专利名称：用于半导体设备的散热器异常预警器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及关于一种散热器异常的预警器，特别是关于一种用于半导体设备的散热器的异常预警器。
背景技术：
随着半导体制作过程技术的进步，制造出各式功能强大的“小型”晶片，改变了人类的生活，让生活中处处可见内含晶片的电子产品，帮助人们处理各式的问题。
在半导体设备中，高温炉管乃进行氧化、扩散、化学气相沈积、及热处理等半导体制作过程时，所不可或缺的制作过程设备，一般情况下，会将数个炉管装设在一起，形成一炉管组，以方便使用及管理，通常是四个一组装设在一起，炉管组还设置有控制装置及各式气体输入输出管线，炉管为一高温制作过程的设备，在其使用期间，炉管周围温度亦相当的高，为了避免炉管的高温造成周边装置的损坏，是装设散热器来帮助炉管组机台散热，且炉管组机台内更装设有温度感测器，其是设定一预定温度，当炉管组机台温度过高超过所设定的温度时，即自动停止整个炉管组的运作，避免发生危险，而炉管组机台温度会过高，通常是帮助散热的散热器异常所造成。
除了上述炉管组机台外，许多半导体设备亦装设有散热器，然而一般半导体设备的设计存在一些缺点，即，每当半导体设备的散热器异常而将造成温度过高时，必须等到温度高于预定的警示温度，且半导体设备已经被迫停止运转时，检修人员才知道，而此时，不仅要停机检修，正进行半导体制作过程的整批晶片，亦将随之报废，而造成巨大的损失，故，设计一更理想的预防机制，以预防上述情况发生此乃本实用新型的主要目的。
实用新型内容本实用新型的主要目的是在提供一种用于半导体设备的散热器异常预警器，以侦测半导体设备散热器的异常，并发出预警信号。
本实用新型的另一目的是在提供一种用于半导体设备的散热器异常预警器，以避免半导体设备因温度过高而停止运作，而造成制作过程中整批晶片报废。
为实现上述目的，本实用新型提出一种用于半导体设备的散热器异常预警器，其是装设于具有散热器的半导体设备上，该预警器是包括一接触感应装置；一轻质薄片，其一端是可随着散热气流飘动，当该散热器正常运转时，散热气流吹动该轻质薄片，使其与该接触感应装置接触，当该散热器未正常运转时，该轻质薄片不会与该接触感应装置接触；一警报装置，其是与该接触感应装置连接，当该轻质薄片未与该接触感应装置接触时，该警报装置则发出一警报信号。
所述的预警器，其装设于至少有一风扇所组成的具有散热器的半导体设备上。
所述的预警器，其中该警报信号为一音效信号。
所述的预警器，其中该警报信号为一闪光信号。
所述的预警器，其中该警报装置是与该半导体设备的控制台连线。
所述的预警器，其是于该散热器的每一出风口处装设该轻质薄片及该接触感应装置，再将所有该接触感应装置连接至同一个警报装置上。
为实现上述目的，本实用新型提出另一种用于半导体设备的散热器异常预警器，其是装设于具有散热器的半导体设备上，该预警器是包括一接触感应装置；一轻质薄片，其一端是可随着散热气流飘动，当该散热器未正常运转时，该轻质薄片会与该接触感应装置接触，当该散热器正常运转时，散热气流吹动该轻质薄片，使其不与该接触感应装置产生接触；一警报装置，其是与该接触感应装置连接，当该轻质薄片与该接触感应装置产生接触时，该警报装置则发出一警报信号。
所述的预警器，其装设于至少有一风扇所组成的具有散热器的半导体设备上。
所述的预警器，其中该警报信号为一音效信号。
所述的预警器，其中该警报信号为一闪光信号。
所述的预警器，其中该警报装置是与该半导体设备的控制台连线。
所述的预警器，其是于该散热器的每一出风口处装设该轻质薄片及该接触感应装置，再将所有该接触感应装置连接至同一个警报装置上。
图1是本实用新型预警器的基本架构示意图。
具体实施方式
通过由具体实施例配合所附的图式详加说明，当更容易了解本实用新型的目的、技术内容、特点及其所达成的功效。
为了解决公知半导体设备因散热器异常造成机台内温度过高，而启动机台的保护机能，自动将机台停止运转，进而使得生产线上制作过程进行中的晶片整批报废的缺点，本实用新型提出一散热器异常预警器，用以侦测散热器的异常的情况，以避免等到机台停机检修时，才知道散热器异常。
本实用新型的预警器10的基本架构如图1所示，其是由一可随散热气流飘动的轻质薄片12，一可侦测与轻质薄片12接触情况的接触感应装置14，及一可发出警报信号的警报装置16所构成。将此预警器10装设于半导体设备散热器18出风口附近，并使散热气流朝向此预警器的轻质薄片12方向吹动，此轻质薄片12的一端是可随着散热气流飘动，而另一端则位于一固定位置，当半导体设备运转中，散热器18正常运转时，散热气流吹动此轻质薄片12，使其飘动的那端可与接触感应装置14持续地接触着，而当散热器发生异常而未转动时，散热气流停止吹动时，轻质薄片12则回到原位，会造成该轻质薄片12未与接触感应装置14接触，此时，接触感应装置14便触发警报装置16发出一警报信号，以通知相关人员来检修散热器18，避免等到整个机台过热而启动停止运转的保护机制。
一般半导体设备内的散热器是由多个的风扇所组成，故当风扇组其中一风扇故障时，即会影响散热器整体的散热效果，因此，在本实用新型预警器的较佳实施例中，可于风扇组每一风扇的出风口处，皆装设一轻质薄片及一与其对应的接触感应装置，再将所有的接触感应装置连接至同一个警报装置上，当风扇组中有风扇发生异常而未转动时，警报装置即可发送一警报信号，以确保每一风扇皆保持正常运转的状态，来帮助半导体设备散热。而此预警器的警报装置可与控制此半导体设备的控制台连线，当散热器发生异常时，预警器即可发送一警报信号至控制台，让控制人员可掌握此一讯息，并做最及时的处理，除此之外，警报装置的警报信号亦可为一发出声音的警报音效，或是警报闪光，基本上，只要可以达到提醒控制人员的机制，皆可做为此警报装置输出的警报信号。
在本实用新型预警器的另一实施态样的设计中，轻质薄片未受散热气流吹动时，可持续与接触感应装置产生接触，而散热气流吹动时，可将轻质薄片与接触感应装置分离，而警报装置与接触感应装置连接，当轻质薄片与接触感应装置产生接触时，此警报装置会产生一警报信号，因此，当散热器未正常运转时，因未产生散热气流，而使得轻质薄片与接触感应装置产生接触，进而触发警报装置发出警报信号。
综上所述，本实用新型提出的散热器异常预警器，可于半导体设备散热器发生异常时马上侦测出来，并发出警报信号，提醒相关人员进行检修，避免半导体设备因散热器故障过久，造成温度超过预设的安全温度，而自动停止运转，因此，本实用新型的预警器能有效地避免半导体设备因温度过高而自动停机，以避免造成制作过程进行中整批晶片报废的巨额损失。
但以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型的实施范围。故即凡依本实用新型申请专利范围所述的形状、构造、特徵及精神所为的均等变化或修饰，均应包括于本实用新型的专利范围内。
权利要求1.一种用于半导体设备的散热器异常预警器，其是装设于具有散热器的半导体设备上，其特征在于，该预警器是包括一接触感应装置；一轻质薄片，其一端是可随着散热气流飘动，当该散热器正常运转时，散热气流吹动该轻质薄片，使其与该接触感应装置接触，当该散热器未正常运转时，该轻质薄片不会与该接触感应装置接触；一警报装置，其是与该接触感应装置连接，当该轻质薄片未与该接触感应装置接触时，该警报装置则发出一警报信号。
2.根据权利要求1所述的用于半导体设备的散热器异常预警器，其特征在于，其装设于至少有一风扇所组成的具有散热器的半导体设备上。
3.根据权利要求1所述的用于半导体设备的散热器异常预警器，其特征在于，其中该警报信号为一音效信号。
4.根据权利要求1所述的用于半导体设备的散热器异常预警器，其特征在于，其中该警报信号为一闪光信号。
5.根据权利要求1所述的用于半导体设备的散热器异常预警器，其特征在于，其中该警报装置是与该半导体设备的控制台连线。
6.根据权利要求1所述的用于半导体设备的散热器异常预警器，其特征在于，其是于该散热器的每一出风口处装设该轻质薄片及该接触感应装置，再将所有该接触感应装置连接至同一个警报装置上。
7.一种用于半导体设备的散热器异常预警器，其特征在于，其是装设于具有散热器的半导体设备上，该预警器是包括一接触感应装置；一轻质薄片，其一端是可随着散热气流飘动，当该散热器未正常运转时，该轻质薄片会与该接触感应装置接触，当该散热器正常运转时，散热气流吹动该轻质薄片，使其不与该接触感应装置产生接触；一警报装置，其是与该接触感应装置连接，当该轻质薄片与该接触感应装置产生接触时，该警报装置则发出一警报信号。
8.根据权利要求7所述的用于半导体设备的散热器异常预警器，其特征在于，其装设于至少有一风扇所组成的具有散热器的半导体设备上。
9.根据权利要求7所述的用于半导体设备的散热器异常预警器，其特征在于，其中该警报信号为一音效信号。
10.根据权利要求7所述的用于半导体设备的散热器异常预警器，其特征在于，其中该警报信号为一闪光信号。
11.根据权利要求7所述的用于半导体设备的散热器异常预警器，其特征在于，其中该警报装置是与该半导体设备的控制台连线。
12.根据权利要求7所述的用于半导体设备的散热器异常预警器，其特征在于，其是于该散热器的每一出风口处装设该轻质薄片及该接触感应装置，再将所有该接触感应装置连接至同一个警报装置上。
专利摘要一种用于半导体设备的散热器异常预警器，此预警器通过由一轻质薄片，其可随着散热气流飘动，当散热器正常运转时，散热气流吹动此轻质薄片，使其与一接触感应装置接触，而当散热器未正常运转时，此轻质薄片则不会与接触感应装置接触，此时警报装置则发出一警报信号。通过预警器，可于散热器一发生异常时，即可透过警报信号通知相关人员进行处理，而不会等到整个半导体设备因过热造成重大损失时才进行处理。
文档编号G08B21/00GK2708498SQ200420007950
公开日2005年7月6日 申请日期2004年3月24日 优先权日2004年3月24日
发明者彭圣全, 周顺泰 申请人:立生半导体股份有限公司