图像生成装置、缺陷检查装置以及缺陷检查方法_2

文档序号:9204117阅读:来源:国知局
成形体有无缺陷,能够防止因薄片状成形体的变化等而导致错误地判断缺陷的有无的状况。
[0015]此外,根据本发明,缺陷检查装置具备所述本发明所涉及的图像生成装置和显示部。显示部显示由通过图像生成装置的检查用图像数据生成部生成的检查用图像数据所表示的图像。通过显示部观察基于检查用图像数据显示的图像,从而能够判断有无缺陷,能够防止因薄片状成形体的变化等而导致错误地判断缺陷的有无的状况。
[0016]另外,根据本发明,在缺陷检查方法中,在摄像步骤中,在向传输中的薄片状成形体照射光的状态下,对该薄片状成形体进行多次摄像动作来生成多个二维图像数据。并且,在边界提取步骤中,提取由各二维图像数据表示的各二维图像内的明部与暗部的边界线部。接着,在重新提取步骤中,连接该边界线部后看作表观边界线,对该表观边界线进行平滑化,以使去除出现在该表观边界线中的尖锐的峰。然后,从二维图像数据中重新提取平滑化之后得到的构成原来的边界线的像素。然后,在合成步骤中,生成由构成原来的边界线的像素形成的一维图像数据,同样地合成根据多个二维图像数据得到的多个一维图像数据,生成根据明部和暗部的位置关系表示缺陷的位置的检查用图像数据,在显示步骤中显示由检查用图像数据表示的图像。通过观察在显示步骤中显示的基于检查用图像数据表示的图像,能够判断有无缺陷,能够防止因薄片状成形体的变化等而导致错误地判断缺陷的有无的状况。
【附图说明】
[0017]图1是表示本发明所涉及的缺陷检查装置100的立体图。
[0018]图2是表示本发明所涉及的缺陷检查装置100的框图。
[0019]图3是表示本发明所涉及的缺陷检查方法的步骤图。
[0020]图4是表示薄片状成形体K的样子的图。
[0021]图5是表示通过对薄片状成形体K进行拍摄而得到的图像的图。
[0022]图6是表示通过对薄片状成形体K进行拍摄而得到的图像的图。
[0023]图7是表示通过对薄片状成形体K进行拍摄而得到的图像的图。
[0024]图8是表示通过对薄片状成形体K进行拍摄而得到的图像的图。
[0025]图9是用于说明重新提取部1412的处理的具体例的图。
[0026]图10是用于说明通过线传感器照相机检查有无薄片状成形体L中产生的点状凹部缺陷的方法的一例的图。
[0027]图11是用于说明薄片状成形体L有变化的情况的图。
【具体实施方式】
[0028]以下,说明本发明所涉及的图像生成装置、缺陷检查装置以及缺陷检查方法。图1是表示本发明所涉及的缺陷检查装置100的立体图。图2是表示本发明所涉及的缺陷检查装置100的框图。图3是表示本发明所涉及的缺陷检查方法的步骤图。缺陷检查装置100是用于检查薄片状成形体的缺陷的装置,是能够实施用于检查该缺陷的方法、即本发明所涉及的缺陷检查方法的装置。作为薄片状成形体,缺陷检查装置100例如能检查偏振薄膜、相位差薄膜等光学薄膜,尤其适合卷成筒状(web)来保管及输送的长条状光学薄膜的检查。
[0029]薄片状成形体例如由热塑性树脂等树脂构成。作为由树脂构成的薄片状成形体,例如可列举使从挤压机压出的热塑性树脂经过辊的间隙来对表面实施平滑化和赋予光泽的处理,通过领取辊冷却传输辊上的同时进行领取,从而成形的成形体。成为薄片状成形体的材料的热塑性树脂例如有甲基丙烯酸树脂、甲基丙烯酸甲酯-苯乙烯共聚物、聚乙稀、聚丙烯等聚烯烃、聚碳酸酯、聚氯乙烯、聚苯乙烯、聚乙烯醇、三乙酰纤维素树脂等。薄片状成形体可仅由这些热塑性树脂中的一种构成,也可层叠这些热塑性树脂的多个种类而构成。
[0030]薄片状成形体可具有任意的厚度。例如,薄片状成形体可具有偏振薄膜或相位差薄膜等一般被称为“薄膜”的比较薄的厚度,也可具有一般被称为“板”的比较厚的厚度。
[0031]作为这种薄片状成形体的缺陷的例,可列举在成形时产生的气泡、鱼眼状斑瑕、异物、胎印、打痕、瑕疵等点状缺陷(点缺陷)、因折叠痕迹等产生的所谓的弯曲处(knick)、因厚度不同而产生的所谓的原抗线等线状缺陷(线缺陷)。
[0032]如图1以及图2所示,缺陷检查装置100具备本发明所涉及的图像生成装置I和显示部21。缺陷检查装置100的图像生成装置I具备:将薄片状成形体K在其长边方向(以下称作“Y方向”)的一个方向上传输的传输部11 ;在薄片状成形体K的宽度方向(以下称作“X方向”)上具有直线状延伸的光源的光照射部12 ;对薄片状成形体K进行摄像动作来生成表示二维图像的二维图像数据的摄像部13 ;和信息处理装置14。信息处理装置14具有检查用图像数据生成部141,该检查用图像数据生成部141包括边界提取部1411、重新提取部1442和合成部1413。信息处理装置14还具有控制传输部11的动作的未图示的传输控制部。信息处理装置14可通过PC(Personal Computer)等来实现。另外,信息处理装置14中的检查用图像数据生成部141也可通过FPGA (Field-programmable gate array)、GPGPU(General-purpose computing on graphics processing units)等图像处理板或摄像部13的内部硬件来实现。
[0033]如图3所示,本发明所涉及的缺陷检查方法包括摄像步骤S1、边界提取步骤S2、重新提取步骤S3、合成步骤S4和显示步骤S5。
[0034]在摄像步骤SI中,在通过光照射部12的光源向薄片状成形体K照射光的同时,通过传输部11在Y方向的一个方向上传输薄片状成形体的状态下,由摄像部13对薄片状成形体K进行多次摄像动作,以使在二维图像内包含与光照射部12的光源对应的明部和亮度比该明部低的暗部。
[0035]边界提取步骤S2是通过边界提取部1411提取边界线部的步骤,该边界线部包括由摄像步骤SI中通过摄像部13生成的各二维图像数据表示的各二维图像内的从明部变到暗部的边界线部、或、从暗部变到明部的边界线部。
[0036]重新提取步骤S3是通过重新提取部1412以连接在边界提取步骤S2中得到的边界线部而看作表观边界线且不存在该表观边界线中出现的尖锐的峰的方式使该表观边界线平滑化,从二维图像数据提取平滑化之后得到的构成原来的边界线的像素的步骤。
[0037]合成步骤S4是通过合成部1413生成在重新提取步骤S3中由重新提取部1412提取出的像素所构成的一维图像数据,且同样合成从多个二维图像数据中得到的多个一维图像数据,生成根据亮度变化来表示凹部缺陷或凸缺陷的位置的检查用图像数据的步骤。例如,在从明部变到暗部时的边界线部中,作为亮度暗的部位而表示凹部缺陷的位置。
[0038]显示步骤S5是在显示部21显示在合成步骤S4中由合成部1413生成的检查用图像数据所表示的检查用图像的步骤。
[0039]利用图4?图8来说明各步骤SI?S5。图4是表示薄片状成形体K的样子的图,图5?图8是表示通过对薄片状成形体K进行的拍摄而得到的图像的图。如图4所示,假设在薄片状成形体K中产生了点状凹部缺陷I。此外,假设按照图4 (a)、图4 (b)、图4 (c)所示的顺序在Y方向的一个方向上传输薄片状成形体K。
[0040]如图4(a)所示,在X方向上直线状延伸的光照射部12的光源使薄片状成形体K上产生在X方向上直线状延伸的明部1(2和亮度比该明部K 2低的暗部K 3。明部1(2直线状延伸是指正在稳定地传输薄片状成形体K,且薄片状成形体K无变化,而且凹部缺陷K1不在明部1(2附近。如图4(b)所示,如果凹部缺陷1^位于明部1(2的附近,则明部1(2不会是直线状。图4 (C)不同于图4 (a)以及图4 (b),表示在传输中薄片状成形体K有变化,此时虽然凹部缺陷K1不位于明部K 2附近,但是由于薄片状成形体K有变化,因此明部K 2不是直线状。
[0041]图4所示的双点划线A表示摄像部13的摄像范围。在摄像步骤SI中,摄像部13
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