等离子体处理装置中的处理信息管理的制作方法

专利名称：等离子体处理装置中的处理信息管理的制作方法
等离子体处理装置中的处理信息管理
背景技术：
组合装置(cluster tool )可以由一个或多个等离子体处理室(即， 才莫块)和用于方〗更衬底处理的其它部件组成。每个等离子体处理室 都可具有多个传感器(即，感测器)。每个传感器都能够检测该装 置的等离子体处理室和/或其它部件的特定工艺参数(即，条件)。 工艺参数的实例包括但不限于，温度、压力、步数、及气流。
随着衬底(即，晶片)在等离子体处理室中被处理，组合装置 与用于收集衬底处理(SP) It据的lt据主交互。衬底处理数据涉及 可被收集的两类数据(即，元数据(meta-data)和处理数据)。元 凄t据是识别衬底(即，衬底id、 4比id等)或工艺(即，配方名称等) 的独立数据项。其它类型的数据(处理数据)涉及关于由多个传感 器(即，设置在组合装置中的传感器)监测的工艺参数(即，压力、 气流、步lt等)的独立数据项。
如文中所述，数据主涉及与数据源交互的软件接口 ，以收集关 于组合装置及其子部件的数据。数据源可以包括但不限于，4企测组 合装置或其子部件的条件的传感器。由传感器收集的数据通常被称 作处理数据。同样，数据源可涉及包括与衬底或工艺相关的信息的 预存储数据(即，元数据)。在等离子体处理室中发生改变时可以 收集lt据，或者可以周期性地收集数据。改变可以包括温度、压力、 气流等的增加/减小。为了方《更讨i仑，图1示出了凄t据如何乂人组合装置流向数据库。
在组合装置102中，由每个数据主(104a、 104b、和104c )来收集
数据。例如，由每个数据主收集的数据可以是数据点的名称、发生 改变时的绝对时间戳、以及每个绝对时间戳的值。例如，凄t据主104a 可以是与才企测压力变化的传感器交互的软件接口。因此，由数据主 104a收集的数据可包括作为数据点名称的压力、压力发生变化时的 绝对时间戳、以及每个绝对时间戳的压力值。
一旦收集了数据，则由数据主(即，104a)通过可用于上传数 据的路径108通知数据库接口 106。然后，凄t据库接口 106经由管 线110将数据发送给数据库112以进行存储。数据库112可位于组 合装置102上或网络服务器上。由于可由组合装置102收集的数据 的绝对尺寸，管线110将必须足够大，以处理将大量数据发送给数 据库112所需的大的带宽。
生成的数据被存储到数据库112上的独立表(114a、 114b、和 114c)上。根据数据主布置每个表。例如，表114a存储由数据主 104a收集的信息(例如，数据点、值、和绝对时间戳)，该数据主 监测压力变化。在这些表之间的一个公用变量是绝对时间戳。在关 于图2的论述中提供了关于绝对时间戳如何在不同的表中起作用的 更i羊细描述。
图2提供了可能存在于数据库112中的表的实例。每个表都存 储关于特定的工艺参数的数据或元数据(即，数据点、绝对时间戳、 和值)。例如，表202存储关于衬底id的数据，表204存储关于批 id的数据，表206存储关于光符阅读器(OCR) id的数据，表208 存储关于步数的数据，以及表210存储关于压力的数据。
因为收集的数据不是专门针对衬底的，所以在问题出现时用户 可能很难有时间重建对于特定衬底的处理条件。为了重建处理条^牛，首先用户可以确定^H"底进入等离子体处J里室的时间。 一旦用户
具有了衬底进入等离子体处理室时的绝对时间戳(即，202a或 202b ),用户就能够使用绝对时间戳以使其与其它表上的绝对时间 戳(即，204a、 204b、 206a、 206b、 208a、 208b、 208c、 208d、 208e、 210a、 210b、 210c、 210d、 210e、 210f、 210g)进行比较。然而， 在其它表上的绝对时间戳将不会产生完全匹配。对于不能完全匹配 的原因可能涉及如何在工艺参数发生改变时收集存储在每个表上 的凄t据。
例如，在衬底A已经开始其在相同的组合装置中的处理循环之 后，一于底B进入等离子体处理室。当衬底B进入等离子体处理室时， 衬底id的数据主收集表示衬底B已进入处理环境的数据。同时， 因为两个衬底都发生压力改变，所以压力的凌t据主要求多个彩:才居 点。结果，因为衬底A的压力在衬底B的压力开始改变时发生改变， 所以记录在衬底id表上的绝对时间戳将不能与压力表上的绝对时 间瞿乂中的4壬意一个完全匹配。
例如，用户对衬底123的问题进行研究。查看衬底id表202 ， 用户能够确定4十底123在9:58:09:015的纟色对时间戳202a进入等离 子体处理室。因为每个表上的公用变量都是绝对时间戳，所以用户 将绝对时间戳202a作为导向柱(guiding post),以通过使绝对时间 戳202a与其它表上的绝对时间戳进行比较来从其它表中检索数据。 在一些情况下，因为绝对时间戳202a与其它表上的绝对时间戳相 匹配，所以用户能够提耳又相应的值。例如，绝对时间戳202a与步 凄t表210上的纟色乂十时间戮208c对目匹酉己。
然而，所有表上的绝对时间戳不可能总是相匹配的。在那种情 况下，用户不得不基于与存在于表上的绝对时间戳相对应的值进行 内插。例如，绝对时间戳202a不与压力表210上的绝对时间戳中 的4壬意一个相匹配。相反，绝对时间戳202a处于绝对时间戳210b和绝对时间戳210c之间。即-使用户能够确定范围(即，实际压力 值处于59和68毫托之间)，用户也发现其难以确定实际值。
用于收集组合装置中的数据的当前方法存在几个问题。第一 ， 因为数据可能存储在本地的组合装置上或者存储在网络服务器上， 所以不能经常容易地存取数据。为了才全索数据，用户将必须访问组 合装置或网络服务器。
第二，当前在时间片(time slide )上收集数据，由数据主对数 据进4亍分组，并将^:据作为独立表存^f诸到^t据库中。例如，关于压 力的凄t据都存储在单个表上，而关于气体流的^t据^皮存储在不同的 表上。因为用于特定衬底的数据不能被很容易地使用，所以重建特 定衬底的处理条件将花费一些时间。
第三，由于存储了路线数据，所以在不做一些分析情况下，用 户将不能自动请求H据以确定凄t据的可用性。此外，因为通过多个 表存储了关于衬底的数据，所以用户将不得不使用多次查询来提取 所需的数据。因为在表中的公用变量是绝对时间戳，由于用户必须 将变量表上的数据同步，所以收集的数据不可能总是给出所产生的 精确情况。结果，数据的精确性和质量可能较差。

发明内容
在一个实施例中，本发明涉及用于管理村底处理教:据的计算^L 执行方法。在组合装置的等离子体处理室中处理衬底时获取衬底处 理数据。该方法包括接收用于识别衬底的标识和工艺中至少一个的 元数据。该方法还包括从多个传感器中接收多个处理数据流，多个 处理数据流中的每一个涉及正被监测的工艺参数。根据第一方法和 第二方法中的一个来收集在多个处理凄t据流的每一个中的独立数 据项。第一种方法表示周期性的数据收集。第二种方法表示当发生预定事件时进行的数据收集。该方法还包括将与多个处理数据流相 关的独立tt据项存储在单个文件中。该单个文件仅存储与用于处理 衬底相关的单个配方的衬底处理数据。在另 一实施例中，本发明涉及用于管理衬底处理数据的计算枳J 才丸行方法。在组合装置的等离子体处理室中处理衬底时获取衬底处 理数据。该方法包括接收与衬底相关的元数据。该元数据识别用于 处理#于底的工艺配方。该方法还包括/人多个传感器中4妄收多个处理 数据流，多个处理数据流中的每一个涉及正被监测的工艺参数。该 方法还包括将单个文件用于存储与多个处理凄t据流和元ft据相关 的独立lt据项。单个文件不用于存^f渚与其它配方相关的处理^t据。在另 一个实施例中，本发明涉及一种包括具有嵌入其中的计算 才几可读代码的程序存^f诸介质的产品。计算才几可读代码用于管理衬底 处理环境中的衬底处理凄t据。在组合装置的等离子体处理室中处理 衬底时获耳又衬底处理lt据。这种产品包4舌用于4妄收与衬底相关的元 凄t据的计算4几可读代码。元^t据识别用于处理^)"底的工艺配方。这 种产品还包括用于从多个传感器中接收多个处理数据流的计算机 可读代码，多个处理凄t据流中的每一个均涉及正^皮监测的工艺参数。这种产品还包4舌用于将与多个处理凄t据流和元凝:据相关的独立 数据项存4诸到单个文件中的计算4几可读^码。该单个文件不用于存 4诸与其它配方相关的4t底处理数据。单个文件也不用于存4诸与其它 衬底相关的衬底处理数据。


参照附图，通过实例示出了本发明，但其不构成对本发明的限 制，其中，相同的参考标号表示相同的元件，以及其中图1示出了在现有技术中数据如何从组合装置流向数据库。图2示出了现有技术中存在于数据库中的表的实例，其中，每 个表都存储关于特定工艺参数的数据或元数据。图4A示出了在本发明实施例中的档案数据库上的独立数据项 的索引。图4B示出了在本发明实施例中的处理H据层次。图5示出了本发明实施例中的过程的概略图。
具体实施方式
现在，将参照附图所示的本发明的几个实施例详细描述本发 明。在以下描述中，为了提供对本发明的透彻理解，将阐述多个具 体细节。然而，本领域的技术人员应该明白，不利用这些具体细节 中的一些或全部也可实现本发明。在其它情况下，将不详细描述众 所周知的处理步艰《和/或结构，以避免^j"本发明造成不必要的混淆。在下文中描述各个实施例，其中包括方法和4支术。应当记住， 本发明也一夺涵盖一种包4舌计算才几可读介质的产品，在该计算才几可读 介质上存储了用于执行本发明技术的实施例的计算机可读指令。例 如，计算才几可读介质可包4舌，半导体、》兹盘、光万兹盘、光盘、或其 它形式的用于存储计算机可读代码的计算机可读介质。此外，本发 明也可以包括用于实现本发明实施例的装置。这种装置可包括专用 的和/或可编程的电路，以执行关于本发明实施例的任务。这种装置 的实例包括通用计算机和/或进行了适当编程的专用计算装置，以及和专用/可编程电^各的组合。
根据本发明的实施例，提供了用于在组合装置的等离子体处理 室(即，模块)中处理衬底(即，晶片)时从衬底处理环境中收集
元tt据和处理凄t据的计算枳4丸^f亍方法。如文中所述，4于底处理环境 包括与处理衬底相关的设备，包括组合装置、支持服务器和计算机、 管理独立数据项移动的接口 、及可与独立数据项相关的应用程序。
如文中所述，元数据涉及识别衬底(即，衬底id、批id等)或 工艺(即，配方名称等)的独立数据项。同样，如文中所述，处理 数据涉及关于由多个传感器(即，位于组合装置中的感测器)监测 的工艺参^t(即，压力、气流、步凄t等)的独立^t据项。同时，元 凄丈据和处理lt据构成了衬底处理lt据。来自处理单个4于底的单个配 方的独立数据项被存储作为单个文件。上传到工艺控制计算机中的 单个文件-故存储在档案数据库中并从档案数据库中^皮编制索引，并 使其容易地用于分析或检查。
例如，在组合装置的等离子体处理室中蚀刻衬底。在等离子体 处理室中，存在4妄收多个处理lt据流的多个传感器。每个处理凄t据 流都关于被监测的工艺参数(即，压力、温度、步数等)。收集并 存储与对衬底的单个配方的多个处理凝:据流中的每一个相关的处 理数据，作为单个文件。同样，在单个文件上的数据是由组合装置 收集的关于经过特定配方处理的特定衬底的元数据。
在本发明的实施例中，用于收集独立数据项的方法可以是同步 的或是异步的。如果周期性地收集独立数据项，则该方法是同步的。 例如，可以将传感器定时，用来以特定时间间隔(即，每十秒钟) 4妄收处理lt据流，而不考虑活动性(activity )。如果4艮据发生预定事件(例如，工艺参凄t改变)来收集独立tt据项，则该方法是异步的。
所收集的独立数据项可以作为单个文件被存々者，其中，单个文
发明的实施例中，随着将衬底处理成用户能够监测工艺异常，单个 文件可以被上传到实时的工艺控制计算机(即，服务器)。在本发 明的另一实施例中，在完成了对于衬底的单个处理之后，可将单个 文件上传到工艺控制计算机。
一旦上传到工艺控制计算机，就由设备信息管理系统(EIMS) 管理单个文件。如文中所述，EIMS是用于管理独立数据项并将涉 及独立教:才居项的4言息引导到相关方的4妄口 。在一个实施例中，EIMS 将单个文件发送到档案数据库，其可以是关系数据库。
档案^:据库为独立^:据项编制索引，其^f吏独立^:据项在随后的 4叟索中可以一皮快速地4叟索到。通过为独立凄t据项编制索引，用户可 以容易地获得与单个衬底的单个配方相关的独立^:据项来重构^" 底处理环境，而无须经历许多步骤。
档案凄t据库也将单个文件存储在处理凄t据层次中。该处理数据 层次包括作为树状存储排列(即，文件目录)的叶节点存储的文件。 在需要检索文件时，树状存储排列在文件中进行导航，以更有助于 用户存耳、
在另一实施例中，EIMS也向应用程序通知应用程序"i青求的特 定独立H据项可用的时间。当已在档案凄t据库上存储并为独立凝:才居 项编制索引时，EIMS也可以将独立翁:据项压缩并压入应用程序中。EIMS也可以将独立数据项提供给客户应用程序。在将独立凄t 据项压入用户应用程序之前，EIMS可将独立数据项发送到数据适 配器，以将独立^t据项转换为适于用户应用程序4吏用的才各式。如文 中所述，数据适配器是用于将独立数据项重定格式为用户应用程序 所请求的特定格式的软件接口 。
为了方便论述，以下实例提供了本发明实施例将如何工作的扭无 略图。假设应用程序需要特定的衬底文件。应用程序通过识别应用 ,呈序正在4臾索哪种类型的独立lt梧项来向EIMS登i己。然后，EIMS 将请求转送到数据库接口模块，该模块可位于组合装置上。同时， 衬底被配置到组合装置中的等离子体处理室上，等待处理。当处理 衬底时，收集独立数据项并将其存储在单个文件上。
通知数据库接口模块单个文件可上传到工艺控制计算机。数据 库接口模块将压缩独立数据项并将其压入工艺控制计算机。同时， 凄t据库4妻口才莫块将通知EIMS已创建了由应用程序请求的、具有独 立凄t悟项的单个文fK
一旦单个文件纟皮写入了工艺控制计算才几，EIMS就读耳又文件并 将独立^t据项压入档案^t据库。档案^t据库存^f诸并为单个文件编制 索引。 一旦完成了编制索引，EIMS就通知应用,呈序所i青求的独立
序。为了将独立数据项转换成用户应用程序可使用的格式，首先可 以^吏独立^t据项通过ft据适配器。
参考附图和以下的论述将更好地理解本发明的特性和优点。图 件300包括可以作为处理数据或元数据的独立数据项。独立凄t据项可以包括衬底id 302 (衬底的id )、批id 304 ( 4吏用 相同配方一起分组的衬底)、OCRid306 (衬底上的序列号)、槽口 角(notch angle) 308 (对于在整个单个配方中的每步都相同的用于 才交准^H"底的^"底上的凄t字)、配方开始时间310 (工艺开始的时间)、 以及配方结束时间312(工艺结束的时间)。独立教:才居项还可以包括: 步数314、压力316、及气流318。
收集的这种类型的数据可以包括数据点(即，各类工艺参数)、 相对时间间隔、以及与该相对时间间隔相关的^f直。例如，对于压力 316，在0时间间隔处(配方开始时)，在0时间间隔处的值被记录 为54毫托。在200毫秒后(在配方开始时间之后200毫秒)，该值 变为68毫托。获得配方开始时间310 (配方开始时间为 10:04:38:070 )，用户能够计算在^合定的相只寸时间间隔一夸压力变成68 毫托的时间。
如上所述，可以周期性地收集独立凄t据项或由于预定事件收集 独立^t据项。图3中的实例示出了比对于气流318收集的处理凝:才居 更多的对于压力316收集的处理数据。该实例示出了由于预定事件 (例如，改变工艺参凄t)而不是以特定时间间隔收集的处理数据。
将在用于单个配方的单个衬底上收集的独立数据项存储为单 个文件。单个文件被加载到工艺控制计算机上并可将其从那里存储 到档案数据库中。为在档案数据库上存储的独立数据项编制索引， 以能够更有效地进行搜索。同样，可以树状存储排列(即，目录) 存储在档案数据库上保存的独立数据项，这使得文件具有可4见结 构。
为了方便讨论，图4A示出了在本发明实施例中的档案数据库 上的独立数据项的索引。示出的索引是实例并不意味着包含可能存 在于档案^:据库中所有可能的索引。索引404包4舌关于4于底id和文件id的独立数据项。索引410包括关于OCRid和文件id的独立凄t 据项。索引416包括关于文件id、开始时间、结束时间、和文件3各
径的独立凄W居项。
例如，用户查询档案数据库以检索与衬底123相关的文件。因 为对在档案凄t据库上存储的独立凝:据项进行编制索引，所以系统能 够快速确定衬底123具有的文件id为6,该文件id被存储在下述^各 径Archive/tool 1 /module 1 /filetypeA/1 -11 -05/file2 。在另 一 实例中， 用户查询档案凄丈据库以定位与衬底124相关的文件。因为档案翁:据 库是被编制索引的数据库，所以系统能够快速地定位与该单个衬底 相关的3个文件id。
因为对于该单个^"底存在三种不同的文4牛，所以存在3个与4于 底124相关的文件id。根据存储在文件上的内容，衬底可具有多于 一个文件。例如，衬底124已被蚀刻了两次， 一次是在等离子体处 理室1中而另一次是在等离子体处理室2中。结果，对于衬底124 创建了两个文件。第 一 文件(Archive/tool 1/module 1/filetypeA/ 1-12-05/filel )提供当衬底124在等离子体处理室1中时的独立凄t据 项。第二文件(Archive/tool 1/module2/filetypeA/1-12-05/file2)冲是供 当衬底124在等离子体处理室2中时的独立凄t据项。对于衬底124 的第三文件可以是在衬底124已完成了在等离子体处理室2中的处 J里时产生的维护日志(maintenance log ) ( Archive/tool 1/module2 /filetypeA/1-12-05/ file3 )。
文件也可以被构造成处理数据层次，其中，文件被存储为树状 存4诸排列中的叶节点。例如，索引416中的每个文件^各径(即， Archive/tool l/module2/filetypeA/l-12-05/file3 )都是杉M犬存储排列中 的叶节点。图4B示出了本发明的实施例中的处理数据层次420。 首先，根据日期将文件分组(父级)。在上一个等级(祖父级)中，才艮据文件类型将文件分组。文件类型可包括<旦不限于过程数据日 志、频谱数据、历史凄t据日志、以及维护数据日志。
在曾祖父级，根据模块ID(即，等离子体处理室)将文件分组。 例如，组合装置具有4个等离子体处理室。根据等离子体处理室运 用的处理将文件进行分组。在最高级(曾曾祖父级)，根据装置ID (组合装置)一起将这些文件分组。
例如，在2005年1月25日已由Lam 2300组合装置的等离子 体处理室1对衬底A进^f亍了处理。同时，在同一日期，通过相同的 Lam 2300组合装置的等离子体处理室2对衬底B进4亍了处理。因 此，对4于底A创建的单个文件存4诸在归属于Lam 2300 (装置1 )、 等离子体处理室1 (模块l)、过程数据日志(文件类型)、2005年 1月25日(日期)下的处理凄t据库层次中。同时，对4于底B创建 的单个文件存储在归属于Lam 2300 (装置1 )、等离子体处理室2 (模块2 )、过程数据日志(文件类型)、2005年1月25日(日期) 下的处理凄t据库层次中。
在本发明的一个实施例中，树状存储排列(即，目录)可由佳: 用导航界面的用户在显示屏幕(即，计算机显示器)上导航。导航 界面使用户可以浏览树状存储排列，并〗吏其可以选4奪浏览的任一叶 节点(文件)。
为了更好理解整个过程是如何工作的，图5示出了在本发明实 施例中的过程的概略图。单个配方用于处理衬底。当在组合装置502 中处理单个衬底时，凄t据主504收集处理数据和元^U居，并将独立 凄t据项写入文件506。
如上所述，数据主涉及与数据源交互的软件接口，以收集关于 组合装置及其子部件的凄t据。#:据源可包括但不限于一全测组合装置和/或其子部件的条件的传感器。数据源也可以与包括关于衬底或过 程信息的预存储数据。
一旦创建了文件506,数据主504就经由路径512通知接口才莫 块508已创建了文件506。根据接收到的通知，接口才莫块508可以 压缩文件506并将文件经由^各径514压入工艺4空制计算才几518。在 本发明的实施例中，单个文件可被立即加载到实时工艺控制计算初」 中。通过在4妻收处理数据流时上传单个文件，用户能够监测异常过 程。在本发明另一实施例中，在完成了对于衬底的单个配方之后， 可将单个文件上传到工艺控制计算机。
同时，接口才莫块508也可经由路径515通知EIMS 522已经创 建了文件。例如，应用程序540需要特定文件。应用程序540通过 EIMS 522登记所需的文件类型(534)。然后，EIMS 522通知4妻口 模块508应用程序540正等待特定文件。 一旦请求的文件可用，4妄 口模块508就通知EIMS 522已创建了文件。
一旦EIMS 522接收到通知，EIMS 522就等待被写入工艺控制 计算才几518的文<牛506，作为文寸牛516。 一旦完成了上传，EIMS 522 就读取文件516并经由路径530将其压入档案数据库524。档案凄t 据库524打开文件并更新具有收集到的新独立凄t悟项的索引。 一旦 档案数据库524完成了索引处理，EIMS 522就经由路径532将文件 516作为文件538压入应用程序540,并经由3各径536通知应用禾呈 序540文4牛538是可用的。
同时，EIMS 522可将独立数据项压入用户应用程序544。可才艮 据i青求或在独立^:据项满足已预编程的某些^见约(specification)时 压入独立数据项。在将独立数据项压入用户应用程序544之前，经 由路径528将独立数据项发送给数据适配器520。数据适配器520 是将独立数据项转换为(即，重新格式化)客户规约的软件接口。一旦转换了独立数据项，就将独立数据项经由^各径542压入用户应 用禾呈序544。
如前述中显而易见的，本发明实施例允许以每个衬底每个配方 为基础来收集独立凄史据而代替了以参数时间片时间间隔为基础来 收集独立lt据项。通过将对于单个衬底的单个配方的独立数据项存 储为单个文件，用户能够监测工艺异常的衬底。同样由于不要求内
插或同步，所以可以更快速地进4亍凄史据分析。另外，涉及单个4于底 的单个配方的独立凄t据项的单个文件^f吏;得在稍后日期可以纟交快速
地重建处理环境。另外，用户不再承担从用户分析与特定衬底相关 问题所需的独立数据项中分离不相关数据的挑战。
此外，本发明的实施例允许为独立数据项编制索引，其能够更 快地4臾索。用户能够容易地访问独立lt据项以弹出有关凄t据，而不 必进行多个查询。本发明的实施例还允许将独立数据项以适于用户 应用程序需要的格式发送到用户应用程序。
虽然根据几个实施例描述了本发明，但存在落入本发明范围内 的改变、置换和等同替换。还应当注意，存在用于实现本发明的方 法和装置的多种可选方式。因此，这意味着所附的权利要求应被理 解为包括落在本发明真正主旨和范围内的所有改变、置换、和等同替换。
权利要求
1.一种在衬底处理环境中，用于管理衬底处理数据的计算机执行方法，当在组合装置的等离子体处理室中处理衬底时获取所述衬底处理数据，包括接收元数据，所述元数据用于识别所述衬底的标识和工艺中的至少一个；从多个传感器中接收多个处理数据流，所述多个处理数据流中的每一个都与正被监测的工艺参数有关，根据第一种方法和第二种方法中的一种收集所述多个处理数据流中的每一个中的独立数据项，所述第一种方法表示时间上周期性的数据收集，所述第二种方法表示在预定事件发生时进行的数据收集；以及将与所述多个处理数据流相关的所述独立数据项存储在单个文件中，所述单个文件仅存储与用于处理所述衬底的单个配方有关的所述衬底处理数据。
2. 根据权利要求1所述的方法，还包括将与所述多个数据流有关 的所述独立数据项基本实时地提供给实时工艺控制计算机，所 述实时工艺控制计算才几用于在处理所述衬底的同时分4斤所述 独立数据项以监测工艺异常。
3. 根据权利要求1所述的方法，还包括将所述单个文件存储到档 案数据库中，所述存储包括将与所述多个凄史据流相关的所述独 立tt据项存^f诸到所述档案^t据库的单个文件中。
4. 根据权利要求3所述的方法，其中，所述档案数据库代表关系 数据库。
5. 根据权利要求3所述的方法，还包括在所述档案数据库中为所 述单个文件编制索引，以提高后续搜索中的搜索速度。
6. 根据权利要求3所述的方法，其中，所述将所述单个文件存储 到所述档案数据库中还包括将所述单个文件设置在处理数据 层次中，所述处理数据层次包括作为在树状存储排列中的叶节 点存储的文件，其中，日期表示所述文件的父级，文件类型表 示所述文件的祖父级，模块ID表示所述文件的曾祖父级，以 及装置ID表示所述文件的曾曾祖父级。
7. 根据权利要求6所述的方法，其中，所述树状存储排列由使用 导4元界面的用户在显示屏幕上进行导^t，所述导4亢界面允^^午所 述用户浏览所述树状存储排列以及选4奪所述叶节点中的任意 一个用于浏览。
8. 根据权利要求1所述的方法，还包括向应用程序提供所述单个 文件，所述^是供还包括在传送主会所述应用禾呈序之前压缩所述单 个文件。
9. 才艮据4又利要求1所述的方法，还包括为用户应用程序提供所述 衬底处理数据，所述提供还包括将所述单个文件转换为适于所 述用户应用程序4吏用的才各式。
10. —种在衬底处理环境中，用于管理衬底处理^:据的计算枳4丸4亍 方法，当在组合装置的等离子体处理室中处理衬底时获耳又所述 衬底处理数据，包括接收与所述衬底相关的元数据，所述元数据还识别用于 处理所述4于底的工艺配方；从多个转传感器中接收多个处理数据流，所述多个处理 数据流中的每一个都与正被监测的工艺参数有关；以及-使用用于存储与所述多个处理数据流和所述元数据相关 的所述独立凄t据项的单个文件，所述单个文件不用于存储与其 它配方相关的衬底处理凄t据，所述单个文件也不用于存储与其 它衬底相关的衬底处理数据。
11. 根据权利要求10所述的方法，还包括将与所述多个数据流有关的所述独立数据项基本上实时地提供给实时工艺控制计算 机，所述实时工艺控制计算机用于在处理所述衬底的同时分析所述独立^:据项以监测工艺异常。
12. 4艮据权利要求10所述的方法，还包括将所述单个文件存〗诸到 档案数据库中，所述存储包括将与所述多个数据流相关的所述 独立数据项存储到所述档案凄t据库的单个文件中。
13. 根据权利要求12所述的方法，其中，所述档案数据库代表关系数据库。
14. 根据权利要求12所述的方法，还包括在所述档案数据库中为 所述单个文件编制索引以提高后续搜索中的搜索速度。
15. 根据权利要求12所述的方法，其中，所述将所述单个文件存 储到所述档案数据库中还包括将所述单个文件设置在处理数 据层次中，所述处理数据层次包括作为在树状存储排列中的叶 节点存储的文件，其中，日期表示所述文件的父级，文件类型 表示所述文件的祖父级，模块ID表示所述文件的曾祖父级， 以及装置ID表示所述文4牛的曾曾3且父级。
16. 根据权利要求15所述的方法，其中，所述树状存储排列由使 用导航界面的用户在显示屏幕上进行导4元，所述导航界面允许 所述用户浏览所述树状存储排列以及选择所述叶节点中的任 意一个用于浏览。
17. 根据权利要求10所述的方法，还包括向应用程序提供所述单 个文件，所述4是供还包括在传送给所述应用程序之前压缩所述 单个文件。
18. 根据权利要求10所述的方法，还包括为用户应用程序提供所 述衬底处理ft据，所述^是供还包4舌将所述单个文件转换为适于 所述用户应用程序^f吏用的才各式。
19. 一种包括具有在其中嵌入计算机可读代码的程序存储介质的 产品，所述计算才几可读代码用于管理在4十底处理环境中的4于底 处理^t据，当在组合装置的等离子体处理室中处理衬底时获耳又 所述衬底处理数据，包括用于接收与所述衬底相关的元数据的计算才几可读代码， 所述元ft，居还识別用于处理所述一t底的工艺配方；用于乂人多个传感器中4妄收多个处理凄t据流的计算才几可读 代码，所述多个处理凄欠据流中的每一个都与正净皮监测的工艺参 婆t有关；以及用于将与所述多个处理数据流和所述元lt据相关的所述 独立凄t据项存储到单个文件中的计算才几可读代码，所述单个文 件不用于存储与其它配方相关的衬底处理lt据，所述单个文件 也不用于存储与其它衬底相关的衬底处理数据。
20. 根据权利要求19所述的产品，还包括将与所述多个数据流有 关的所述独立数据项基本上实时地提供给实时工艺控制计算 机，所述实时工艺控制计算机用于在处理所述衬底的同时分析 所述独立ft据项以监测工艺异常。
21. 根据权利要求19所述的产品，还包括用于将所述单个文件存 储到档案数据库中的计算机可读代码，所述存储包括将与所述 多个凌t据流相关的所述独立数据项存^f诸到所述档案数据库的 单个文件中。
22. 根据权利要求21所述的产品，其中，所述档案数据库代表关系H据库。
23. 根据权利要求21所述的产品，还包括用于在所述档案数据库 中为所述单个文件编制索引以提高后续搜索中的搜索速度的 计算纟几可读代码。
24. 根据权利要求21所述的产品，其中，用于将所述单个文件存 储到所述档案数据库中的所述计算机可读代码还包括用于将 所述单个文件i殳置在所述处理lt据层次中的计算才几可读^C石马，的文件，其中，日期表示所述文件的父级，文件类型表示所述 文件的祖父级，模块ID表示所述文件的曾祖父级，以及装置 ID表示所述文4牛的曾曾^且父级。
25. 根据权利要求24所述的产品，其中，所述树状存储排列由使 用导航界面的用户在显示屏幕上进行导航，所述导航界面允许 所述用户浏览所述树状存储排列以及选4奪所述叶节点中的任 意一个用于浏览。
26. 根据权利要求19所述的产品，还包括用于向应用程序提供所 述单个文件的计算才几可读代码，所述冲是供还包括在传送给所述 应用程序之前压缩所述单个文件。
27. 根据权利要求19所述的产品，还包括用于为用户应用程序才是 供所述衬底处理数据的计算机可读代码，所述提供还包括将所
全文摘要
一种用于管理衬底处理数据的计算机执行方法。当在组合装置的等离子体处理室中处理衬底时获取衬底处理数据。该方法包括接收用于识别衬底的标识和过程中的至少一个的元数据。该方法还包括从传感器接收多个处理数据流，处理数据流中的每一个都与正被监测的工艺参数有关。根据第一方法和第二方法中的一种收集在每个处理数据流中的独立数据项。第一方法表示时间上周期性的数据收集。第二方法表示当预定事件发生时的数据收集。该方法也包括将与处理数据流相关的独立数据项存储在单个文件中。该单个文件仅存储与用于处理衬底的单个配方有关的数据。
文档编号G06F19/00GK101310281SQ200680005403
公开日2008年11月19日 申请日期2006年2月16日 优先权日2005年2月18日
发明者杰奎琳·塞托, 查德·R·威特曼, 约翰·詹森, 黄忠河 申请人:朗姆研究公司