电接触装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种电接触装置，用于测试件、尤其是晶片沿接触方向进行的 电物理接触，其具有至少一个与测试装置电连接的导体基板，至少一个接触间隙变 换器（Kontaktabstandstransformer)和至少一个具有电接触元件、特别是弹性接 触元件并优选用于补偿沿接触方向特别是在接触元件中形成的不同物理接触间隙 (Beruhrungskontaktabstanden )的接触头（Kontaktkopf) 〇
【背景技术】
[0002] 由专利文献US5952843A已知一种开始部分所述类型的电接触装置。该电接触装 置具有导体基板，该导体基板与接触间隙变换器电配合地起作用，接触间隙变换器与接触 头电连接，通过接触头可以实现对电测试件的测试。为此将接触头的接触元件在物理接触 中放置在相应的测试件触点上。借助与导体基底电连接的测试装置来接通测试电路，以检 查测试件的电气性能。这种已知的接触装置的应用范围是有限的，特别是在测试件的测试 件触点的接触位置非常狭小的情况下。
【发明内容】
[0003] 因此，本发明的目的在于提出一种开始部分所述类型的电接触装置，其能够适用 于多个方面。特别是该电接触装置甚至能够毫无问题地使用在测试件触点的接触位置非常 狭小的情况下。
[0004] 考虑到开始部分所述类型的电接触装置，本发明的目的通过在导体基底和接触间 隙变换器之间设置接触头来实现。在本发明中是通过接触间隙变换器来实现对测试件的物 理接触的。根据接触头的设计，特别是与其接触元件的设计相关的，对接触元件的（特别是 基于不平整、偏斜等的）不同物理接触间隙的补偿需要相应的结构空间，该结构空间在本 发明中是存在的，因为从导体基底沿朝向测试件的方向看，接触路径在它们之间具有足够 的间隙，因为接触路径只有在沿朝向测试件的方向连接在接触头上的接触间隙变换器中才 会实质地缩小。例如，如果在测试件和接触装置之间存在偏斜，则对这种偏斜、即由此所导 致的不同大小的物理接触间隙的补偿必须不是在极狭小的空间中进行，而是在接触间隙的 区域内或者是在大于测试件接触间隙的接触间隙区域内进行，因为在接触头和测试件之间 仍然存在接触间隙变换器，其用于减小沿朝向测试件方向的接触间隙。
[0005] 根据本发明的一种扩展方案，将接触元件设计为基本上沿接触方向有弹性的或基 本上沿接触方向弹性作用的弹性接触元件。如果该接触元件是沿接触方向或大约沿接触方 向伸展的接触元件，特别优选是所谓的弯曲导线（KnickdrShte )，那么基于本发明和由此 出现的接触元件的相对较大的间隙，就不必担心它们相互接触，特别是在它们被设计为非 绝缘弯曲导线的情况下，从而不再担心电气短路。
[0006] 根据本发明，在不损伤被设计为弹性接触元件的接触元件的弹性效应的情况下， 可以对（沿轴向方向，即接触方向）形成的物理接触间隙进行相对较大的补偿。由此可以实 现相应较大的弹性距离（Federwege)，却不会存在上述的短路风险。此外，接触元件根据本 发明也可以被构造为足够稳定的，从而能够（特别是通过接触间隙变换器）进入安全的物 理接触状态，因为基于这种稳定的结构将有相应较高的弹力起作用，即，任何的物理接触均 可以通过相应较大的接触力来实现，从而允许安全的接触。此外，根据本发明的接触元件的 这种相对稳定的结构容许相应较高的电流负载，其不会导致过热并因此导致测量误差。如 果根据现有技术使用厚的接触元件，这种接触元件具有相应较低的自身电阻并带来足够的 接触力，因此它们都必然相对较短，从而使得可实现的弹性距离往往不够大。所有这些限制 性的参数和由此带来的缺点在本发明中均不存在。
[0007] 根据本发明的一种扩展方案，在接触间隙变换器上可移动地保持有用于测试件的 电物理接触的测试触点，或者将用于测试件的电物理接触的测试触点固定在接触间隙变换 器上，在此，各个测试触点被构造为刚性测试触点或弹性测试触点，特别是被构造为沿接触 方向的刚性测试触点或沿接触方向有弹性的或在接触方向上弹性作用的测试触点。测试触 点的可移动性使得例如能够在物理接触时更好地补偿较小的不平整度。优选能够简单地将 可移动地所保持的测试触点从接触间隙变换器上取下，以便能够在发生故障的情况下将它 们替换成新的测试触点。前述可选的固定测试触点不具有上述可移动性。测试触点可以被 构造为刚性测试触点或弹性测试触点。在刚性测试触点中，不需要对不平坦等进行补偿。弹 性测试触点可以在物理接触过程中针对相对较小的不平整度等进行补偿。
[0008] 总体而言，对于本发明的所有不同的实施方式来说重要的是：明显的，即较大的物 理接触间隙通过接触头来补偿，而没有或基本只是相对明显较小的物理接触间隙差则通过 接头间隙变换器补偿。例如，测试件和接触装置之间的偏斜基本上是通过接触头来补偿。相 比之下，只有相应较小的物理接触间隙不平坦才通过接触间隙变换器来补偿。根据结构形 式，物理接触间隙可能存在于导体基板与接触头之间、存在于接触头与接触间隙变换器之 间和/或存在于接触间隙变换器和测试件之间。
[0009] 根据本发明的一种扩展方案，接触元件与测试触点发生物理接触，或者接触元件 通过不可松脱的连接与测试触点电连接，或者接触元件和测试触点彼此一体化地构成。如 果存在所提到的物理接触，则接触装置具有该物理接触和另外的物理接触，即，接触间隙变 换器和测试件之间的物理接触。另一个物理接触可能存在于接触头和导体基板之间。不可 松脱地彼此连接的接触元件和测试触点构成一个单元，这是例如通过粘接，钎焊，焊接、特 别是冷焊造成的。另一种值得提及的替代的方式是接触元件与测试触点的一体化，这特别 是提供了很低阻抗的电路。
[0010] 优选地，接触间隙变换器借助于弹性支承件被沿接触方向有弹性地设置或基本上 沿接触方向有弹性地设置，或者接触间隙变换器借助于导向支承件被沿接触方向可移动地 设置或基本上沿接触方向可移动地设置，并通过基本上沿接触方向有弹性的或基本上沿接 触方向弹性作用的弹性接触元件被弹性地支承。附加地或替代地，借助于导向支承件可移 动设置的接触间隙变换器也可以通过单独的弹性装置被弹性地支承。在通过弹性支承件或 通过导向支承件的这两种情况下，接触间隙变换器均能够相对于接触头实现沿接触方向或 基本沿接触方向的可能的移动。与之相反的是，接触头优选被静止地设置。导体基板优选 同样被静止地设置。特别是用于实施物理接触的测试件沿朝向电接触装置的方向移动，直 至该物理接触发生。替代地，电接触装置也可以沿朝向静止设置的测试件的方向移动。第 三种可能是电接触装置和测试件彼此相对行进。导向支承件本质上也是一种弹性支承件， 其可以这样形成：接触装置虽然只是通过导向支承件移动，即不能相对于内部供给弹性支 承件的弹力移动，但是弹性接触元件沿接触方向与接触间隙变换器一起弹性地作用，由此 使得接触间隙变换器沿导向支承件的移动路线同样获得弹性属性，和/或提供单独的弹性 装置。
[0011] 根据本发明的一种扩展方案，设有用于接触间隙变换器的定中心装置 (Mittenzentriervorrichtung)。这意味着，即使例如发生温度波动或测试件在不同的温度 下进行测试，测试触点的布局的中心或大致的中心也将保持其相对于测试件和/或接触头 的位置，因为由于温度影响所发生的膨胀或变形在上述部件的表面上有鉴于该定中心装置 只能从中心开始起作用，并因此在大多数情况下轻微地发生在外表，因此不会危及与测试 件和/或接触头的电接触。
[0012] 特别是可以设置为，使弹性支承件或导向支承件与用于接触间隙变换器的定中心 装置一起构成。由此可以使结构紧凑、简单。
[0013] 在本发明的另一种扩展方案中，弹性支承件具有至少一个片簧元件。该片簧元件 允许沿接触方向或基本沿接触方向弹性作用地支承接触间隙变换器。
[0014] 特别优选弹性元件具有片状表面，其相对于（轴线）接触方向横向地、特别是成直 角地或基本成直角地延伸。由此使得沿接触方向或大致沿接触方向形成弹性效应。
[0015] 根据本发明的一种扩展方案，片簧元件被设置为，通过第一端部区域可移动地插 入到位于接触间隙变换器侧面上的侧向凹槽中，而片簧元件的另一