光学滤光片高精度透过率测试装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明属于微光技术领域，特别是一种光学滤光片高精度透过率的测试装置。
【背景技术】
[0002] 光谱透过率是光学滤光片滤光特性的重要参数。如何精确地测定滤光片的光谱透 过率，可有效地指导滤光片的制备工艺，也在一定程度上提高了日盲紫外探测器件的实用 性。根据高测试精度的需要，且经滤光片衰减过后的光信号是极其微弱的，所以该套测试装 置对抑制杂散光的要求较高。
[0003]目前，国内对光学滤光片0D值大于10的透过率测试装置没有相关的报道，更没有 提及其光谱透过率的测试装置。
【发明内容】
[0004] 本发明的目的在于提供一种光学滤光片高精度透过率测试装置，用于测试光学滤 光片光谱透过率，其可探测出滤光片0D值为12的透过率。
[0005] 实现本发明目的的技术解决方案为：一种光学滤光片高精度透过率的测试装置， 包括激光栗浦宽带光源、光调制器、双级联单色仪系统、光准直系统、测试暗箱、紫外可见光 电倍增管、高压电源模块、光电信号处理模块、锁相放大器和工控计算机，所述紫外可见光 电倍增管和被测滤光片均设置在测试暗箱内，且被测滤光片位于光准直系统和紫外可见光 电倍增管之间；
[0006] 激光栗浦宽带光源产生白光经光调制器调制成具有固定频率的光信号，经双级联 单色仪系统的光栅产生纯净的单色光，单色光入射至光准直系统转变为准平行、小束径的 单色光，再入射至被测滤光片；经被测滤光片衰减后的单色光入射至紫外可见光电倍增管， 在高压电源模块的作用下经光电转换成放大的光电流信号；再在信号处理模块中对光电倍 增管输出的光电流信号进行滤波放大地处理后送入锁相放大器进行相敏检测得到稳定的 电压信号；工控计算机根据锁相放大器得到的电压信号值确定透过的光功率值，与原始的 光功率之比即为被测滤光片的透过率。
[0007] 本发明与现有技术相比，其显著优点为：
[0008] (1)本发明采用高稳定性、高亮度的光源，弥补单光束测量技术的不足；
[0009] (2)本发明在单色仪入光口和出光口分别装有特定截止波长的高通滤光片，可有 效地降低了单色仪的杂散光，从而满足了高精度光谱透过率的测试要求；
[0010] (3)本发明首次提出了光学滤光片高精度透过率的测试装置，其极限探测0D值高 达12,填补了国内光学滤光片高精度光谱透过率测试装置的空白。
【附图说明】
[0011] 图1为本发明光学滤光片高精度透过率测试装置的结构示意图。
[0012] 图2为本发明实施方式中滤波片透过率测试曲线图。
【具体实施方式】
[0013] 光谱透过率是光学滤光片滤光特性的重要参数。如何精确地测定滤光片的光谱 透过率，可有效地指导滤光片的制备工艺，也在一定程度上提高了日盲紫外探测器件的实 用性。为了精确地探测出紫外可见光范围内滤光片的光谱透过率，本发明提出了一种用于 200~600nm光谱范围内的光学滤光片高精度透过率测试装置。
[0014] 结合图1，测试装置包括激光栗浦宽带光源1、光调制器2、双级联单色仪系统3、光 准直系统4、测试暗箱5、紫外可见光电倍增管6、高压电源模块7、光电信号处理模块8、锁相 放大器9以及工控计算机10 ;被测滤光片设置在测试暗箱5内，且位于光准直系统4的发 射光路上；
[0015] 激光栗浦宽带光源1产生白光经光调制器2调制成具有特定频率的光信号，经双 级联单色仪系统3的光栅产生纯净的单色光，单色光入射至光准直系统4转变为准平行、小 束径的单色光，再入射至被测滤光片；经被测滤光片衰减后的单色光入射至紫外可见光电 倍增管6,在高压电源模块7的作用下经光电转换成放大的光电流信号；再在信号处理模块 8中对光电倍增管输出的光电流信号进行滤波放大地处理后送入锁相放大器9进行相敏检 测得到稳定的电压信号；工控计算机根据锁相放大器得到的电压信号值得到透过的光功率 值，与原始的光功率之比即为被测滤光片的透过率。
[0016] 激光栗浦宽带光源1采用的是美国Rnergetig公司生产的型号为LDLS EQ-99白 光光源；该宽带白光光源采用激光栗浦的方式维持等离子体放电发光，避免了使用电极所 带来的缺陷；首先通过高压放电点燃灯泡内的氙气，使氙气温度升高电离变成等离子体，连 续激光光束经过透镜聚焦进入灯泡，利用激光的能量来维持灯泡内的等离子体，此时高压 即可关闭，采用聚焦良好的激光来维持等离子体，可以使紫外光激发稳定而且易于聚焦；因 此可以产生系统测试时所需的高亮度、高稳定性的白光。
[0017] 光调制器2采用的是由美国斯坦福研究系统公司生产的SR540型光调制器2;其 在本装置中的作用主要是用来将光源发出的光辐射信号通过电动机调制成交变信号，从而 避免检测信号时间长而漂移，能对被测光进行调制，同时输出与调制频率同步的参考电压 方波，作为锁定放大器的参考信号。
[0018] 双级联单色仪系统3采用的是北京卓立汉光仪器有限公司生产的Omni- λ -D系列 双级联单色仪；它由两个焦距相同色散分光结构，经过特殊调校后组合而成，能够有效的改 善单台单色仪光学性能；双单色仪有色散相加和色散相减两种模式：采用色散相加模式的 双级联单色仪，能够双倍提升光谱分辨率，适合用高分辨率测量需求；采用色散相减模式， 有效地降低了单色仪的杂散光，从而能够进行更微弱信号的探测。在透过率极小的波长处， 透过的光信号极其微弱，对杂散光的要求比较高，而杂散光的来源主要是光栅的二级衍射， 所以在双级联单色仪系统3的入光口和出光口分别加了装有200nm和350nm波长的高通滤 光片的滤光片轮，控制其转动以达到消除杂散光的目的。
[0019] 紫外可见光电倍增管6采用的是由英国ETL公司生产的9924QB型紫外可见光电 倍增管6