薄膜(干式抗蚀膜)，通过曝光、显影来形成下部电极10的电极图形。
[0072][第二实施方式]
[0073]另外，在第一实施方式的触摸面板1中，以在每个上部电极20形成有绝缘膜3的情况为例，但本发明并不限定于此。例如，绝缘膜30也可以形成为一系列的膜(第二实施方式)。
[0074](触摸面板的结构)
[0075]以下，对本实施方式的触摸面板31的结构进行说明。此外，对于与第一实施方式所示的触摸面板1相同的结构标注相同的参照编号并省略其说明。以下，仅对与第一实施方式的触摸面板1的不同点进行说明。图5是表示本发明的触摸面板的其它的实施例的立体图，图6是图5所示的触摸面板的电极层叠方向的剖视图。
[0076]如图5所示，触摸面板31具备:基板4 ;形成为带状且沿X方向相互平行地配置的多个下部电极10 ;形成为带状且以与各个下部电极交叉(正交)的方式沿Y方向相互平行地配置的多个上部电极20 ;以及以支撑上部电极20的方式配置于上部电极20与下部电极10之间的绝缘膜30。此外，在本实施方式中，绝缘膜30形成为一系列的膜，没有第一实施方式那样的间隙。
[0077]绝缘膜30由具有粘接性的感光性树脂构成，具备支撑上部电极20的支撑面30a和共用长边的带斜度侧面30b，并且具备连接带斜度侧面30b的下边彼此的凹部底面30c (参照图5、图6)。
[0078]与第一实施方式的绝缘膜3相同，绝缘膜30将电极20保持于基板4上，并且确保上部电极20与下部电极10的绝缘。另外，在触摸面板31的制造工序中，也有助于刻画出导电层而形成上部电极20。
[0079]构成绝缘膜30的材料、厚度以及带斜度侧面3b的角度Θ与第一实施方式的绝缘膜3相同。
[0080]绝缘膜30通过具有支撑上部电极20的支撑面30a和共用长边的带斜度侧面30b，从而折射率的变化在形成有上部电极20的部分与未形成上部电极20的部分之间变得缓慢，能够使上部电极20的边界线在视觉上不显眼。因而，即使在触摸面板31中，也与第一实施方式相同地，能够减少上部电极20的电极图形的图形可视现象。
[0081]另外，绝缘膜30通过形成为一系列的膜而没有第一实施方式那样的间隙，因此即使在未形成上部电极20的部分中，折射率的变化也进一步变得缓慢，能够使上部电极20的边界线更自然而不显眼。
[0082]在图6所示的例子中，绝缘膜30的带斜度侧面30b形成为剖面成为直线状，但也能够与第一实施方式的绝缘膜3相同地形成为凸面状或者凹面状。
[0083]此外，在本实施方式中，带斜度侧面30b的上边至下边的阶梯差D优选为1 μπι以上。如果绝缘膜30的支撑面30a的厚度T为3 μπι以上，则如第一实施方式的说明中所述，能够充分确保上部电极20与下部电极10的绝缘。但是，若带斜度侧面30b的上边至下边的阶梯差D比1 ym小，则在刻画出导电层而形成上部电极20时难以控制固化程度。
[0084](上部电极以及带斜度侧面的形成方法)
[0085]接下来，参照附图，对本实施方式的形成上部电极20的电极图形、绝缘膜3的带斜度侧面30b以及凹部底面30c的方法进行说明。此外，对于与第一实施方式所示的形成工序相同的结构标注相同的参照编号并省略其说明。
[0086]图7是表示形成上部电极的电极图形以及绝缘膜的带斜度侧面的工序的一个例子的剖视图。具体而言，具备:以使感光性树脂层113紧贴在形成有下部电极10的基板4的下部电极10侧的面上的方式对与第一实施方式相同的感光性导电薄膜(干式抗蚀膜)114进行层压的工序(参照图7(a));对基板4上的感光性树脂层113的预定部分照射活性光线L2的曝光工序(参照图7(b));以及通过使曝光后的感光性树脂层113显影来形成导电图形的显影工序(参照图7(c))。
[0087]本实施方式的层压工序与第一实施方式相同。
[0088]本实施方式的曝光工序使用的掩模与第一实施方式不同。本实施方式中使用的掩模6的形状具备:与上部电极20对应地起模的多个透光部6a ;覆盖未形成绝缘膜30的部分的遮光部6d ;覆盖与绝缘膜30的凹部底面30c对应的部分的呈低曝光量的低透光部6c ;以及覆盖与绝缘膜30的带斜度侧面3b对应的部分并使曝光量在透光部6a与低透光部6c之间逐渐变化的层次级差部6b (参照图8)。
[0089]通过使用上述那样的掩模6，从而能够使由掩模6的透光部6a覆盖的部分的感光性树脂层113固化，由掩模6的遮光部6d覆盖的部分的感光性树脂层113以未固化状态保留。并且使由低透光部6c覆盖的部分的感光性树脂层113以一定的固化程度半固化，而且使由层次级差部6b覆盖的部分的感光性树脂层113以随着离开透光部5a而固化程度逐渐变低的方式半固化。
[0090]在本实施方式的显影工序中，由掩模6的透光部6覆盖的部分的感光性树脂层113的固化部分与其上的导电层112 —起被保留，形成支撑上部电极20的绝缘膜30的支撑面30a。另外，由掩模6的遮光部6d覆盖的未固化部分与其上的导电层112 —起被除去，未形成绝缘膜30。
[0091]并且，就由低透光部6c覆盖的半固化部分而言，尽管其上的导电层112被除去，但绝缘膜30根据固化程度而被剩余，形成绝缘膜30的凹部底面30c。此外，由低透光部6c覆盖的半固化部分在显影时以被压瘪的方式变形，从而能够全部除去其上的导电层112。
[0092]另外，就由层次级差部6b覆盖的半固化部分而言，尽管其上的导电层112被除去，但绝缘膜30根据固化程度而被剩余，形成绝缘膜30的带斜度侧面30b。此外，由层次级差部6b覆盖的半固化部分在显影时以被压瘪的方式变形，从而能够从水平方向的变化转化为垂直(厚度)方向的变化，并且能够全部除去其上的导电层112。
[0093]产业上的可利用性
[0094]本发明能够利用于通过互电容方式感知在触摸面板上手指等操作物体所接触的面板上的位置的互电容方式触摸面板，并能够利用于智能手机、电子书阅读器(电子书籍终端)、个人计算机等所代表的那样的搭载有触摸面板的电子设备。
[0095]符号的说明
[0096]1、31、501—触摸面板(互电容方式触摸面板)，3、30、503—绝缘膜，3a、30a—支撑面，3b、30b—带斜度侧面，30c—凹部底面，4、15、504—基板，5、6—掩模，5a、6a—透光部，5b、6b—层次级差部，5d、6d—遮光部，6c—低透光部，10、510—下部电极，20、520—上部电极，11、111—支撑薄膜，12、112—导电层，13、113—感光性树脂层，14、114—感光性导电薄膜，200—物体(例如，手指等)。
【主权项】
1.一种互电容方式触摸面板，其特征在于，具备: 基板； 多个下部电极，其由透明导电材料形成为宽幅的带状，且沿第一方向相互平行而且隔着较窄的间隙地配置于上述基板的第一面上； 多个上部电极，其由透明导电材料形成为窄幅的带状，且沿与第一方向交叉的第二方向相互平行而且隔着较宽的间隙地配置于上述基板的第一面以及上述下部电极上；以及绝缘膜，其由具有粘接性的感光性树脂形成，且以支撑上述上部电极的方式配置于上述上部电极与上述下部电极之间， 上述绝缘膜具备与支撑上述上部电极的支撑面共用长边的带斜度侧面。2.根据权利要求1所述的互电容方式触摸面板，其特征在于， 上述绝缘膜的支撑上述上部电极的部分的厚度T为3?15 μ m。3.根据权利要求1或2所述的互电容方式触摸面板，其特征在于， 上述带斜度侧面的中央部的法线与上述支撑面的法线所成的角度Θ为20?30°。4.根据权利要求1?3中任一项所述的互电容方式触摸面板，其特征在于， 上述绝缘膜形成于每个上述上部电极。5.根据权利要求1?3中任一项所述的互电容方式触摸面板，其特征在于， 上述绝缘膜形成为一系列的膜，具有连接上述带斜度侧面的下边彼此的凹部底面。6.根据权利要求5所述的互电容方式触摸面板，其特征在于， 上述带斜度侧面的上边至下边的高低差D为1 μπι以上。
【专利摘要】本发明提供能够减少上部电极的电极图形的图形可视现象的互电容方式触摸面板。本发明的互电容方式触摸面板具备：基板(4)；多个下部电极(10)，其由透明导电材料形成为宽幅的带状，且沿第一方向相互平行而且隔着较窄的间隙地配置于上述基板(4)的第一面上；多个上部电极(20)，其由透明导电材料形成为窄幅的带状，且沿与第一方向交叉的第二方向相互平行而且隔着较宽的间隙配置于上述基板的第一面及上述下部电极上；以及绝缘膜(3)，其由具有粘接性的感光性树脂形成，且以支撑上述上部电极(20)的方式配置于上述上部电极(20)与上述下部电极(10)之间，上述绝缘膜(3)具备与支撑上述上部电极(20)的支撑面(3a)共用长边的带斜度侧面(3b)。
【IPC分类】G06F3/041, G06F3/044
【公开号】CN105378621
【申请号】CN201480038057
【发明人】阪下麻子, 中村一登, 山冈知广, 斋藤圭佑
【申请人】日本写真印刷株式会社
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2014年6月5日
【公告号】WO2015001901A1