。
[0102]其后，在试验部144的热交换部70中加热或冷却被试验设备DUT之后的混合流体FLm流经主回流流路18并在混合合流部62及主合流部64合流后，回流至第I流体源30。另一方面，在流量调整部155将次中间流路117连接于次回流流路20期间，第2流体FL2从次中间流路117流向次回流流路20而回流至第2流体源32。
[0103]关于处置器部122的低温试验，由于仅由控制部24进行的控制不同，因此省略说明。
[0104]所述各实施方式的构成的配置、连接关系、个数等的数值、流体等的数值也可适当变更。而且，也可适当组合实施方式。
[0105]在所述实施方式中，对第I流体源30对主流路14及次流路16两方流动第I流体FLl之例进行了表示，但也能以仅对任一方、例如仅对主流路14流动第I流体FLl的方式构成。虽然对第2流体源32对主流路14及次流路16两方流动第2流体FL2之例进行了表示，但也能以仅对任一方、例如仅对次流路16流动第2流体FL2的方式构成。
[0106]以上，使用实施方式对本发明进行了说明，但本发明的保护范围并不限定于所述实施方式中所记载的范围。对于本领域技术人员而言明确的是，可对所述实施方式加入各种变更或改良。根据申请专利范围的记载可明确，加入这样的变更或改良而成的方式也可包含于本发明的技术范围内。
[0107]应当注意，关于申请专利范围、说明书及图式中所表示的装置、系统、程序及方法中的动作、顺序、步骤及阶段等各处理的执行顺序，只要未特别明示“在...之前”、“事先”等，而且并非在下一处理中使用上一处理的输出，则可按任意顺序实现。关于申请专利范围、说明书及图式中的动作流程，虽然为方便起见使用“首先，”、“其次，”等而进行了说明，但并不意味着必须按照该顺序来实施。
[0108][符号说明]
[0109]10温度控制装置
[0110]12冷却器部
[0111]14主流路
[0112]16次流路
[0113]18主回流流路
[0114]20次回流流路
[0115]22处置器部
[0116]24控制部
[0117]30第I流体源
[0118]32第2流体源
[0119]34主切换部
[0120]36次切换部
[0121]38主回流切换部
[0122]40次回流切换部
[0123]42预热室
[0124]44试验部
[0125]50主分支部
[0126]52次分支部
[0127]54流量调整部
[0128]56混合流路
[0129]58流路温度检测部
[0130]60混合分支部
[0131]62混合合流部
[0132]64主合流部
[0133]66次合流部
[0134]70热交换部
[0135]72散热座
[0136]74热交换流路
[0137]76交换温度检测部
[0138]78推动器
[0139]100试验系统
[0140]102试验装置
[0141]115主中间流路
[0142]117次中间流路
[0143]122处置器部
[0144]142预热室
[0145]144试验部
[0146]154流量调整部
[0147]155流量调整部
[0148]156混合流路
[0149]180中间合流部
[0150]182中间分支部
【主权项】
1.一种温度控制装置，其为控制设备的温度的温度控制装置，其包含: 热交换部，其与所述设备之间进行热交换； 主流路，其流动流体； 次流路，其流动温度与在所述主流路中流动的流体不同的流体； 混合流路，其使来自所述主流路及所述次流路的流体合流而流向所述热交换部；及 流量调整部，其调整从所述次流路流向所述混合流路的流体相对于在所述主流路中流动的流体的混合量。2.根据权利要求1所述的温度控制装置，其中所述流量调整部在维持从所述主流路流向所述混合流路的流体的流量的状态下，调整从所述次流路流向所述混合流路的流体的流量。3.根据权利要求1所述的温度控制装置，其中在所述次流路中流动的流体的压力高于在所述主流路中流动的流体的压力。4.根据权利要求1所述的温度控制装置，其中所述次流路的内侧的截面积小于所述主流路。5.根据权利要求1所述的温度控制装置，其包含: 第I流体源，其调整流体的温度至第I温度而将流体流向所述主流路，并经由主回流流路接收已流过所述热交换部的流体；及 第2流体源，其调整流体的温度至第2温度而将流体流向所述次流路，并经由次回流流路接收未从所述次流路流向所述混合流路的流体。6.根据权利要求5所述的温度控制装置，其进一步包含: 主切换部，其对将所述第I流体源及所述第2流体源中的哪一方连接至所述主流路进行切换；及 次切换部，其以将所述第I流体源及所述第2流体源中的未连接于所述主流路的流体源连接至所述次流路的方式进行切换。7.根据权利要求6所述的温度控制装置，其进一步包含: 主回流切换部，其将所述第I流体源及所述第2流体源中的连接于所述主流路的流体源连接至所述主回流流路；及 次回流切换部，其将所述第I流体源及所述第2流体源中的连接于所述次流路的流体源连接至所述次回流流路。8.根据权利要求6所述的温度控制装置，其中所述第I流体源将流体的温度调整为高于所述第2温度的所述第I温度，且 所述第I流体源根据流向所述热交换部的流体的目标温度已降低这一情况，使所述第I温度上升。9.根据权利要求6所述的温度控制装置，其中所述第2流体源将流体的温度调整为低于所述第I温度的所述第2温度，且 所述第2流体源根据流向所述热交换部的流体的目标温度已提高这一情况，使所述第2温度降低。10.根据权利要求6所述的温度控制装置，其包含多个所述热交换部、所述主流路、所述次流路、所述混合流路、所述主回流流路、所述次回流流路及所述流量调整部的群组，且进一步包含: 主分支部，其使来自所述主切换部的流体分支而流向多个所述主流路； 主合流部，其使来自多个所述主回流流路的流体合流而流向所述主切换部； 次分支部，其使来自所述次切换部的流体分支而流向多个所述次流路；及 次合流部，其使来自多个所述次回流流路的流体合流而流向所述次切换部。11.根据权利要求7所述的温度控制装置，其串列连接有多个所述热交换部、所述主流路、所述次流路、所述混合流路、所述主回流流路、所述次回流流路及所述流量调整部的群组，且 关于开头的所述热交换部，对应的所述主流路连接于所述主切换部，对应的所述次流路连接于所述次切换部， 关于第2个之后的所述热交换部，对应的所述主流路连接于来自正前方的所述热交换部的所述主回流流路，对应的所述次流路连接于对应于正前方的所述热交换部的所述次回流流路， 关于末尾的所述热交换部，对应的所述主回流流路连接于所述主回流切换部，对应的所述次回流流路连接于所述次回流切换部。12.根据权利要求11所述的温度控制装置，其中第I所述热交换部在预热室中预热被试验设备，且 连接于所述第I热交换部的下游的第2所述热交换部调整试验中的所述被试验设备的温度。13.根据权利要求10至12中任一项所述的温度控制装置，其中多个所述流量调整部各自对是从所述次流路向所述混合流路流动流体、还是从所述次流路向所述次回流流路流动流体进行切换，且 该温度控制装置进一步包含以所述多个流量调整部从所述次流路向所述混合流路流动流体的时序不重叠的方式进行控制的控制部。14.根据权利要求13所述的温度控制装置，其中所述控制部使第I所述流量调整部在从预先制定的周期的各循环的开头开始的第I期间内从所述次流路向所述混合流路流动流体,并且 使第2所述流量调整部在各循环的末尾处结束的第2期间内从所述次流路向所述混合流路流动流体。15.—种试验系统,其包含: 根据权利要求1所述的温度控制装置；及 试验装置，其对利用所述温度控制装置控制温度后的设备进行试验。
【专利摘要】阀的数量增加会导致构成及控制变得复杂。本发明的温度控制装置为控制设备的温度的温度控制装置，其包含：热交换部，其与所述设备之间进行热交换；主流路，其流动流体；次流路，其流动温度与在所述主流路中流动的流体不同的流体；混合流路，其使来自所述主流路及所述次流路的流体合流而流向所述热交换部；及流量调整部，其调整从所述次流路流向所述混合流路的流体相对于在所述主流路中流动的流体的混合量。
【IPC分类】G05D23/00
【公开号】CN104932569
【申请号】CN201410475373
【发明人】佐佐木博孝, 山下毅, 増田登
【申请人】爱德万测试株式会社
【公开日】2015年9月23日
【申请日】2014年9月17日
【公告号】US20150268295