并未位于边界线部附近时，由于该薄片状成形体的变化，表观边界线会变成坡度小的曲线。因此，平滑化该表观边界线之后得到的原来的边界线是与表观边界线大致相同的曲线或者与表观边界线相同的曲线。
[0014]因此，根据各二维图像数据生成由构成原来的边界线的像素形成的一维图像数据，合成这样得到的多个一维图像数据来作为检查用图像数据，从而能够通过明部和暗部的位置关系生成表示缺陷的位置的检查用图像数据。其结果，能够基于该检查用图像数据判断薄片状