传感器芯片可以这样布置在传感器载体上或者说传感器载体中，使得它垂直于局部的主流动方向定向。例如传感器芯片可以矩形地构型，其中，该矩形的一个侧垂直或者基本上垂直于局部的主流动方向地布置，例如以与垂直线偏差不大于10度的方向布置。
[0023]传感器芯片可以通过至少一个电连接装置电接触。例如传感器载体、尤其构成传感器载体的电路板或者该电路板的突起可以具有一个或多个条形导体和/或接触垫，所述条形导体和/或接触垫与在传感器芯片上的相应的触点例如通过键合方法连接。在这种情况下，电连接装置可以通过至少一个保护层保护并且与流体介质分开。该保护层尤其可以构型为所谓的顶部包封(Glob-Top)，例如构型为塑料滴和/或胶粘剂滴，所述塑料滴和/或胶粘剂滴覆盖电连接装置(例如键合线)。以此方式尤其也可以减小电连接装置对流动的影响，因为顶部包封具有平坦的表面。
[0024]此外，传感器芯片可以具有至少一个传感器区域。该传感器区域可以例如是由例如多孔的陶瓷材料组成的传感器表面和/或尤其是传感器膜。作为测量表面或者传感器区域的传感器膜可以被流动的流体介质淹没流过。传感器芯片包括例如至少一个加热元件以及至少两个温度传感器，所述温度传感器例如布置在传感器芯片的测量表面上，其中，一个温度传感器支承在加热元件上游并且另一个温度传感器支承在加热元件下游。由被温度传感器所感测的、被流体介质的流动所影响的温度曲线轮廓的非对称性能够推断出流体介质的质量流和/或体积流。
[0025]本发明的基本构想是在传感器芯片的直接邻近处安装电极。在此，这样安装电极，使得通过电接触连接合适的电势(例如传感器地电势)。由此，可以实现这样的区域，所述区域达到所定义的、合适的电势，例如传感器地电势，由此已有的电场线可以这样弯曲，使得从旁飞过的微粒在其由动能和电场所确定的飞行轨迹中以有利的方式偏转。由于电极布置在塑料中或者说布置在塑料表面下方，不可能发生如在DE 102010020264A1中的表面放电。取而代之地，力求通过引入所定义形状的和所定义电势的电极屏蔽可能存在的外部电场或者说这样影响可能存在的电场线，使得装载的微粒由其动能并且不由静电场力控制，然而在DE 102010020264A1中微粒应出现在电条形导体上并且在那里放电。
【附图说明】
[0026]本发明的其它可选的细节和特征由优选实施例的以下说明中得出，这些实施例在附图中示意性地示出。附图示出:
[0027]图1根据本发明的第一实施方式的传感器的俯视图，
[0028]图2电子部件模块的立体视图，
[0029]图3根据本发明的第二实施方式的传感器的俯视图，
[0030]图4根据本发明的第三实施方式的传感器的俯视图，和
[0031]图5根据本发明的第四实施方式的传感器的俯视图。
【具体实施方式】
[0032]图1示出用于确定流体介质的参数的传感器10的立体视图。传感器10构型为热膜式空气质量测量仪并且包括构造为插式传感器的传感器壳体12，所述传感器壳体例如可以插入到流动管中、尤其是内燃机的进气管段中。传感器壳体12由塑料制成。传感器壳体12具有壳体本体14、测量通道盖16、电子部件空间18以及用于封闭电子部件空间18的电子部件空间盖20。在传感器壳体12中构造通道结构22。通道结构22具有主通道24以及从主通道24分岔出的支路通道或者测量通道30，该主通道根据传感器壳体12在图1中的图示与底侧28上的主流出口 26相通，所述支路通道或者测量通道与布置在传感器壳体12的端侧32上的支路通道出口或者测量通道出口 34相通。通过通道结构22，典型数量的流体介质可以流动经过流入开口 36，所述流入开口在使用状态下反向于在传感器壳体12的位置上的流体介质的主流动方向38指向。传感器10另外具有电子部件模块40。
[0033]图2示出电子部件模块40的立体视图。电子部件模块40具有传感器载体41。在电子部件模块40装入的状态下，即使该布置在附图中未明确地示出，传感器载体41以侧翼形式伸进测量通道30中。传感器芯片42这样装入所述传感器载体41中，使得构造为传感器芯片42的传感器区域的微机械的传感器膜可以被流体介质淹没流过。传感器载体41与传感器芯片42为电子部件模块40的组成部分。电子部件模块40此外具有弯曲的底板43以及安装、例如粘贴在其上的具有控制和分析评估电路46的电路板44。传感器芯片与控制和分析评估电路46通过可以构型为线键合的电连接装置47电连接。这样产生的电子部件模块40被安装(例如粘贴)到在传感器壳体12的壳体本体14中的电子部件空间18中。在此，传感器载体41伸进通道结构22中并且更准确地伸进测量通道30中。接着，电子部件空间18被电子部件空间盖20封闭。
[0034]此外，传感器10具有至少一个电极48，所述电极这样布置在传感器壳体12中，使得电极48被传感器壳体12的塑料覆盖。如从图1可看出的那样，第一实施方式的传感器10具有第一电极48，该第一电极布置在测量通道30的区域中。在此，电极48被传感器壳体12的塑料涂覆。优选电极48置入塑料中，关于流体介质在测量通道30中的主流动方向50，第一电极48布置在传感器芯片42上游。第一电极48借助于条形导体52与固定电势54电连接。优选固定电势54为传感器地电势56。
[0035]图3示出根据本发明的第二实施方式的传感器10的俯视图。以下仅仅说明相对于以上的实施方式的区别并且相同的构件设有相同的附图标记。在第二实施方式的传感器10中，第一电极48平行于测量通道30延伸。例如第一电极48布置在测量通道28的背离电子部件空间18的壁58上。
[0036]图4示出根据本发明的第三实施方式的传感器的俯视图。以下仅仅说明相对于以上的实施方式的区别并且相同的构件设有相同的附图标记。在第三实施方式的传感器10中，除了第一电极48之外，第二电极60布置在主通道24的区域中，该第二电极借助于条形导体62与第一电极48连接并且因此与传感器地电势56连接。
[0037]图5示出根据本发明的第四实施方式的传感器的俯视图。以下仅仅说明相对于以上的实施方式的区别并且相同的构件设有相同的附图标记。在第四实施方式的传感器10中，相对于以上所说明的实施方式替代地或者附加地设置第三电极64。在此，第三电极64至少部分地围绕流入开口 36布置。优选第三电极64完全地包围流入开口 36。
【主权项】
1.一种传感器(10)，其用于确定流过测量通道(30)的流体介质的至少一个参数、尤其是内燃机的进气质量流的至少一个参数，其中，所述传感器(10)具有传感器壳体(12)，尤其是安装或者能够放入到流动管中的插式传感器，在所述传感器壳体中构造一具有主通道(24)和测量通道(30)的通道结构(22)，所述传感器还具有至少一个布置在所述测量通道(30)中的传感器芯片(42)，所述传感器芯片用于确定所述流体介质的参数，其中，所述传感器壳体(12)至少部分地由塑料制造， 其特征在于， 所述传感器(10)具有至少一个电极(48，60，64)，所述电极在所述传感器壳体(12)中布置为使得所述电极(48，60，64)被所述塑料覆盖。2.根据权利要求1所述的传感器(10)，其中，所述电极(48，60，64)被用所述塑料涂层。3.根据权利要求1或2所述的传感器(10)，其中，所述电极(48，60，64)被嵌入所述塑料中。4.根据前述权利要求中任一项所述的传感器(10)，其中，一第一电极(48)布置在所述测量通道(30)的区域中。5.根据权利要求4所述的传感器(10)，其中，所述第一电极(48)关于所述流体介质在所述测量通道(30)中的主流动方向(50)布置在所述传感器芯片(42)上游。6.根据权利要求4所述的传感器(10)，其中，所述第一电极(48)平行于所述测量通道(30)延伸。7.根据前述权利要求中任一项所述的传感器(10)，其中，一第二电极￠0)布置在所述主通道(24)的区域中。8.根据前述权利要求中任一项所述的传感器(10)，其中，所述传感器壳体(12)具有到所述通道结构(22)中的入口(34)，所述入口反向于在所述传感器(10)的位置上的所述流体介质的主流动方向(38)指向，其中，一第三电极(64)围绕所述入口(34)布置。9.根据前述权利要求中任一项所述的传感器(10)，其中，所述电极(48，60，64)与固定电势(54)电连接。10.根据前述权利要求中任一项所述的传感器(10)，其中，所述固定电势为所述传感器接地(56)。
【专利摘要】本发明提出一种传感器(10)，其用于确定流过测量通道(30)的流体介质的至少一个参数、尤其是内燃机的进气质量流的至少一个参数，其中，所述传感器(10)具有传感器壳体(12)，尤其是安装或者能够安装到流动管中的插式传感器，具有主通道(24)和测量通道(30)的通道结构(22)构造在所述传感器壳体中，并且所述传感器还具有至少一个布置在所述测量通道(30)中的、用于确定所述流体介质的参数的传感器芯片(42)。所述传感器壳体(12)至少部分地由塑料制造。所述传感器(10)具有至少一个电极(48，60，64)，所述电极这样布置在所述传感器壳体(12)中，使得所述电极(48，60，64)被所述塑料覆盖。
【IPC分类】G01N33/00
【公开号】CN105319326
【申请号】CN201510469063
【发明人】U·康策尔曼, E·左默, A·马尔科夫
【申请人】罗伯特·博世有限公司
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2015年8月3日
【公告号】DE102014215209A1