图像生成装置、缺陷检查装置以及缺陷检查方法_3

文档序号:9204117阅读:来源:国知局
在该摄像范围内进行摄像动作,以使明部K2及与该明部K2相邻的暗部K3进入。作为图4(a)中的摄像结果的二维图像是图5(a)所示的二维图像,作为图4(b)中的摄像结果的二维图像是图6(a)所示的二维图像,作为图4(c)中的摄像结果的二维图像是图7(a)所示的二维图像。构成各二维图像的各像素被分割为在图5、图6及图7中成为X方向右侧的连续增大的整数的X坐标值、和成为Y方向下侧的连续增大的整数的Y坐标值。另外,在图5(a)、图6(a)及图7(a)中,将明部设为白色部,将暗部设为斜线部。
[0042]在边界提取步骤S2中,从图5(a)、图6(a)及图7(a)所示的各二维图像中通过边界提取部1411提取边界线部。边界线部例如是二维图像内的明部的一部分之中与该明部相邻且变化成Y坐标值比该明部大的暗部的部分。边界线部可通过现有技术中的公知的边缘提取方法提取。例如,针对二维图像中的沿着Y方向的I列像素列的数据,从Y坐标值最小的像素开始按顺序设为关注像素,当Y坐标值比该关注像素大I的像素的亮度值比该关注像素的亮度值大规定的阈值以上时,将Y坐标值比该关注像素大I的像素作为构成边界线部的像素来提取即可。以下,将这样提取的像素称作提取像素。图5(b)、图6(b)及图7(b)分别表示从图5(a)、图6(a)及图7(a)所示的各二维图像中提取出的像素所构成的边界线部。通过连接彼此相邻的像素列的边界线部,从而获得表观边界线。
[0043]在明部与暗部的边界线附近存在缺陷的情况下,这样获得的表观边界线受到该缺陷的影响,会出现尖锐的峰。重新提取步骤S3是获得去除了该缺陷的影响的构成原来的边界线的边界线部的步骤。为此,在重新提取步骤S3中,首先,平滑化表观边界线,以使表观边界线中不存在尖锐的峰。例如,将峰的高度为峰的宽度的规定倍数(例如1/2倍?2倍)以上的峰看作尖锐的峰,为了去除相应尖锐的峰,将该峰的底边的直线设为原来的边界线。在重新提取步骤S3中,从原来的二维图像数据提取这样得到的构成原来的边界线的像素。以下,将这样提取出的像素称作重新提取像素。
[0044]在明部与暗部的边界线附近不存在缺陷的情况下,在边界提取步骤S2中得到的表观边界线中不会出现尖锐的峰,在重新提取步骤S3中得到的原来的边界线与在边界提取步骤S2中得到的表观边界线相同。因此,当在明部与暗部的边界线附近不存在缺陷且在边界提取步骤S2中得到的表观边界线中不存在尖锐的峰的情况下,实质上也可以跳过重新提取步骤S3。
[0045]在图5 (b)、图6 (b)、以及图7 (b)中分别用双点划线表示表观边界线j2、j3。图5(b)所示的边界线么是直线,图7(b)所示的边界线j 3是无尖锐的峰的坡度小的曲线。因此,关于图5(a)所示的二维图像以及图7(a)所示的二维图像,在重新提取步骤S3中无须进行像素的重新提取,构成表观边界线的像素就是构成原来的边界线的像素。相对于此,图6(b)所示的边界线j2是具有尖锐的峰的翘曲的曲线。将该翘曲的边界线j2平滑化之后的曲线是图6(b)中用虚线表示的直线j4。因此,针对X坐标值I?4以及8?10,原来的边界线与原是表观边界线的j2相同,针对X坐标值5?7,原来的边界线是直线j 4。在重新提取步骤S3中,从原来的二维图像数据提取所得到的构成原来的边界线的像素的数据。图6(c)表示从图6(a)所示的二维图像内提取出的重新提取像素。重新提取像素之中,X坐标值5?7的像素对应于因包含在原来的二维图像数据中的缺陷部而翘曲的边界线部,具有亮度比其他像素暗的亮度值。
[0046]在合成步骤S4中,从在重新提取步骤S3通过重新提取部1412从各二维图像内提取出的重新提取像素之中,通过合成部1413生成表示一维图像的一维图像数据。一维图像数据是使重新提取像素的X坐标值和亮度值建立了对应关系的图像数据。图5 (c)、图6 (d)及图7(c)表示与图5(a)、图6(a)及图7(a)所示的各二维图像对应的一维图像。
[0047]另外,在合成步骤S4中,合成同样从多个二维图像数据中得到的多个一维图像数据来生成检查用图像数据。合成是按照如下方式进行的,即:使与通过摄像部13先生成的二维图像数据对应的一维图像数据具有小的Y坐标值、与通过摄像部13后生成的二维图像数据对应的一维图像数据具有大的Y坐标值,且各一维图像数据的X坐标值不变,在Y方向上连续地配置并组合多个一维图像数据。图8表示检查用图像,该检查用图像是由检查用图像数据所表示的,该检查用图像数据是根据表示图5 (c)、图6 (d)及图7 (c)所示的一维图像的一维图像数据进行合成的。
[0048]在合成步骤S4中,也可以对各一维图像数据进行2值化。成为2值化的阈值的亮度值被设定成一维图像数据所表示的一维图像内的明部的像素和暗部的像素在2值化之后变成互不相同的值。例如,2值化的阈值是该一维图像数据中的最大亮度值和最小亮度值的相加平均值。在进行2值化的情况下,对各一维图像数据进行2值化之后,进行检查用图像数据的合成。另外,2值化的顺序并不限于上述的顺序,也可以是合成一维图像数据之后对该合成之后的二维图像数据进行2值化,从而生成检查用图像数据。
[0049]在显示步骤S5中,使显示部21显示由检查用图像数据表示的检查用图像。例如,使显示部21将检查用图像显示成基于各像素的亮度值而暗部变黑、明部变白的方式。
[0050]根据这种由缺陷检查装置100实施的包括各步骤SI?S5的缺陷检查方法,在薄片状成形体K中产生了凹部缺陷1的情况下,如图4(b)所示,当稳定地传输该薄片状成形体K且凹部缺陷位于边界线部附近时,通过该凹部缺陷K1,如图6 (b)所示那样表观边界线变成翘曲的曲线j2。因此,构成使该边界线j2平滑化之后的直线j4的二维图像内的像素如图6(c)所示那样包括暗部。此外,在薄片状成形体K中产生了凹部缺陷&的情况下,如图4 (c)所示,当该薄片状成形体K在传输中有变化且凹部缺陷K1不位于边界线部附近时,因该薄片状成形体K的变化,如图7(b)所示,表观边界线j/变成坡度小的曲线。因此,使该边界线」3平滑化之后的曲线是与边界线j 3几乎相同的曲线或与边界线j 3相同的曲线,与该曲线对应的二维图像内的像素不会离作为明部的一部分的边界线部太远,与图7(b)所示的结果相同。因此,根据这些各部分来生成图6(d)以及图7(c)所示的各一维图像数据,合成多个一维图像数据来设为检查用图像数据,从而能够生成通过暗部表示缺陷的位置的检查用图像数据。其结果,通过观察基于该检查用图像数据显示的图8所示的检查用图像,能够判断有无缺陷,能够防止因薄片状成形体K有变换等而导致错误地判断有无缺陷的状况。
[0051]以下,更详细说明缺陷检查装置100。图1以及图2所示的传输部11是在Y方向上传输隔着一定宽度沿Y方向连续的薄片状成形体K的装置。传输部11例如具备在Y方向上传输薄片状成形体K的送出辊和接收辊,可通过旋转编码器等来测量传输距离。传输部11在Y方向上传输薄片状成形体K的传输速度例如被设定为2m/分?30m/分。
[0052]光照射部12具备在与Y方向正交的方向即X方向上延伸的直线状的光源、和进行固定以使该光源的位置相对于传输部11的送出辊以及接收辊成为固定位置的未图示的固定部件。光源被配置成以薄片状成形体K为基准,能够在与摄像部13相同的一侧或与摄像部13相反的一侧向该薄片状成形体K的表面照射光。光源被配置成至薄片状成形体K的表面中的明部的距离为例如200mm。作为光源,只要是金属卤化物灯、卤素传输灯、荧光灯等发出不会影响薄片状成形体K的组成以及性质的光的灯即可,没有特别限定。
[0053]光照射部12也可以具备在光源与薄片状成形体K之间配置的缝隙部件。缝隙部件例如是在由树脂构成的具有透光性的板状基底中,具有遮光性且在X方向上延伸的带状的遮光区域部沿着Y方向隔着规定间隔而形成的部件。光照射部12具备这种缝隙部件的情况下,在薄片状成形体K的表面能够形成在X方向上延伸的明部和暗部交替地重复的明暗图案,利用该明暗图案,能够生成检查用图像
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