板81下方的推拉电动件82，该推拉电动件82可拉动旋转板81的活动端向下倾斜。当第一输送通道21上的硅片运送至第二输送通道31时，控制器根据检测信号控制转动调节装置8是否向下倾斜，当检测信号为破损时，转动调节装置8向下倾斜，硅片落入到破损收集盒6中，当检测信号为正常时，转动调节装置8保持水平，硅片继续向后运送至第三输送单元4。
[0026]如图5所示，第三输送单元4包括:与第一输送通道21数量配合的第三输送通道41、与所有第三输送通道41传动连接的第三马达42，第三马达42可带动所有第三输送通道41同步运送。第三输送通道41接收第二输送通道31运送的硅片，并将硅片继续向后运送至下一工序的设备上。
[0027]如图2、3所示，本检测设备还包括:用于检测本检测设备异常或下一工序设备异常的异常检测单元和用于设备异常时收集硅片的异常收集盒7。第一输送单元2的底部设置有升降电动件23，升降电动件23可推动整个第一输送单元2升降运动，第一输送单元2底部还设有至少一个导向机构24，导向机构为导杆和套筒，其作用是使第一输送单元2的升降运送更平稳可靠。异常收集盒7设置在第一输送单元2的前端下方，当异常检测单元检测到本检测设备或下一工序的设备出现故障时，控制器接收异常检测单元发出的信号，并控制升降电动件23推动第一输送单元2升至上位，此时硅片从上一工序设备的传送带上掉落至异常收集盒7内，以便有效收集保护硅片，防止硅片在设备异常时造成损坏。
[0028]第一输送通道21由两对称设置的第一传送带组件211构成，背光源52设置在两第一传送带组件211之间的下方。第二输送通道31由两对称设置的第二传送带组件311构成，旋转板81两侧设有第四传送带组件811，旋转板81与第二输送单元3后端之间的铰接轴为传动轴，第二传送带组件311通过传动轴将动力传递至第四传送带组件811上，从而达到旋转板81的运送速度与第二输送通道31的运送速度相同。第三输送通道41也由两对称设置的第三传送带组件411构成。
[0029]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种硅片破损检测设备，其特征在于包括:机架(I)，用于依次向后输送硅片的第一输送单元(2)、第二输送单元(3)和第三输送单元(4)，用于检测娃片破损的破损检测单元(5)，用于收集破损硅片的破损收集盒(6)，用于控制第一输送单元(2)、第二输送单元(3)和第三输送单元(4)运行状态的控制器； 所述破损检测单元(5)与第一输送单元位置(2)配合，所述第二输送单元(3)的后端可向下倾斜转动，所述破损收集盒(6)设于第二输送单元(3)的后端下方，所述控制器接收破损检测单元(5)的检测信号，并控制第二输送单元(3)后端是否向下倾斜。2.如权利要求1所述的硅片破损检测设备，其特征在于，还包括:用于检测本检测设备异常或下一工序设备异常的异常检测单元、用于设备异常时收集硅片的异常收集盒(7)，所述异常收集盒(7)设于第一输送单元(2)的前端下方，所述第一输送单元(2)可升降运动，所述控制器接收异常检测单元的检测信号，并控制第一输送单元(2)是否向上升起。3.如权利要求1所述的硅片破损检测设备，其特征在于，所述检测单元包括:设于第一输送单元(2)上方的相机(51)、设于第一输送单元下方的背光源(52)、接收相机(51)所拍图像的图像分析模块，所述图像分析模块分析图像并将检测信号传送至控制器。4.如权利要求2所述的硅片破损检测设备，其特征在于，所述第一输送单元(2)底部设有升降电动件(23)，第一输送单元(2)的底部还设有至少一个导向机构(24)，所述升降电动件(23)可推动第一输送单元(2)升降运动，所述升降电动件(23)与控制器连接。5.如权利要求1所述的硅片破损检测设备，其特征在于，所述第二输送单元(3)的后端连接有转动调节装置(8)，该转动调节装置(8)包括:一端铰接在第二输送单元(3)后端的旋转板(81)、铰接连接在所述旋转板(81)下方的推拉电动件(82)，所述推拉电动件(82)可拉动旋转板(81)的活动端向下倾斜，所述推拉电动件(82 )与控制器连接。6.如权利要求5所述的硅片破损检测设备，其特征在于，所述第一输送单元(2)包括:并排设置的至少一个第一输送通道(21)、与第一输送通道(21)数量相同的第一马达(22)，每个第一输送通道(21)传动连接一个第一马达(22)，所述第一马达(22)可带动各自连接的第一输送通道(21)向后运送硅片； 所述第二输送单元(3)包括:与第一输送通道(21)数量配合的第二输送通道(31)、与所有第二输送通道(31)传动连接的第二马达(32)，所述第二马达(32)可带动所有第二输送通道(31)同步运送； 所述第三输送单元(4)包括:与第一输送通道(21)数量配合的第三输送通道(41)、与所有第三输送通道(41)传动连接的第三马达(42)，所述第三马达(42)可带动所有第三输送通道(41)同步运送。7.如权利要求6所述的硅片破损检测设备，其特征在于，每个第一输送通道(21)均配合设有破损检测单元(5)，每个第二输送通道(31)的后端连接一转动调节装置(8)。8.如权利要求7所述的硅片破损检测设备，其特征在于，所述第一输送通道(21)、第二输送通道(31)及第三输送通道(41)均由两对称设置的传送带组件构成，所述旋转板(81)的两侧也设有传送带组件。
【专利摘要】本实用新型公开了一种硅片破损检测设备，包括：机架，用于依次向后输送硅片的第一输送单元、第二输送单元和第三输送单元，用于检测硅片破损的检测单元，用于收集破损硅片的破损收集盒，用于设备异常时收集硅片的异常收集盒。检测单元、第一输送单元、第二输送单元及第三输送单元均与一控制器连接。本实用新型可对有规则的硅片进行在线批量自动检测，且能根据检测信号自动处理硅片，设备结构简单连贯，能有效提高硅片的完整度和生产加工效率。
【IPC分类】G01N21/88, B07C5/34
【公开号】CN205262985
【申请号】CN201520957315
【发明人】刘大鹏, 张涛, 梁善友, 蒋开发, 张勇
【申请人】深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2015年11月26日