专利名称：平板式静电微执行器控制装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种平板式静电微执行器控制装置。
背景技术：
微型机电系统，即MEMS (MicroElectric-MechanicalSystem)是指及微型传感器、执行器及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微电子机械系统。MEMS是在微电子学科基础上发展起来，同时，它又是多学科交叉的学科。MEMS可以将所观测对象的压力、温度、光强度等信号转换成所需要的电信号，并通过微执行器按照要求进行对目标的控制。同时，每个系统不是独立的，它可以通过接口与其他 的系统进行互联。其中，微执行器是MEMS的核心部分，它既可以为微系统提供动力，也可以成为微系统的操作和执行单元。因此微执行器有许多种不同的驱动方式。常见的驱动方式主要有静电驱动、电磁驱动、热驱动、光驱动、形状记忆合金(SMA)驱动和磁致伸缩驱动等形式。现在的平板式静电微执行器控制装置一般使用普通的控制器进行控制，软件一经使用，无法更新，无法根据需要随时更新，非常不利于控制。有鉴于此，特提出本实用新型。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种可以根据需要随时更新软件进行控制的平板式静电微执行器控制装置。为解决上述技术问题，本实用新型采用技术方案的基本构思是—种平板式静电微执行器控制装置，包括实时嵌入式控制器、D/A转换模块、放大器、微驱动器、平板式静电微执行器、传感器、读取电路，A/D转换模块；实时嵌入式控制器通过D/A转换模块与放大器的输入端相连，放大器的输出端连接到微驱动器的输入端，微驱动器的输出端连接至平板式静电微执行器的输入端，平板式静电微执行器的输出端连接至传感器的输入端，传感器的输出端连接至读取电路的输入端，读取电路的输出端与A/D转换模块相连，A/D转换模块的输出端连接实时嵌入式控制器的输入端。优选的，所述读取电路为电容读取电路。优选的，所述传感器为电容式位置传感器。优选的，所述D/A转换模块和A/D转换模块集成在实时嵌入式控制器。采用上述技术方案后，本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果本实用新型采用实时嵌入式控制器使控制系统成为实时嵌入式系统，可以根据需要随时对控制器的软件更新，使整个系统的控制效果更佳。
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步详细的描述。
图I是本实用新型的结构框图。
具体实施方式
如图I所示，本实用新型是一种平板式静电微执行器控制装置，包括实时嵌入式控制器I、D/A转换模块2、放大器3、微驱动器4、平板式静电微执行器5、传感器6、读取电路7，A/D转换模块8 ;实时嵌入式控制器I通过D/A转换模块2与放大器3的输入端相连，放大器3的输出端连接到微驱动器4的输入端，微驱动器4的输出端连接至平板式静电微执行器5的输入端,平板式静电微执行器5的输出端连接至传感器6的输入端,传感器6的输出端连接至读取电路7的输入端，读取电路7的输出端与A/D转换模块8相连，A/D转换模块8的输出端连接实时嵌入式控制器I的输入端。本实用新型采用实时嵌入式控制器使控制系统成为实时嵌入式系统，可以根据需
要随时对控制器的软件更新，使整个系统的控制效果更佳。优选的，所述传感器6为电容式位置传感器，电容式位置传感器具有体积小，精度高，响应迅速，不用与被测量物接触等特点，适合于静电式微执行器的位置测量。优选的，所述读取电路7为电容读取电路，信号传输更稳定，读取更准确。优选的，所述D/A转换模块2和A/D转换模块8集成在实时嵌入式控制器I内。省去了外部接线，简化了电路。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种平板式静电微执行器控制装置，其特征在于包括实时嵌入式控制器、D/A转换模块、放大器、微驱动器、平板式静电微执行器、传感器、读取电路，A/D转换模块；实时嵌入式控制器通过D/A转换模块与放大器的输入端相连，放大器的输出端连接到微驱动器的输入端，微驱动器的输出端连接至平板式静电微执行器的输入端，平板式静电微执行器的输出端连接至传感器的输入端，传感器的输出端连接至读取电路的输入端，读取电路的输出端与A/D转换模块相连,A/D转换模块的输出端连接实时嵌入式控制器的输入端。
2.根据权利要求I所述的平板式静电微执行器控制装置，其特征在于所述传感器为电容式位置传感器。
3.根据权利要求I所述的平板式静电微执行器控制装置，其特征在于所述读取电路为电容读取电路。
4.根据权利要求I所述的平板式静电微执行器控制装置，其特征在于所述D/A转换模块和A/D转换模块集成在实时嵌入式控制器。
专利摘要一种平板式静电微执行器控制装置，包括实时嵌入式控制器、D/A转换模块、放大器、微驱动器、平板式静电微执行器、传感器、读取电路，A/D转换模块；实时嵌入式控制器通过D/A转换模块与放大器的输入端相连，放大器的输出端连接到微驱动器的输入端，微驱动器的输出端连接至平板式静电微执行器的输入端，平板式静电微执行器的输出端连接至传感器的输入端，传感器的输出端连接至读取电路的输入端，读取电路的输出端与A/D转换模块相连，A/D转换模块的输出端连接实时嵌入式控制器的输入端。本实用新型采用实时嵌入式控制器使控制系统成为实时嵌入式系统，可以根据需要随时对控制器的软件更新，使整个系统的控制效果更佳。
文档编号G05B19/04GK202583751SQ20122024472
公开日2012年12月5日 申请日期2012年5月29日 优先权日2012年5月29日
发明者郭涛, 王爱民, 熊晶, 栗青生, 李娜 申请人:郭涛, 王爱民, 熊晶