互电容触控显示面板及其制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种互电容触控显示面板及其制作方法。
【背景技术】
[0002] 随着显示技术的飞速发展，触控显示面板已经广泛地被人们所接受及使用，如智 能手机、平板电脑等均使用了触控显示面板。触控显示面板采用嵌入式触控技术将触控面 板和液晶显示面板结合为一体，并将触控面板功能嵌入到液晶显示面板内，使得液晶显示 面板同时具备显示和感知触控输入的功能。
[0003] 液晶显示面板的通常是由一彩色滤光片基板（ColorFilter，CF)、一薄膜晶体管 阵列基板（ThinFilmTransistorArraySubstrate，TFTArraySubstrate)以及一配置于 两基板间的液晶层（LiquidCrystalLayer)所构成，其工作原理是通过在两片玻璃基板上 施加驱动电压来控制液晶层的液晶分子的旋转，将背光模组的光线折射出来产生画面。按 照液晶的取向方式不同，目前主流市场上的液晶显示面板可以分为以下几种类型：垂直配 向（VerticalAlignment，VA)型、扭曲向列（TwistedNematic，TN)或超扭曲向列（Super TwistedNematic，STN)型、平面转换（In-PlaneSwitching，IPS)型、及边缘场开关（Fringe FieldSwitching，FFS)型。
[0004] 触控显示面板依感应技术不同可分为电阻式、电容式、光学式、音波式四种，目前 主流的触控技术为电容式，其中电容式又分为自电容式和互电容式，目前市场上的电容式 触控显示面板为主要为互电容式，互电容的优点在于可实现多点触控。触控显示面板根据 结构不同可划分为：触控电路覆盖于液晶盒上式（OnCell)，触控电路内嵌在液晶盒内式 (InCell)、以及外挂式。其中，Incell式具有成本低、超薄、和窄边框的优点，主要应用在 高端触控产品中，但由于Incell式触控技术工艺难度较大，信号干扰等因素，其灵敏度较 差。目前市场上应用最多的触控显示面板仍为外挂式，外挂式的优点在于灵敏度高，响应速 度快，但缺点是成本高，产品超薄化受限制。OnCell式集成了外挂式和Incell式的优点， 既能提高灵敏度又能降低面板厚度，但由于在OnCell式触控显示面板的制作过程中，只能 在液晶成盒之后在面板表面镀用于制作触控电路的透明电极氧化铟锡（ITO)，IT0退火温 度受限制，因此电阻很难降低，导致触控灵敏度提高受限。
【发明内容】
[0005] 本发明的目的在于提供一种互电容触控显示面板，其触控感应电极的电阻较低， 触控灵敏度较高。
[0006] 本发明的目的还在于提供一种互电容触控显示面板的制作方法，能够在不增加制 程工艺、不影响面板开口率的情况下，降低触控感应电极的电阻，提升触控显示面板的触控 灵敏度。
[0007] 为实现上述目的，本发明提供一种互电容触控显示面板，包括：TFT阵列基板、与 所述TFT阵列基板相对设置的CF基板、夹设于所述TFT阵列基板与CF基板之间的液晶层、 设于所述CF基板远离液晶层一侧的数条相互平行的触控发射电极、及设于所述CF基板靠 近液晶层一侧的数条相互平行且在空间上垂直于触控发射电极的透明的触控感应电极；
[0008] 所述触控感应电极经过高温退火处理。
[0009] 所述CF基板包括基板，所述数条触控发射电极设于该基板远离液晶层一侧的表 面上，所述数条触控感应电极设于该基板靠近液晶层一侧的表面上；所述CF基板还包括设 于所述基板与数条触控感应电极上的彩色色阻、将所述彩色色阻间隔开的黑色矩阵、设于 所述黑色矩阵上的光阻间隔物、及覆盖所述彩色色阻、黑色矩阵、与光阻间隔物的配向膜。
[0010] 所述触控感应电极的材料为ITO。
[0011] 所述触控感应电极的厚度为500~1000A。
[0012] 所述触控发射电极的材料为IT0或金属。
[0013] 本发明还提供一种互电容触控显示面板的制作方法，包括如下步骤：
[0014] 步骤1、提供一基板，在所述基板的一侧表面上镀一层透明导电膜，然后通过掩膜 刻蚀工艺对所述透明导电膜进行图案化处理，形成数条相互平行的透明的触控感应电极；
[0015] 步骤2、对所述数条相互平行的透明的触控感应电极进行高温退火，以降低触控感 应电极的电阻；
[0016] 步骤3、通过掩膜刻蚀工艺依次在所述基板与触控感应电极上制作出黑色矩阵、彩 色色阻、及光阻间隔物；
[0017] 其中，所述黑色矩阵将彩色色阻间隔开，所述光阻间隔物设于所述黑色矩阵上；
[0018] 步骤4、在所述彩色色阻、黑色矩阵、与光阻间隔物上涂布配向液，形成配向膜，完 成CF基板的制作；
[0019] 步骤5、提供一TFT阵列基板，将TFT阵列基板与CF基板对组，使所述触控感应电 极朝向TFT阵列基板，向TFT阵列基板与CF基板之间灌入液晶，形成液晶层；
[0020] 步骤6、在CF基板的基板远离液晶层一侧的表面上镀一层导电膜，然后通过掩膜 刻蚀工艺对所述导电膜进行图案化处理，形成数条相互平行且在空间上垂直于触控感应电 极的触控发射电极。
[0021] 所述步骤1中的透明导电膜的材料为ITO。
[0022] 所述透明导电膜的厚度为500~1000A。
[0023] 所述步骤6中导电膜的材料为ITO或金属。
[0024] 所述基板为玻璃基板。
[0025] 本发明的有益效果：本发明提供的一种互电容触控显示面板，将触控发射电极集 成在CF基板远离液晶层的一侧，将透明的触控感应电极集成在CF基板靠近液晶层的一侧， 且触控感应电极经过高温退火处理，从而触控感应电极的电阻较低，触控显示面板的触控 灵敏度较高。本发明提供的一种互电容触控显示面板的制作方法，于液晶层形成以前在CF 基板靠近液晶层一侧的表面上制作出透明的触控感应电极，并采用高温退火来降低触控感 应电极的电阻，再在CF基板与TFT基板对组、液晶层形成以后在CF基板远离液晶层一侧的 表面上制作出触控发射电极，实现了在不增加制程工艺、不影响面板开口率的情况下，降低 触控感应电极的电阻，提升触控显示面板的触控灵敏度。
[0026] 为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细 说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
【附图说明】
[0027] 下面结合附图，通过对本发明的【具体实施方式】详细描述，将使本发明的技术方案 及其它有益效果显而易见。
[0028] 附图中，
[0029] 图1为本发明的互电容触控显示面板的剖面结构示意图；
[0030] 图2为本发明的互电容触控显示面板的触控感应电极和触控发射电极的俯视示 意图；
[0031] 图3为本发明的互电容触控显示面板的制作方法的流程图。
【具体实施方式】
[0032] 为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施 例及其附图进行详细描述。
[0033] 请同时参阅图1与图2,本发明首先提供一种互电容触控显示面板，包括：TFT阵列 基板1、与所述TFT阵列基板1相对设置的CF基板2、夹设于所述TFT阵列基板1与CF基 板2之间的液晶层3、设于所述CF基板2远离液晶层3 -侧的数条相互平行的触控发射电 极4、及设于所述CF基板2靠近液晶层3 -侧的数条相互平行且在空间上垂直于触控发射 电极4的透明的触控感应电极5。
[0034] 所述TFT阵列基板1包括衬底基板、栅极、栅极绝缘层、半导体层、源\漏极、像素 电极、保护层、梳形公共电极、配向膜等，与现有技术中IPS型和FFS型液晶显示面板的TFT 阵列基板无异，此处不展开详述。
[0035] 所述CF基板2包括基板21，所述数条触控发射电极4设于该基板1远离液晶层 3 -侧的表面上，所述数条触控感应电极5设于该基板1靠近液晶层3 -侧的表面上；所述 CF基板2还包括设于所述基板21与数条触控感应电极5上的彩色色阻22、将所述彩色色 阻22间隔开的黑色矩阵23、设于所述黑色矩阵23上的光阻间隔物24、及覆盖所述彩色色 阻22、黑色矩阵23、与光阻间隔