1.一种微量气体流速控制装置，其特征在于，包括进气室(1)、出气室(2)和流量控制电磁阀(41)，进气室(1)设置有进气口(12)，出气室(2)设置有出气口(22)，进气室(1)和出气室(2)之间通过气体管路连通，流量控制电磁阀(41)设置在所述气体管路上。
2.根据权利要求1所述的微量气体流速控制装置，其特征在于，所述进气室(1)和出气室(2)是由两块隔板(3)将一腔室分隔成的两个独立空间，两块隔板(3)之间设置有电路板(4)，穿过隔板(3)和电路板(4)设置有连通进气室(1)和出气室(2)的气体通道，位于电路板(4)上的流量控制电磁阀(41)设置在气体通道上以控制气体通道的开合度。
3.根据权利要求2所述的微量气体流速控制装置，其特征在于，还包括位于进气室(1)内的第一压力传感器(11)和位于出气室(2)内的第二压力传感器(21)，第一压力传感器(11)和第二压力传感器(21)均穿过隔板(3)电连接到电路板(4)。
4.根据权利要求3所述的微量气体流速控制装置，其特征在于，还包括位于出气室(2)内的温度传感器(23)，温度传感器(23)穿过隔板(3)电连接到电路板(4)。
5.根据权利要求4所述的微量气体流速控制装置，其特征在于，还包括一温度控制单元，所述温度控制单元包括设置在电路板(4)上的控制电路和设置在隔板(3)上的加热元件，温度传感器(23)连接到温度控制单元。
6.根据权利要求2至5任一项所述的微量气体流速控制装置，其特征在于，还包括一控制器(6)，电路板(4)连接至所述控制器(6)。
7.根据权利要求6所述的微量气体流速控制装置，其特征在于，所述进气口(12)处设置有进气电磁阀(5)以控制进入进气室(1)内的气体量。
8.根据权利要求7所述的微量气体流速控制装置，其特征在于，所述进气电磁阀(5)连接至所述控制器(6)。